ແກ້ວລິທຽມແທນທາເລດ LT (LiTaO3) ຂະໜາດ 2 ນິ້ວ/3 ນິ້ວ/4 ນິ້ວ/6 ນິ້ວ ມຸມອຽງ Y-42°/36°/108° ຄວາມໜາ 250-500um

LT Lithium Tantalate (LiTaO3) ຜລຶກ 2 ນິ້ວ/3 ນິ້ວ/4 ນິ້ວ/6 ນິ້ວ Orientaiton Y-42°/36°/108° ຄວາມໜາ 250-500um ຮູບພາບເດັ່ນ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ແຜ່ນເວເຟີ LiTaO₃ ເປັນຕົວແທນຂອງລະບົບວັດສະດຸ piezoelectric ແລະ ferroelectric ທີ່ສຳຄັນ, ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງສຳປະສິດ piezoelectric ທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄຸນສົມບັດທາງແສງ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນຂາດບໍ່ໄດ້ສຳລັບຕົວກອງຄື້ນສຽງພື້ນຜິວ (SAW), ຕົວສະທ້ອນຄື້ນສຽງຂະໜາດໃຫຍ່ (BAW), ຕົວດັດແປງແສງ, ແລະເຄື່ອງກວດຈັບອິນຟາເຣດ. XKH ຊ່ຽວຊານໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາແຜ່ນເວເຟີ LiTaO₃ ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ໂດຍນຳໃຊ້ຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ Czochralski (CZ) ແລະ epitaxy ໄລຍະແຫຼວ (LPE) ທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຜລຶກທີ່ດີກວ່າດ້ວຍຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ <100/cm².

XKH ສະໜອງເວເຟີ LiTaO₃ ຂະໜາດ 3 ນິ້ວ, 4 ນິ້ວ, ແລະ 6 ນິ້ວ ທີ່ມີຫຼາຍທິດທາງຂອງຜລຶກແກ້ວ (X-cut, Y-cut, Z-cut), ຮອງຮັບການເສີມ (Mg, Zn) ແລະ ການປິ່ນປົວດ້ວຍໂພລີ່ງທີ່ກຳນົດເອງເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງການນຳໃຊ້. ຄ່າຄົງທີ່ໄດອີເລັກຕຣິກຂອງວັດສະດຸ (ε~40-50), ສຳປະສິດ piezoelectric (d₃₃~8-10 pC/N), ແລະ ອຸນຫະພູມ Curie (~600°C) ສ້າງຕັ້ງ LiTaO₃ ເປັນຊັ້ນຮອງທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຕົວກອງຄວາມຖີ່ສູງ ແລະ ເຊັນເຊີຄວາມແມ່ນຍຳ.

ການຜະລິດແບບປະສົມປະສານແນວຕັ້ງຂອງພວກເຮົາກວມເອົາການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ການເຄືອບແຜ່ນຊິບ, ການຂັດເງົາ, ແລະ ການເຄືອບແຜ່ນບາງ, ໂດຍມີກຳລັງການຜະລິດປະຈຳເດືອນເກີນ 3,000 ແຜ່ນຊິບເພື່ອຮັບໃຊ້ການສື່ສານ 5G, ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ, ໂຟໂຕນິກ, ແລະ ອຸດສາຫະກຳປ້ອງກັນປະເທດ. ພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການໃຫ້ຄຳປຶກສາດ້ານເຕັກນິກທີ່ສົມບູນແບບ, ການວິເຄາະຕົວຢ່າງ, ແລະ ການບໍລິການສ້າງຕົ້ນແບບໃນປະລິມານໜ້ອຍເພື່ອສະໜອງວິທີແກ້ໄຂ LiTaO₃ ທີ່ດີທີ່ສຸດ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ພາລາມິເຕີດ້ານເຕັກນິກ

ຊື່	LiTaO3 ເກຣດແສງ	ລະດັບຕາຕະລາງສຽງ LiTaO3
ແກນ	ຕັດ Z + / - 0.2 °	ຕັດມຸມ Y 36° / ຕັດມຸມ Y 42° / ຕັດມຸມ X(+ / - 0.2°)
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ	76.2 ມມ + / - 0.3 ມມ/100 ± 0.2 ມມ	76.2 ມມ + /-0.3 ມມ100 ມມ + /-0.3 ມມ 0r 150±0.5 ມມ
ຮາບຂໍ້ມູນ	22 ມມ + / - 2 ມມ	22 ມມ + /-2 ມມ32 ມມ + /-2 ມມ
ຄວາມໜາ	500um + /-5 ມມ1000um + /-5 ມມ	500um + /-20 ມມ350um + /-20 ມມ
ໂທລະພາບທີວີ	≤ 10um	≤ 10um
ອຸນຫະພູມຄູຣີ	605 °C + / - 0.7 °C (ວິທີການ DTA)	605 °C + / -3 °C (ວິທີການ DTA
ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ	ການຂັດສອງດ້ານ	ການຂັດສອງດ້ານ
ຂອບມຸມ	ການມົນຂອບ	ການມົນຂອບ

ລັກສະນະຫຼັກ

1. ໂຄງສ້າງຜລຶກ ແລະ ປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າ

· ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຜລຶກແກ້ວ: ການຄອບງຳຂອງ polytype 4H-SiC 100%, ບໍ່ມີການລວມຕົວຂອງຫຼາຍຜລຶກ (ເຊັ່ນ: 6H/15R), ດ້ວຍເສັ້ນໂຄ້ງໂຍກ XRD ເຕັມຄວາມກວ້າງຢູ່ທີ່ເຄິ່ງສູງສຸດ (FWHM) ≤32.7 arcsec.
· ການເຄື່ອນທີ່ຂອງຕົວນຳສູງ: ການເຄື່ອນທີ່ຂອງອີເລັກຕຣອນ 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) ແລະ ການເຄື່ອນທີ່ຂອງຮູ 380 cm²/V·s, ເຮັດໃຫ້ສາມາດອອກແບບອຸປະກອນຄວາມຖີ່ສູງໄດ້.
·ຄວາມແຂງຂອງລັງສີ: ທົນທານຕໍ່ການສ່ອງແສງນິວຕຣອນ 1 MeV ດ້ວຍຂອບເຂດຄວາມເສຍຫາຍຂອງການຍ້າຍຖິ່ນຖານ 1 × 10¹⁵ n/cm², ເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນການບິນອະວະກາດ ແລະ ນິວເຄຼຍ.

2. ຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ກົນຈັກ

· ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), ສາມເທົ່າຂອງຊິລິໂຄນ, ຮອງຮັບການເຮັດວຽກສູງກວ່າ 200°C.
· ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: CTE 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ອີງໃສ່ຊິລິໂຄນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.

3. ການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກພ່ອງ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການປຸງແຕ່ງ

· ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ຂະໜາດນ້ອຍ: <0.3 ຊມ⁻² (ແຜ່ນເວເຟີ 8 ນິ້ວ), ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຄື່ອນທີ່ <1,000 ຊມ⁻² (ຢືນຢັນຜ່ານການແກະສະຫຼັກ KOH).
· ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ: ຂັດ CMP ຈົນເຖິງ Ra <0.2 nm, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງລະດັບການພິມດ້ວຍ EUV.

ແອັບພລິເຄຊັນຫຼັກ

ໂດເມນ	ສະຖານະການສະໝັກ	ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານເຕັກນິກ
ການສື່ສານທາງແສງ	ເລເຊີ 100G/400G, ໂມດູນປະສົມໂຟໂຕນິກຊິລິໂຄນ	ຊັ້ນຮອງເມັດພັນ InP ຊ່ວຍໃຫ້ມີ bandgap ໂດຍກົງ (1.34 eV) ແລະ heteroepitaxy ທີ່ອີງໃສ່ Si, ຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍການເຊື່ອມຕໍ່ທາງແສງ.
ຍານພາຫະນະພະລັງງານໃໝ່	ອິນເວີເຕີແຮງດັນສູງ 800V, ເຄື່ອງສາກໄຟໃນຕົວ (OBC)	ວັດສະດຸຮອງພື້ນ 4H-SiC ທົນທານຕໍ່ໄດ້ >1,200 V, ຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍການນຳໄຟຟ້າລົງ 50% ແລະ ປະລິມານຂອງລະບົບລົງ 40%.
ການສື່ສານ 5G	ອຸປະກອນ RF ຄື້ນມິນລິແມັດ (PA/LNA), ເຄື່ອງຂະຫຍາຍພະລັງງານສະຖານີຖານ	ຊັ້ນຮອງ SiC ເຄິ່ງສນວນ (ຄວາມຕ້ານທານ >10⁵ Ω·cm) ເຮັດໃຫ້ສາມາດປະສົມປະສານຄວາມຖີ່ສູງ (60 GHz+).
ອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາ	ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມສູງ, ໝໍ້ແປງກະແສໄຟຟ້າ, ເຄື່ອງຕິດຕາມເຕົາປະຕິກອນນິວເຄຼຍ	ຊັ້ນຮອງເມັດ InSb (ຊ່ອງຫວ່າງແບນ 0.17 eV) ສົ່ງຄວາມອ່ອນໄຫວທາງແມ່ເຫຼັກສູງເຖິງ 300% @ 10 T.

ເວເຟີ LiTaO₃ - ລັກສະນະຫຼັກ

1. ປະສິດທິພາບ Piezoelectric ທີ່ດີເລີດ

· ສຳປະສິດ piezoelectric ສູງ (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) ຊ່ວຍໃຫ້ອຸປະກອນ SAW/BAW ຄວາມຖີ່ສູງມີການສູນເສຍການແຊກ <1.5dB ສຳລັບຕົວກອງ RF 5G

· ການເຊື່ອມຕໍ່ແບບເອເລັກໂຕຣກົນຈັກທີ່ດີເລີດຮອງຮັບການອອກແບບຕົວກອງແບນວິດກວ້າງ (≥5%) ສຳລັບການນຳໃຊ້ sub-6GHz ແລະ mmWave

2. ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ

· ຄວາມໂປ່ງໃສຂອງບຣອດແບນ (ການສົ່ງສັນຍານ >70% ຈາກ 400-5000nm) ສຳລັບຕົວປັບຄວາມຖີ່ໄຟຟ້າ-ແສງທີ່ບັນລຸແບນວິດ >40GHz

· ຄວາມອ່ອນໄຫວທາງດ້ານແສງທີ່ບໍ່ເປັນເສັ້ນຊື່ທີ່ເຂັ້ມແຂງ (χ⁽²⁾~30pm/V) ຊ່ວຍໃຫ້ການຜະລິດຮາໂມນິກທີສອງ (SHG) ມີປະສິດທິພາບໃນລະບົບເລເຊີ

3. ສະຖຽນລະພາບດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ

· ອຸນຫະພູມ Curie ສູງ (600°C) ຮັກສາການຕອບສະໜອງ piezoelectric ໃນສະພາບແວດລ້ອມລະດັບລົດຍົນ (-40°C ຫາ 150°C)

· ຄວາມບໍ່ສະໝ່ຳສະເໝີທາງເຄມີຕໍ່ກັບກົດ/ດ່າງ (pH1-13) ຮັບປະກັນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນການນຳໃຊ້ເຊັນເຊີອຸດສາຫະກຳ

4. ຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງ

· ວິສະວະກຳການວາງທິດທາງ: X-cut (51°), Y-cut (0°), Z-cut (36°) ສຳລັບການຕອບສະໜອງ piezoelectric ທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້

· ທາງເລືອກໃນການໃຊ້ສານເສີມ: ເສີມດ້ວຍ Mg (ທົນທານຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍທາງສາຍຕາ), ເສີມດ້ວຍ Zn (ເສີມດ້ວຍ d₃₃)

· ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ: ການຂັດເງົາພ້ອມ Epitaxial (Ra<0.5nm), ການເຄືອບໂລຫະ ITO/Au

ເວເຟີ LiTaO₃ - ການນຳໃຊ້ຫຼັກ

1. ໂມດູນດ້ານໜ້າ RF

· ຕົວກອງ 5G NR SAW (ແຖບ n77/n79) ພ້ອມດ້ວຍຄ່າສຳປະສິດອຸນຫະພູມຄວາມຖີ່ (TCF) <|-15ppm/°C|

· ຕົວສະທ້ອນສັນຍານ BAW ຄວາມຖີ່ກວ້າງພິເສດສຳລັບ WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)

2. ໂຟໂຕນິກປະສົມປະສານ

· ຕົວປັບ Mach-Zehnder ຄວາມໄວສູງ (>100Gbps) ສຳລັບການສື່ສານທາງແສງທີ່ສອດຄ່ອງກັນ

· ເຄື່ອງກວດຈັບອິນຟາເຣດ QWIP ທີ່ມີຄວາມຍາວຄື້ນຕັດທີ່ສາມາດປັບໄດ້ຕັ້ງແຕ່ 3-14μm

3. ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າລົດຍົນ

· ເຊັນເຊີຈອດລົດດ້ວຍຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງທີ່ມີຄວາມຖີ່ປະຕິບັດການ >200kHz

· ຕົວປ່ຽນສັນຍານ piezoelectric TPMS ທົນທານຕໍ່ການໝູນວຽນຄວາມຮ້ອນ -40°C ຫາ 125°C

4. ລະບົບປ້ອງກັນປະເທດ

· ຕົວກອງຮັບ EW ທີ່ມີການປະຕິເສດນອກແຖບຄວາມຖີ່ >60dB

· ປ່ອງຢ້ຽມອິນຟາເຣດຂອງລູກສອນໄຟທີ່ສົ່ງລັງສີ MWIR 3-5μm

5. ເຕັກໂນໂລຊີທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາໃໝ່

· ຕົວປ່ຽນສັນຍານ quantum ທາງອອບໂຕກົນຈັກ ສຳລັບການແປງຈາກໄມໂຄເວຟໄປເປັນແສງ

· ອາເຣ PMUT ສຳລັບການຖ່າຍພາບ ultrasound ທາງການແພດ (ຄວາມລະອຽດ >20MHz)

ເວເຟີ LiTaO₃ - ບໍລິການ XKH

1. ການຄຸ້ມຄອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງ

· ການປຸງແຕ່ງຈາກ Boule ຫາ Wafer ດ້ວຍເວລານຳ 4 ອາທິດສຳລັບສະເປັກມາດຕະຖານ

· ການຜະລິດທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ໄດ້ປຽບດ້ານລາຄາ 10-15% ເມື່ອທຽບກັບຄູ່ແຂ່ງ

2. ວິທີແກ້ໄຂທີ່ກຳນົດເອງ

· ການວາງແຜ່ນເວເຟີສະເພາະທິດທາງ: 36°±0.5° ຮູບຊົງ Y ເພື່ອປະສິດທິພາບ SAW ທີ່ດີທີ່ສຸດ

· ສ່ວນປະກອບທີ່ເສີມ: ການເສີມ MgO (5mol%) ສຳລັບການນຳໃຊ້ທາງດ້ານແສງ

ການບໍລິການໂລຫະປະສົມ: ຮູບແບບເອເລັກໂຕຣດ Cr/Au (100/1000Å)

3. ການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິຊາການ

· ການວິເຄາະຄຸນລັກສະນະຂອງວັດສະດຸ: ເສັ້ນໂຄ້ງການໂຍກ XRD (FWHM<0.01°), ການວິເຄາະພື້ນຜິວ AFM

· ການຈຳລອງອຸປະກອນ: ການສ້າງແບບຈຳລອງ FEM ສຳລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບການອອກແບບຕົວກອງ SAW

ສະຫຼຸບ

ເວເຟີ LiTaO₃ ສືບຕໍ່ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມກ້າວໜ້າທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີໃນທົ່ວການສື່ສານ RF, ໂຟໂຕນິກປະສົມປະສານ, ແລະ ເຊັນເຊີສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານວັດສະດຸ, ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຜະລິດ, ແລະ ການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິສະວະກຳແອັບພລິເຄຊັນຂອງ XKH ຊ່ວຍໃຫ້ລູກຄ້າເອົາຊະນະສິ່ງທ້າທາຍດ້ານການອອກແບບໃນລະບົບເອເລັກໂຕຣນິກລຸ້ນຕໍ່ໄປ.