ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຜູກມັດ–ການເຜົາຜະນຶກແບບປະສົມປະສານ

ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຍຶດຕິດ–ການເຜົາຜະນຶກແບບປະສົມປະສານ ຮູບພາບເດັ່ນ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ປ່ຽນການຜູກມັດເມັດ SiC ຈາກວຽກງານທີ່ຂຶ້ນກັບຜູ້ປະຕິບັດງານໄປສູ່ຂະບວນການທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ ແລະ ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍພາລາມິເຕີ: ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນກາວທີ່ຄວບຄຸມ, ການຈັດລຽນກາງດ້ວຍການກົດຖົງລົມນິລະໄພ, ການກຳຈັດຟອງດ້ວຍສູນຍາກາດ, ແລະ ການລວມຕົວກາກບອນທີ່ສາມາດປັບອຸນຫະພູມ/ຄວາມກົດດັນໄດ້. ສ້າງຂຶ້ນສຳລັບສະຖານະການຜະລິດຂະໜາດ 6/8/12 ນິ້ວ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ແຜນວາດລະອຽດ

SiC 晶体生长炉 SiC Crystal Growth Furnace SiC Seed Coating–Bonding–Sintering Integrated Solution

ເຄື່ອງເຄືອບ SiC 喷胶机 ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຜູກມັດ–ການເຜົາຜະນຶກ ວິທີແກ້ໄຂແບບປະສົມປະສານ

ການເຄືອບສະເປຣທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ • ການຍຶດຕິດແບບຕັ້ງສູນກາງ • ການກຳຈັດຟອງດ້ວຍສູນຍາກາດ • ການລວມຕົວດ້ວຍຄາບອນໄນເຊຊັນ/ການເຜົາໄໝ້

ພາບລວມຂອງຜະລິດຕະພັນ

ມັນແມ່ນຫຍັງ

ວິທີແກ້ໄຂແບບປະສົມປະສານນີ້ຖືກອອກແບບມາສຳລັບຂັ້ນຕອນຕົ້ນນ້ຳຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ SiC ບ່ອນທີ່ເມັດ/ແຜ່ນເວເຟີຖືກຜູກມັດກັບເຈ້ຍແກຣໄຟ/ແຜ່ນແກຣໄຟ (ແລະອິນເຕີເຟດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ). ມັນປິດວົງຈອນຂະບວນການໃນທົ່ວ:

ການເຄືອບ (ກາວສີດ) → ການຍຶດຕິດ (ການຈັດລຽນ + ການກົດ + ການກຳຈັດຟອງດ້ວຍສູນຍາກາດ) → ການເຜົາ/ການເຜົາດ້ວຍຄາບອນໄນເຊຊັນ (ການລວມຕົວ ແລະ ການແຂງຕົວ)

ໂດຍການຄວບຄຸມການສ້າງກາວ, ການກຳຈັດຟອງ, ແລະ ການລວມຕົວສຸດທ້າຍເປັນລະບົບຕ່ອງໂສ້ດຽວ, ວິທີແກ້ໄຂດັ່ງກ່າວຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງ, ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍ.

ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຍຶດຕິດ–ການເຜົາຜະນຶກ ວິທີແກ້ໄຂປະສົມປະສານ 1

ຕົວເລືອກການຕັ້ງຄ່າ

ກ. ສາຍເຄິ່ງອັດຕະໂນມັດ
ເຄື່ອງເຄືອບສີດ SiC → ເຄື່ອງຜູກມັດ SiC → ເຕົາເຜົາ SiC

B. ສາຍອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່
ເຄື່ອງສີດເຄືອບ ແລະ ເຊື່ອມໂລຫະອັດຕະໂນມັດ → ເຕົາເຜົາ SiC
ການເຊື່ອມໂຍງທາງເລືອກ: ການຈັດການດ້ວຍຫຸ່ນຍົນ, ການປັບທຽບ/ການຈັດລຽງ, ການອ່ານ ID, ການກວດຈັບຟອງສະບູ່

ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຍຶດຕິດ–ການເຜົາຜະນຶກ ວິທີແກ້ໄຂປະສົມປະສານ 2

ຜົນປະໂຫຍດຫຼັກ

• ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນກາວທີ່ຄວບຄຸມ ແລະ ການປົກຄຸມເພື່ອປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຄືນ
• ການຈັດລຽງຈຸດກາງ ແລະ ການກົດຂອງຖົງລົມນິລະໄພ ເພື່ອການຕິດຕໍ່ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມດັນທີ່ສອດຄ່ອງ
• ການດູດຝຸ່ນເພື່ອຫຼຸດຟອງອາກາດ/ຊ່ອງຫວ່າງພາຍໃນຊັ້ນກາວ
• ການລວມຕົວຂອງຄາບອນໄນເຊຊັນທີ່ມີອຸນຫະພູມ/ຄວາມກົດດັນທີ່ສາມາດປັບໄດ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ການຜູກມັດສຸດທ້າຍມີຄວາມໝັ້ນຄົງ
• ຕົວເລືອກອັດຕະໂນມັດສຳລັບເວລາຮອບວຽນທີ່ໝັ້ນຄົງ, ການຕິດຕາມໄດ້, ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບໃນສາຍການຜະລິດ

ຫຼັກການ

ເປັນຫຍັງວິທີການແບບດັ້ງເດີມຈຶ່ງມີບັນຫາ
ປະສິດທິພາບການຜູກມັດຂອງແກ່ນພັນໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຖືກຈຳກັດໂດຍຕົວແປທີ່ເຊື່ອມໂຍງສາມຢ່າງຄື:

ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນກາວ (ຄວາມໜາ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ)
ການຄວບຄຸມຟອງ/ຊ່ອງວ່າງ (ອາກາດທີ່ຕິດຢູ່ໃນຊັ້ນກາວ)
ຄວາມໝັ້ນຄົງຫຼັງການຜູກມັດຫຼັງຈາກການແຂງຕົວ/ການເຜົາໄໝ້ດ້ວຍຄາບອນ

ການເຄືອບດ້ວຍມືມັກຈະນໍາໄປສູ່ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງຄວາມໜາ, ການແກ້ຟອງຍາກ, ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການເປັນຮູພາຍໃນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ຮອຍຂີດຂ່ວນທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນຂອງໜ້າດິນແກຣໄຟ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍທີ່ບໍ່ດີສໍາລັບການຜະລິດຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍ.

ການເຄືອບແບບໝຸນສາມາດສ້າງຄວາມໜາທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງເນື່ອງຈາກພຶດຕິກຳການໄຫຼຂອງກາວ, ຄວາມຕຶງຜິວໜ້າ, ແລະ ແຮງໜີສູນກາງ. ມັນຍັງອາດຈະປະເຊີນກັບການປົນເປື້ອນຂ້າງຄຽງ ແລະ ຂໍ້ຈຳກັດຂອງການຕິດຕັ້ງໃນເຈ້ຍ/ແຜ່ນແກຣໄຟ, ແລະ ອາດຈະເປັນເລື່ອງຍາກສຳລັບກາວທີ່ມີເນື້ອໃນແຂງທີ່ຈະເຄືອບຢ່າງເປັນເອກະພາບ.

ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຍຶດຕິດ–ການເຜົາຜະນຶກ ວິທີແກ້ໄຂປະສົມປະສານ 3

ວິທີການປະສົມປະສານເຮັດວຽກແນວໃດ

ການເຄືອບ: ການເຄືອບແບບສີດສ້າງຄວາມໜາຂອງຊັ້ນກາວທີ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ ແລະ ການປົກຄຸມເທິງໜ້າຜິວເປົ້າໝາຍ (ເມັດ/ແຜ່ນເວເຟີ, ເຈ້ຍແກຣໄຟ/ແຜ່ນ).

ການຍຶດຕິດ: ການຈັດລຽນກາງ + ການກົດຖົງລົມນິລະໄພຊ່ວຍໃຫ້ການຕິດຕໍ່ກັນຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີ; ການດູດຟອງດ້ວຍສູນຍາກາດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອາກາດ, ຟອງອາກາດ ແລະ ຊ່ອງວ່າງທີ່ຕິດຢູ່ໃນຊັ້ນກາວ.

ການເຜົາ/ການເຜົາດ້ວຍຄາບອນໄນເຊຊັນ: ການລວມຕົວດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງດ້ວຍອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມກົດດັນທີ່ສາມາດປັບໄດ້ຈະເຮັດໃຫ້ສ່ວນຕິດຕໍ່ສຸດທ້າຍມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ໂດຍແນໃສ່ຜົນໄດ້ຮັບການກົດທີ່ບໍ່ມີຟອງ ແລະ ເປັນເອກະພາບ.

ຖະແຫຼງການປະສິດທິພາບອ້າງອີງ
ຜົນຜະລິດພັນທະບັດກາກບອນສາມາດບັນລຸໄດ້ 90%+ (ເອກະສານອ້າງອີງຂະບວນການ). ເອກະສານອ້າງອີງຜົນຜະລິດພັນທະບັດທົ່ວໄປແມ່ນລະບຸໄວ້ໃນພາກກໍລະນີຄລາສສິກ.

ຂະບວນການ

ກ. ຂະບວນການເຮັດວຽກແບບເຄິ່ງອັດຕະໂນມັດ

ຂັ້ນຕອນທີ 1 — ການເຄືອບແບບສີດ (ການເຄືອບ)
ທາກາວຜ່ານການສີດພົ່ນເຄືອບໃສ່ພື້ນຜິວເປົ້າໝາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມໜາທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ການປົກຄຸມເປັນເອກະພາບ.

ຂັ້ນຕອນທີ 2 — ການຈັດລຽນ ແລະ ການຍຶດຕິດ (ການຍຶດຕິດ)
ປະຕິບັດການຈັດລຽນກາງ, ກົດຖົງລົມນິລະໄພ, ແລະ ໃຊ້ການດູດຝຸ່ນເພື່ອກຳຈັດອາກາດທີ່ຕິດຢູ່ໃນຊັ້ນກາວ.

ຂັ້ນຕອນທີ 3 — ການລວມຕົວຂອງຄາບອນໄນເຊຊັນ (ການເຜົາໄໝ້/ການເຜົາໄໝ້)
ຍ້າຍຊິ້ນສ່ວນທີ່ຜູກມັດເຂົ້າໄປໃນເຕົາເຜົາ ແລະ ເປີດໃຊ້ການລວມຕົວດ້ວຍຄາບອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງດ້ວຍອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມກົດດັນທີ່ສາມາດປັບໄດ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ການຜູກມັດສຸດທ້າຍມີຄວາມໝັ້ນຄົງ.

ຂ. ຂະບວນການເຮັດວຽກອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່

ເຄື່ອງສີດພົ່ນເຄືອບ ແລະ ເຊື່ອມໂລຫະອັດຕະໂນມັດປະສົມປະສານການເຄືອບ ແລະ ການເຊື່ອມໂລຫະ ແລະ ສາມາດປະກອບມີການຈັດການ ແລະ ການວັດແທກດ້ວຍຫຸ່ນຍົນ. ຕົວເລືອກໃນສາຍການຜະລິດສາມາດປະກອບມີການອ່ານ ID ແລະ ການກວດຈັບຟອງອາກາດເພື່ອການຕິດຕາມ ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆຈະຖືກນຳໄປເຜົາເພື່ອການລວມຕົວຂອງຄາບອນ.

ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຂອງເສັ້ນທາງຂະບວນການ
ອີງຕາມວັດສະດຸເຊື່ອມຕໍ່ ແລະ ການປະຕິບັດທີ່ຕ້ອງການ, ລະບົບສາມາດຮອງຮັບລໍາດັບການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ ແລະ ເສັ້ນທາງສີດພົ່ນດ້ານດຽວ ຫຼື ສອງດ້ານ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຈຸດປະສົງດຽວກັນຄື: ຊັ້ນກາວທີ່ໝັ້ນຄົງ → ການຫຼຸດຟອງທີ່ມີປະສິດທິພາບ → ການລວມຕົວເປັນເອກະພາບ.

ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຍຶດຕິດ–ການເຜົາຜະນຶກ ວິທີແກ້ໄຂປະສົມປະສານ 4

ແອັບພລິເຄຊັນ

ແອັບພລິເຄຊັນຫຼັກ
ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ SiC ການຜູກມັດແກ່ນທາງຕົ້ນທາງ: ການຜູກມັດແກ່ນ/ແຜ່ນເວເຟີກັບເຈ້ຍແກຣໄຟດ/ແຜ່ນແກຣໄຟດ ແລະ ໜ້າຕ່າງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ຕາມດ້ວຍການລວມຕົວຂອງຄາບອນໄນເຊຊັນ.

ສະຖານະການຂະໜາດ
ຮອງຮັບແອັບພລິເຄຊັນການເຊື່ອມມັດຂະໜາດ 6/8/12 ນິ້ວຜ່ານການເລືອກການຕັ້ງຄ່າ ແລະ ການກວດສອບເສັ້ນທາງຂະບວນການ.

ຕົວຊີ້ວັດຄວາມພໍດີໂດຍທົ່ວໄປ
• ການເຄືອບດ້ວຍມືເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມໜາແຕກຕ່າງກັນ, ຟອງ/ຊ່ອງວ່າງ, ຮອຍຂີດຂ່ວນ ແລະ ຜົນຜະລິດທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັນ
• ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບໝູນບໍ່ໝັ້ນຄົງ ຫຼື ຍາກທີ່ຈະໃສ່ເຈ້ຍ/ແຜ່ນແກຣໄຟ; ມີຂໍ້ຈຳກັດໃນການປົນເປື້ອນ/ການຕິດຢູ່ຂ້າງຄຽງ
• ທ່ານຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າ ແລະ ການເພິ່ງພາອາໄສຜູ້ປະຕິບັດການຕ່ຳກວ່າ
• ທ່ານຕ້ອງການລະບົບອັດຕະໂນມັດ, ການຕິດຕາມ, ແລະ ຕົວເລືອກ QC ໃນສາຍການຜະລິດ (ການກວດຫາ ID + ການກວດຫາຟອງ)

ກໍລະນີຄລາສສິກ (ຜົນໄດ້ຮັບທົ່ວໄປ)

ໝາຍເຫດ: ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນຂໍ້ມູນອ້າງອີງ/ເອກະສານອ້າງອີງຂະບວນການທົ່ວໄປ. ປະສິດທິພາບຕົວຈິງແມ່ນຂຶ້ນກັບລະບົບກາວ, ສະພາບວັດສະດຸທີ່ເຂົ້າມາ, ໄລຍະເວລາຂະບວນການທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນ, ແລະມາດຕະຖານການກວດກາ.

ກໍລະນີທີ 1 — ການຜູກມັດເມັດພັນຂະໜາດ 6/8 ນິ້ວ (ການອ້າງອີງເຖິງປະລິມານການຜະລິດ ແລະ ຜົນຜະລິດ)
ບໍ່ມີແຜ່ນກຣາໄຟ: 6 ຊິ້ນ/ໜ່ວຍ/ມື້
ມີແຜ່ນແກຣໄຟ: 2.5 ຊິ້ນ/ໜ່ວຍ/ມື້
ຜົນຜະລິດພັນທະບັດ: ≥95%

ກໍລະນີທີ 2 — ການຜູກມັດເມັດພັນຂະໜາດ 12 ນິ້ວ (ການອ້າງອີງເຖິງປະລິມານການຜະລິດ ແລະ ຜົນຜະລິດ)
ບໍ່ມີແຜ່ນກຣາໄຟ: 5 ຊິ້ນ/ໜ່ວຍ/ມື້
ມີແຜ່ນແກຣໄຟ: 2 ຊິ້ນ/ໜ່ວຍ/ມື້
ຜົນຜະລິດພັນທະບັດ: ≥95%

ກໍລະນີທີ 3 — ເອກະສານອ້າງອີງຜົນຜະລິດການລວມຕົວຂອງຄາບອນໄນເຊຊັນ
ຜົນຜະລິດພັນທະການຄາບອນໄນເຊຊັນ: 90%+ (ເອກະສານອ້າງອີງຂະບວນການ)
ຜົນໄດ້ຮັບເປົ້າໝາຍ: ຜົນໄດ້ຮັບການກົດທີ່ບໍ່ມີຟອງ ແລະ ເປັນເອກະພາບ (ຂຶ້ນກັບເງື່ອນໄຂການກວດສອບ ແລະ ການກວດກາ)

ການເຄືອບເມັດ SiC–ການຍຶດຕິດ–ການເຜົາຜະນຶກ ວິທີແກ້ໄຂປະສົມປະສານ 5

ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ

ຄຳຖາມທີ 1: ບັນຫາຫຼັກທີ່ວິທີແກ້ໄຂນີ້ແກ້ໄຂແມ່ນຫຍັງ?
ກ: ມັນເຮັດໃຫ້ການຍຶດຕິດຂອງແກ່ນມີຄວາມໝັ້ນຄົງໂດຍການຄວບຄຸມຄວາມໜາ/ການປົກຄຸມຂອງກາວ, ປະສິດທິພາບໃນການຫຼຸດຟອງ, ແລະ ການລວມຕົວຫຼັງການຍຶດຕິດ - ປ່ຽນຂັ້ນຕອນທີ່ຂຶ້ນກັບທັກສະໃຫ້ກາຍເປັນຂະບວນການຜະລິດທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້.

ຄຳຖາມທີ 2: ເປັນຫຍັງການເຄືອບດ້ວຍມືຈຶ່ງມັກຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຟອງອາກາດ/ຊ່ອງວ່າງ?
ກ: ວິທີການດ້ວຍຕົນເອງມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຮັກສາຄວາມໜາທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ເຮັດໃຫ້ການກຳຈັດຟອງຍາກຂຶ້ນ ແລະ ເພີ່ມຄວາມສ່ຽງຕໍ່ອາກາດທີ່ຕິດຢູ່. ພວກມັນອາດຈະຂູດພື້ນຜິວແກຣໄຟ ແລະ ຍາກທີ່ຈະມາດຕະຖານໃນປະລິມານ.

ຄຳຖາມທີ 3: ເປັນຫຍັງການເຄືອບແບບໝຸນຈຶ່ງບໍ່ໝັ້ນຄົງສຳລັບການນຳໃຊ້ນີ້?
ກ: ຄວາມໜາມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບພຶດຕິກຳການໄຫຼຂອງກາວ, ຄວາມຕຶງຜິວໜ້າ, ແລະ ແຮງໜີສູນກາງ. ການເຄືອບເຈ້ຍ/ແຜ່ນກຣາໄຟດສາມາດຖືກຈຳກັດໂດຍຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຕິດ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂ້າງ, ແລະ ກາວທີ່ມີເນື້ອໃນແຂງອາດຈະຍາກທີ່ຈະໝຸນເຄືອບຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີ.

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍແກ້ວແສງພິເສດ ແລະ ວັດສະດຸຜລຶກໃໝ່ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແສງ, ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ ແລະ ກອງທັບ. ພວກເຮົາສະເໜີອຸປະກອນແສງ Sapphire, ຝາປິດເລນໂທລະສັບມືຖື, ເຊລາມິກ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ ແຜ່ນແພຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານ ແລະ ອຸປະກອນທີ່ທັນສະໄໝ, ພວກເຮົາມີຄວາມເກັ່ງໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ໂດຍມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic ຊັ້ນນຳ.