ລະບົບການວາງທິດທາງຂອງແຜ່ນເວເຟີສຳລັບການວັດແທກການວາງທິດທາງຂອງຜລຶກ
ການນໍາສະເຫນີອຸປະກອນ
ເຄື່ອງມືການວາງທິດທາງແຜ່ນເວເຟີແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໂດຍອີງໃສ່ຫຼັກການການຫັກເຫລັງສີເອັກ (XRD), ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ວັດສະດຸທາງດ້ານແສງ, ເຊລາມິກ ແລະ ອຸດສາຫະກໍາວັດສະດຸຜລຶກອື່ນໆ.
ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ກຳນົດທິດທາງຂອງໂຄງຮ່າງຜລຶກ ແລະ ນຳພາຂະບວນການຕັດ ຫຼື ຂັດເງົາທີ່ແນ່ນອນ. ຄຸນສົມບັດຫຼັກລວມມີ:
- ການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ:ມີຄວາມສາມາດໃນການແກ້ໄຂລະນາບຜລຶກທີ່ມີຄວາມລະອຽດມຸມລົງເຖິງ 0.001°.
- ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຕົວຢ່າງຂະໜາດໃຫຍ່:ຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງສູງສຸດ 450 ມມ ແລະ ນ້ຳໜັກ 30 ກິໂລກຣາມ, ເໝາະສຳລັບວັດສະດຸເຊັ່ນ: ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC), ແຊຟໄຟ, ແລະ ຊິລິກອນ (Si).
- ການອອກແບບແບບໂມດູນ:ໜ້າທີ່ການໃຊ້ງານທີ່ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ລວມມີການວິເຄາະເສັ້ນໂຄ້ງການໂຍກ, ການສ້າງແຜນທີ່ຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງພື້ນຜິວແບບ 3 ມິຕິ, ແລະອຸປະກອນຊ້ອນກັນສຳລັບການປະມວນຜົນຕົວຢ່າງຫຼາຍອັນ.
ພາລາມິເຕີດ້ານວິຊາການຫຼັກ
| ໝວດໝູ່ພາລາມິເຕີ | ຄ່າ/ການຕັ້ງຄ່າທົ່ວໄປ |
| ແຫຼ່ງລັງສີເອັກສ໌ | Cu-Kα (ຈຸດໂຟກັສ 0.4×1 ມມ), ແຮງດັນເລັ່ງ 30 kV, ກະແສໄຟຟ້າທໍ່ທີ່ສາມາດປັບໄດ້ 0–5 mA |
| ຂອບເຂດມຸມ | θ: -10° ຫາ +50°; 2θ: -10° ຫາ +100° |
| ຄວາມແນ່ນອນ | ຄວາມລະອຽດຂອງມຸມອຽງ: 0.001°, ການກວດຈັບຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງພື້ນຜິວ: ±30 arcseconds (ເສັ້ນໂຄ້ງການໂຍກ) |
| ຄວາມໄວໃນການສະແກນ | ການສະແກນໂອເມກາສຳເລັດການວາງທິດທາງຂອງແລດຕິຊເຕັມຮູບແບບພາຍໃນ 5 ວິນາທີ; ການສະແກນທີຕາໃຊ້ເວລາປະມານ 1 ນາທີ |
| ຂັ້ນຕອນຕົວຢ່າງ | ຮ່ອງຮູບຕົວ V, ດູດດ້ວຍລົມ, ໝຸນໄດ້ຫຼາຍມຸມ, ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 2–8 ນິ້ວ |
| ໜ້າທີ່ທີ່ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ | ການວິເຄາະເສັ້ນໂຄ້ງການໂຍກ, ການສ້າງແຜນທີ່ 3D, ອຸປະກອນການວາງຊ້ອນກັນ, ການກວດຫາຂໍ້ບົກພ່ອງທາງດ້ານແສງ (ຮອຍຂີດຂ່ວນ, GBs) |
ຫຼັກການເຮັດວຽກ
1. ມູນນິທິການກະແຈກກະຈາຍລັງສີເອັກສ໌
- ລັງສີເອັກສ໌ມີປະຕິກິລິຍາກັບນິວເຄຼຍສ໌ຂອງອະຕອມ ແລະ ເອເລັກຕຣອນໃນໂຄງຜັງຜລຶກ, ສ້າງຮູບແບບການຫັກເຫ. ກົດເກນຂອງ Bragg (nλ = 2d sinθ) ຄວບຄຸມຄວາມສຳພັນລະຫວ່າງມຸມການຫັກເຫ (θ) ແລະ ໄລຍະຫ່າງຂອງໂຄງຜັງ (d).
ເຄື່ອງກວດຈັບຈະຈັບຮູບແບບເຫຼົ່ານີ້, ເຊິ່ງຖືກວິເຄາະເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງຜລຶກແກ້ວຄືນໃໝ່.
2. ເທັກໂນໂລຢີການສະແກນ Omega
- ຜລຶກຈະໝູນວຽນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງອ້ອມແກນຄົງທີ່ ໃນຂະນະທີ່ລັງສີເອັກສ່ອງແສງມັນ.
- ເຄື່ອງກວດຈັບເກັບກຳສັນຍານການຫັກເຫຂອງແສງຂ້າມລະນາບຜລຶກຫຼາຍອັນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດກຳນົດທິດທາງຂອງຕາຂ່າຍໄຟຟ້າໄດ້ເຕັມຮູບແບບພາຍໃນ 5 ວິນາທີ.
3. ການວິເຄາະເສັ້ນໂຄ້ງໂຍກ
- ມຸມຜລຶກຄົງທີ່ທີ່ມີມຸມຕົກຕະກອນ X ທີ່ແຕກຕ່າງກັນເພື່ອວັດແທກຄວາມກວ້າງຂອງຈຸດສູງສຸດ (FWHM), ການປະເມີນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງໂຄງສ້າງ ແລະ ຄວາມເຄັ່ງຕຶງ.
4. ການຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດ
- ອິນເຕີເຟດ PLC ແລະ ໜ້າຈໍສຳຜັດຊ່ວຍໃຫ້ມີມຸມຕັດທີ່ຕັ້ງໄວ້ລ່ວງໜ້າ, ການຕອບສະໜອງໃນເວລາຈິງ, ແລະ ການເຊື່ອມໂຍງກັບເຄື່ອງຈັກຕັດສຳລັບການຄວບຄຸມແບບວົງຈອນປິດ.
ຂໍ້ດີ ແລະ ຄຸນສົມບັດຕ່າງໆ
1. ຄວາມແມ່ນຍໍາ ແລະ ປະສິດທິພາບ
- ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມຸມ ±0.001°, ຄວາມລະອຽດການກວດຈັບຂໍ້ບົກຜ່ອງ <30 arcseconds.
- ຄວາມໄວໃນການສະແກນ Omega ໄວກວ່າການສະແກນ Theta ແບບດັ້ງເດີມເຖິງ 200 ເທົ່າ.
2. ໂມດູນ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍ
- ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ສຳລັບການນຳໃຊ້ພິເສດ (ເຊັ່ນ: ແຜ່ນ SiC, ແຜ່ນກັງຫັນ).
- ປະສົມປະສານກັບລະບົບ MES ສຳລັບການຕິດຕາມກວດກາການຜະລິດແບບເວລາຈິງ.
3. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງ
- ຮອງຮັບຕົວຢ່າງທີ່ມີຮູບຮ່າງບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ (ຕົວຢ່າງ, ແທ່ງແກ້ວໄພລິນທີ່ມີຮອຍແຕກ).
- ການອອກແບບທີ່ໃຊ້ອາກາດລະບາຍຄວາມຮ້ອນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການດ້ານການບຳລຸງຮັກສາ.
4. ການດຳເນີນງານທີ່ສະຫຼາດ
- ການປັບທຽບດ້ວຍການຄລິກດຽວ ແລະ ການປະມວນຜົນຫຼາຍໜ້າວຽກ.
- ການວັດແທກອັດຕະໂນມັດດ້ວຍຜລຶກອ້າງອີງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດຂອງມະນຸດ.
ແອັບພລິເຄຊັນ
1. ການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ
- ທິດທາງການຕັດແຜ່ນເວເຟີ: ກຳນົດທິດທາງຂອງແຜ່ນເວເຟີ Si, SiC, GaN ເພື່ອປະສິດທິພາບການຕັດທີ່ດີທີ່ສຸດ.
- ການສ້າງແຜນທີ່ຂໍ້ບົກພ່ອງ: ລະບຸຮອຍຂີດຂ່ວນ ຫຼື ການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງພື້ນຜິວເພື່ອປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຊິບ.
2. ວັດສະດຸທາງແສງ
- ໄປເຊຍກັນແບບບໍ່ເປັນເສັ້ນຊື່ (ເຊັ່ນ: LBO, BBO) ສຳລັບອຸປະກອນເລເຊີ.
- ເຄື່ອງໝາຍພື້ນຜິວອ້າງອີງແຜ່ນເວເຟີ Sapphire ສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນ LED.
3. ເຊລາມິກ ແລະ ວັດສະດຸປະສົມ
- ວິເຄາະທິດທາງຂອງເມັດພືດໃນ Si3N4 ແລະ ZrO2 ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
4. ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ
- ມະຫາວິທະຍາໄລ/ຫ້ອງທົດລອງສຳລັບການພັດທະນາວັດສະດຸໃໝ່ (ເຊັ່ນ: ໂລຫະປະສົມທີ່ມີເອນໂທຣປີສູງ).
- ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບອຸດສາຫະກໍາເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຜະລິດ.
ການບໍລິການຂອງ XKH
XKH ສະເໜີການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິຊາການຕະຫຼອດວົງຈອນຊີວິດທີ່ຄົບຖ້ວນສຳລັບເຄື່ອງມືການວາງທິດທາງຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ລວມທັງການຕິດຕັ້ງ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງພາລາມິເຕີຂະບວນການ, ການວິເຄາະເສັ້ນໂຄ້ງການໂຍກ, ແລະ ການສ້າງແຜນທີ່ຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງໜ້າດິນ 3D. ວິທີແກ້ໄຂທີ່ເໝາະສົມ (ເຊັ່ນ: ເທັກໂນໂລຢີການຈັດລຽງກ້ອນໂລຫະ) ແມ່ນສະໜອງໃຫ້ເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບການຜະລິດວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ວັດສະດຸທາງແສງຫຼາຍກວ່າ 30%. ທີມງານທີ່ອຸທິດຕົນດຳເນີນການຝຶກອົບຮົມຢູ່ໃນສະຖານທີ່, ໃນຂະນະທີ່ການສະໜັບສະໜູນທາງໄກ 24/7 ແລະ ການປ່ຽນອາໄຫຼ່ຢ່າງວ່ອງໄວຮັບປະກັນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ.
