ເວເຟີ LiTaO3 ຂະໜາດ 2 ນິ້ວ-8 ນິ້ວ 10x10x0.5 ມມ 1sp 2sp ສຳລັບການສື່ສານ 5G/6G
ພາລາມິເຕີດ້ານເຕັກນິກ
| ຊື່ | LiTaO3 ເກຣດແສງ | ລະດັບຕາຕະລາງສຽງ LiTaO3 |
| ແກນ | ຕັດ Z + / - 0.2 ° | ຕັດມຸມ Y 36° / ຕັດມຸມ Y 42° / ຕັດມຸມ X (+ / - 0.2°) |
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 76.2 ມມ + / - 0.3 ມມ/ 100 ± 0.2 ມມ | 76.2 ມມ + /-0.3 ມມ 100 ມມ + /-0.3 ມມ 0r 150±0.5 ມມ |
| ຮາບຂໍ້ມູນ | 22 ມມ + / - 2 ມມ | 22 ມມ + /-2 ມມ 32 ມມ + /-2 ມມ |
| ຄວາມໜາ | 500um + /-5 ມມ 1000um + /-5 ມມ | 500um + /-20 ມມ 350um + /-20 ມມ |
| ໂທລະພາບທີວີ | ≤ 10um | ≤ 10um |
| ອຸນຫະພູມຄູຣີ | 605 °C + / - 0.7 °C (ວິທີການ DTA) | 605 °C + / -3 °C (ວິທີການ DTA |
| ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ | ການຂັດສອງດ້ານ | ການຂັດສອງດ້ານ |
| ຂອບມຸມ | ການມົນຂອບ | ການມົນຂອບ |
ລັກສະນະຫຼັກ
1. ປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າ ແລະ ທາງແສງ
· ຄ່າສຳປະສິດໄຟຟ້າ-ແສງ: r33 ບັນລຸ 30 pm/V (X-cut), ສູງກວ່າ LiNbO3 1.5 ເທົ່າ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດປັບປ່ຽນໄຟຟ້າ-ແສງໄດ້ແບບຄວາມຖີ່ກວ້າງພິເສດ (ແບນວິດ >40 GHz).
· ການຕອບສະໜອງທາງສະເປກຕຣຳກວ້າງ: ຂອບເຂດການສົ່ງສັນຍານ 0.4–5.0 μm (ໜາ 8 ມມ), ດ້ວຍຂອບການດູດຊຶມແສງອັນຕຣາໄວໂອເລັດຕໍ່າເຖິງ 280 nm, ເໝາະສຳລັບເລເຊີ UV ແລະອຸປະກອນຈຸດຄວອນຕຳ.
· ສຳປະສິດຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນເຊັນເຊີອິນຟາເຣດອຸນຫະພູມສູງ.
2. ຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ກົນຈັກ
· ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ: 4.6 W/m·K (X-cut), ເປັນສີ່ເທົ່າຂອງ quartz, ຮັກສາວົງຈອນຄວາມຮ້ອນໄດ້ -200–500°C.
· ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການຫຸ້ມຫໍ່ຊິລິໂຄນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.
3. ການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກຜ່ອງ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການປະມວນຜົນ
· ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ຂະໜາດນ້ອຍ: <0.1 ຊມ⁻² (ແຜ່ນເວເຟີ 8 ນິ້ວ), ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຄື່ອນທີ່ <500 ຊມ⁻² (ຢືນຢັນຜ່ານການແກະສະຫຼັກ KOH).
· ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ: ຂັດ CMP ເຖິງ Ra <0.5 nm, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງລະດັບການພິມດ້ວຍ EUV.
ແອັບພລິເຄຊັນຫຼັກ
| ໂດເມນ | ສະຖານະການສະໝັກ | ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານເຕັກນິກ |
| ການສື່ສານທາງແສງ | ເລເຊີ DWDM 100G/400G, ໂມດູນປະສົມໂຟໂຕນິກຊິລິໂຄນ | ການສົ່ງຜ່ານສະເປກຕຣຳທີ່ກວ້າງຂວາງຂອງແຜ່ນ LiTaO3 ແລະການສູນເສຍຄື້ນນຳທາງຕໍ່າ (α <0.1 dB/cm) ເຮັດໃຫ້ສາມາດຂະຫຍາຍແຖບ C-band ໄດ້. |
| ການສື່ສານ 5G/6G | ຕົວກອງ SAW (1.8–3.5 GHz), ຕົວກອງ BAW-SMR | ເວເຟີຕັດ 42°Y ບັນລຸ Kt² >15%, ເຮັດໃຫ້ການສູນເສຍການແຊກຕໍ່າ (<1.5 dB) ແລະ ການມ້ວນອອກສູງ (>30 dB). |
| ເທັກໂນໂລຢີ Quantum | ເຄື່ອງກວດຈັບໂຟຕອນດ່ຽວ, ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງການປ່ຽນແປງພາລາມິເຕີ | ສຳປະສິດບໍ່ເປັນເສັ້ນຊື່ສູງ (χ(2)=40 pm/V) ແລະອັດຕາການນັບຄວາມມືດຕ່ຳ (<100 counts/s) ຊ່ວຍເສີມສ້າງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ quantum. |
| ການຮັບຮູ້ອຸດສາຫະກໍາ | ເຊັນເຊີຄວາມດັນອຸນຫະພູມສູງ, ໝໍ້ແປງກະແສໄຟຟ້າ | ການຕອບສະໜອງ piezoelectric ຂອງແຜ່ນ LiTaO3 (g33 >20 mV/m) ແລະ ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ (>400°C) ເໝາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. |
ບໍລິການ XKH
1. ການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີຕາມຄວາມຕ້ອງການ
· ຂະໜາດ ແລະ ການຕັດ: ເວເຟີ 2–8 ນິ້ວ ພ້ອມດ້ວຍການຕັດແບບ X/Y/Z, ການຕັດແບບ Y 42°, ແລະ ການຕັດມຸມແບບກຳນົດເອງ (ຄວາມທົນທານ ±0.01°).
· ການຄວບຄຸມການໃຊ້ສານກະຕຸ້ນ: ການໃຊ້ສານກະຕຸ້ນ Fe, Mg ຜ່ານວິທີ Czochralski (ລະດັບຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງສຳປະສິດໄຟຟ້າທາງແສງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ.
2. ເຕັກໂນໂລຊີຂະບວນການຂັ້ນສູງ
· ການຂົ້ວແບບເປັນໄລຍະ (PPLT): ເທັກໂນໂລຢີ Smart-Cut ສຳລັບເວເຟີ LTOI, ບັນລຸຄວາມແມ່ນຍຳຂອງໄລຍະເວລາໂດເມນ ±10 nm ແລະ ການປ່ຽນຄວາມຖີ່ quasi-phase-matched (QPM).
· ການເຊື່ອມໂຍງທີ່ບໍ່ເປັນເອກະພາບ: ແຜ່ນເວເຟີປະສົມ LiTaO3 (POI) ທີ່ອີງໃສ່ Si ພ້ອມດ້ວຍການຄວບຄຸມຄວາມໜາ (300–600 nm) ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 8.78 W/m·K ສຳລັບຕົວກອງ SAW ຄວາມຖີ່ສູງ.
3. ລະບົບການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບ
· ການທົດສອບແບບຕົ້ນທາງຫາທ້າຍ: ການວິເຄາະດ້ວຍວິທີ Raman spectroscopy (ການກວດສອບ polytype), XRD (ຄວາມເປັນຜລຶກ), AFM (ຮູບຮ່າງໜ້າດິນ), ແລະ ການທົດສອບຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທາງແສງ (Δn <5×10⁻⁵).
4. ການສະໜັບສະໜູນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງທົ່ວໂລກ
· ກຳລັງການຜະລິດ: ຜົນຜະລິດຕໍ່ເດືອນ >5,000 ເວເຟີ (8 ນິ້ວ: 70%), ພ້ອມດ້ວຍການຈັດສົ່ງສຸກເສີນ 48 ຊົ່ວໂມງ.
· ເຄືອຂ່າຍການຂົນສົ່ງ: ການຄຸ້ມຄອງໃນເອີຣົບ, ອາເມລິກາເໜືອ, ແລະ ອາຊີປາຊີຟິກ ຜ່ານການຂົນສົ່ງທາງອາກາດ/ທາງທະເລ ດ້ວຍການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ.









