6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N ປະເພດສໍາລັບການຄົ້ນຄວ້າການຜະລິດ MOS ຫຼື SBD ແລະຊັ້ນຮຽນ Dummy

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

6-inch silicon carbide substrate ໄປເຊຍກັນເປັນວັດສະດຸປະສິດທິພາບສູງທີ່ມີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີທີ່ດີເລີດ.ຜະລິດຈາກວັດສະດຸຊິລິຄອນ carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງກົນຈັກ, ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ.substrate ນີ້, ເຮັດດ້ວຍຂະບວນການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະວັດສະດຸຄຸນນະພາບສູງ, ໄດ້ກາຍເປັນວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການ fabrication ຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກປະສິດທິພາບສູງໃນຂົງເຂດຕ່າງໆ.


ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍສິນຄ້າ

ຊ່ອງຂໍ້ມູນແອັບພລິເຄຊັນ

6 ນິ້ວ silicon carbide substrate crystal ດຽວມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຫຼາຍອຸດສາຫະກໍາ.ກ່ອນອື່ນ ໝົດ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີພະລັງງານສູງເຊັ່ນ: transistors ພະລັງງານ, ວົງຈອນປະສົມປະສານ, ແລະໂມດູນພະລັງງານ.ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຂອງມັນເຮັດໃຫ້ການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ການປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.ອັນທີສອງ, wafers silicon carbide ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນໃນຂົງເຂດການຄົ້ນຄວ້າສໍາລັບການພັດທະນາວັດສະດຸແລະອຸປະກອນໃຫມ່.ນອກຈາກນັ້ນ, silicon carbide wafer ພົບເຫັນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດ optoelectronics, ລວມທັງການຜະລິດຂອງ LEDs ແລະ laser diodes.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຂອງຜະລິດຕະພັນ

6-inch silicon carbide substrate crystal ດຽວມີເສັ້ນຜ່າກາງຂອງ 6 ນິ້ວ (ປະມານ 152.4 mm).ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວແມ່ນ Ra < 0.5 nm, ແລະຄວາມຫນາແມ່ນ 600 ± 25 μm.substrate ສາມາດຖືກປັບແຕ່ງດ້ວຍການນໍາທາງ N-type ຫຼື P-type, ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງກົນຈັກພິເສດ, ສາມາດທົນຄວາມກົດດັນແລະການສັ່ນສະເທືອນ.

ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 150±2.0ມມ (6ນິ້ວ)

ຄວາມຫນາ

350 μm± 25μm

ປະຖົມນິເທດ

ໃນແກນ : <0001>±0.5°

ແກນປິດ: 4.0° ໄປຫາ 1120±0.5°

Polytype 4H

ຄວາມຕ້ານທານ (Ω·ຊມ)

4H-N

0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm

4/6H-SI

>1E5

ປະຖົມນິເທດຮາບພຽງ

{10-10}±5.0°

ຄວາມຍາວແປຕົ້ນຕໍ (ມມ)

47.5 ມມ ± 2.5 ມມ

ຂອບ

Chamfer

TTV/Bow/Warp (um)

≤15 /≤40 /≤60

AFM Front (Si-face)

ໂປແລນ Ra≤1 nm

CMP Ra≤0.5 nm

LTV

≤3μm(10mm*10mm)

≤5μm(10mm*10mm)

≤10μm(10mm*10mm)

TTV

≤5μm

≤10μm

≤15μm

ເປືອກສີສົ້ມ/ຂຸມ/ຮອຍແຕກ/ການປົນເປື້ອນ/ຮອຍເປື້ອນ/ຮອຍຂີດຂ່ວນ

ບໍ່ມີ ບໍ່ມີ ບໍ່ມີ

ຫຍໍ້ໜ້າ

ບໍ່ມີ ບໍ່ມີ ບໍ່ມີ

6-inch silicon carbide substrate ໄປເຊຍກັນເປັນວັດສະດຸປະສິດທິພາບສູງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ semiconductor, ການຄົ້ນຄວ້າ, andoptoelectronics ອຸດສາຫະກໍາ.ມັນສະຫນອງການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງກົນຈັກ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບ fabrication ຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານສູງແລະການຄົ້ນຄວ້າວັດສະດຸໃຫມ່.ພວກ​ເຮົາ​ສະ​ຫນອງ​ການ​ສະ​ເພາະ​ຕ່າງໆ​ແລະ​ທາງ​ເລືອກ​ການ​ປັບ​ແຕ່ງ​ເພື່ອ​ຕອບ​ສະ​ຫນອງ​ຄວາມ​ຕ້ອງ​ການ​ຂອງ​ລູກ​ຄ້າ​ທີ່​ຫຼາກ​ຫຼາຍ​.ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາສໍາລັບລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບ wafers silicon carbide!

ແຜນວາດລາຍລະອຽດ

WechatIMG569_ (1)
WechatIMG569_ (2)

  • ທີ່ຜ່ານມາ:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • ຂຽນຂໍ້ຄວາມຂອງທ່ານທີ່ນີ້ແລະສົ່ງໃຫ້ພວກເຮົາ