4inch 6inch Lithium niobate single crystal film LNOI wafer

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

Lithium niobate ມີຄຸນສົມບັດ electro-optical, nonlinear ແລະ piezoelectric ທີ່ດີເລີດ.ດ້ວຍຄວາມຊ່ອຍເຫລືອຂອງເຕັກໂນໂລຊີການປຸງແຕ່ງຈຸນລະພາກແລະ nano ກ້າວຫນ້າ, ອຸປະກອນ photonics ປະສົມປະສານໂດຍອີງໃສ່ lithium niobate ຮູບເງົາບາງ (LNOI) ກ່ຽວກັບ insulators ໄດ້ຖືກພັດທະນາຢ່າງກວ້າງຂວາງ.ໃນອະນາຄົດ, ວັດສະດຸ LNOI ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຈະສະຫນັບສະຫນູນການພັດທະນາຕື່ມອີກຂອງ micro-nano optics ທີ່ອີງໃສ່ LNOI, photonics ປະສົມປະສານ, ແລະ microwave photonics.ການຜະລິດວັດສະດຸ LNOI ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງຈະເປັນບາດກ້າວທີ່ສໍາຄັນໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາຂອງອຸປະກອນ optoelectronics lithium niobate.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍສິນຄ້າ

ຂະບວນການກະກຽມຂອງວັດສະດຸ LNOI ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແບ່ງອອກເປັນສີ່ຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປນີ້

(1) ລາວ ions ໄດ້ຖືກສີດເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນການ X-cut lithium niobate ໃນພະລັງງານສະເພາະໃດຫນຶ່ງ, ແລະນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຊັ້ນຂໍ້ບົກພ່ອງຢູ່ໃນຄວາມເລິກທີ່ແນ່ນອນຂ້າງລຸ່ມນີ້ຊັ້ນຫນ້າຂອງ lithium niobate;

(2) ວັດສະດຸ lithium niobate implanted ion ໄດ້ຖືກຜູກມັດກັບ substrate ຊິລິຄອນທີ່ມີຊັ້ນ oxide ເພື່ອສ້າງເປັນໂຄງສ້າງພັນທະບັດ;

(3) ໂຄງປະກອບການຜູກມັດໄດ້ຖືກ annealed ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ນໍາສະເຫນີໂດຍ He ion implantation evolve ແລະລວບລວມເພື່ອສ້າງຮອຍແຕກ.ສຸດທ້າຍ, lithium niobate ໄດ້ຖືກແຍກອອກຕາມຊັ້ນຂໍ້ບົກພ່ອງເພື່ອສ້າງເປັນຊິ້ນຂອງ lithium niobate ທີ່ເຫຼືອແລະ LNOI wafers.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ wafer LNOI

1--Lithium niobate films piezoelectric (LNOI) ມີຄ່າສໍາປະສິດ piezoelectric ສູງແລະ dielectric ຄົງທີ່, ເຊິ່ງສາມາດປ່ຽນພະລັງງານກົນຈັກເປັນພະລັງງານໄຟຟ້າຫຼືພະລັງງານໄຟຟ້າເປັນພະລັງງານກົນຈັກ.ດັ່ງນັ້ນ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນພາກສະຫນາມຂອງເຊັນເຊີ, ເຊັ່ນ: ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ, ເຊັນເຊີເລັ່ງ, ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມແລະອື່ນໆ.ນອກຈາກນັ້ນ, ຮູບເງົາ piezoelectric lithium niobate ຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸປະກອນສຽງແລະອຸປະກອນການສັ່ນສະເທືອນ, ເຊັ່ນ: piezoelectric ceramic transducer complex piezoelectric ceramic filter.

2-ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຮູບເງົາ lithium niobate piezoelectric ແມ່ນຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງມັນ.ເນື່ອງຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນແລະ inertness ເຄມີ, ຮູບເງົາ lithium niobate piezoelectric ສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ອາຊິດທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ເປັນດ່າງທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະສະພາບແວດລ້ອມ harsh ອື່ນໆ, ມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ດີແລະຄວາມທົນທານ.

3-Lithium niobate piezoelectric film ເປັນວັດສະດຸ piezoelectric ໃຫມ່ທີ່ມີການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ແລະມີຄວາມສົດໃສດ້ານຄໍາຮ້ອງສະຫມັກກ້ວາງ.ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງວິທະຍາສາດແລະເຕັກໂນໂລຢີ, ຮູບເງົາ lithium niobate piezoelectric ຈະຖືກ ນຳ ໃຊ້ໃນຕົວເມືອງຫຼາຍ, ນຳ ເອົາຄວາມສະດວກສະບາຍແລະນະວັດຕະ ກຳ ຫຼາຍຂຶ້ນມາສູ່ຊີວິດຂອງຄົນ.