ເວເຟີຊິລິກອນຄາໄບ SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ 150 ມມ ປະເພດ 4H-N ສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າການຜະລິດ MOS ຫຼື SBD ແລະ ເກຣດ Dummy

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ດດ່ຽວຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ມີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ເຄມີທີ່ດີເລີດ. ຜະລິດຈາກວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ດດ່ຽວທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງກົນຈັກ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ. ຊັ້ນຮອງພື້ນນີ້, ເຮັດດ້ວຍຂະບວນການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ໄດ້ກາຍເປັນວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນຂົງເຂດຕ່າງໆ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ພາກສະໜາມສະໝັກ

ຊັ້ນໃຕ້ດິນຊິລິກອນຄາໄບຂະໜາດ 6 ນິ້ວມີບົດບາດສຳຄັນໃນຫຼາຍອຸດສາຫະກຳ. ທຳອິດ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານສູງເຊັ່ນ: ທຣານຊິດເຕີພະລັງງານ, ວົງຈອນລວມ, ແລະໂມດູນພະລັງງານ. ຄວາມນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງຂອງມັນຊ່ວຍໃຫ້ການລະບາຍຄວາມຮ້ອນດີຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືດີຂຶ້ນ. ອັນທີສອງ, ແຜ່ນເວເຟີຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໃນຂົງເຂດການຄົ້ນຄວ້າສໍາລັບການພັດທະນາວັດສະດຸ ແລະ ອຸປະກອນໃຫມ່. ນອກຈາກນັ້ນ, ແຜ່ນເວເຟີຊິລິກອນຄາໄບພົບເຫັນການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ, ລວມທັງການຜະລິດໄຟ LED ແລະ ໄດໂອດເລເຊີ.

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ດດ່ຽວຂະໜາດ 6 ນິ້ວມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 6 ນິ້ວ (ປະມານ 152.4 ມມ). ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວແມ່ນ Ra < 0.5 nm, ແລະ ຄວາມໜາແມ່ນ 600 ± 25 μm. ຊັ້ນຮອງພື້ນສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ດ້ວຍຄວາມນຳໄຟຟ້າປະເພດ N ຫຼື ປະເພດ P, ໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມໝັ້ນຄົງທາງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ, ສາມາດຕ້ານທານກັບຄວາມກົດດັນ ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນໄດ້.

ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ		150±2.0 ມມ (6 ນິ້ວ)
ຄວາມໜາ		350 ໄມໂຄຣມ ± 25 ໄມໂຄຣມ
ທິດທາງ		ເທິງແກນ: <0001>±0.5°		ນອກແກນ: 4.0° ໄປທາງ 1120±0.5°
ໂພລີໄທບ໌		4H
ຄວາມຕ້ານທານ (Ω·ຊມ)	4H-N	0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm
	4/6H-SI	>1E5
ທິດທາງຮາບພຽງຫຼັກ		{10-10}±5.0°
ຄວາມຍາວຮາບພຽງຫຼັກ (ມມ)		47.5 ມມ ± 2.5 ມມ
ຂອບ		ມຸມຕັດ
TTV/ໂຄ້ງ / ບິດ (um)		≤15 /≤40 /≤60
ດ້ານໜ້າ AFM (ໜ້າ Si)		ໂປໂລຍ Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.5 nm
ອັດຕາດອກເບ້ຍຕໍ່າສຸດ (LTV)		≤3μm (10 ມມ * 10 ມມ)	≤5μm (10 ມມ * 10 ມມ)		≤10μm (10mm * 10mm)
ໂທລະພາບທີວີ		≤5μm	≤10μm		≤15μm
ເປືອກສົ້ມ/ຮູ/ຮອຍແຕກ/ການປົນເປື້ອນ/ຮອຍເປື້ອນ/ຮອຍດ່າງ		ບໍ່ມີ	ບໍ່ມີ		ບໍ່ມີ
ຫຍໍ້ໜ້າ		ບໍ່ມີ	ບໍ່ມີ		ບໍ່ມີ

ຊັ້ນຮອງຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ດດ່ຽວຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ທີ່ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ. ມັນມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ສະຖຽນລະພາບທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານສູງ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າວັດສະດຸໃໝ່. ພວກເຮົາສະໜອງສະເປັກ ແລະ ທາງເລືອກໃນການປັບແຕ່ງຕ່າງໆ ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາສຳລັບລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບແຜ່ນຊິລິກອນຄາໄບ!