ໂລຫະປະສົມຊິລິກອນຄາໄບ 4H-SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ, ເກຣດຫຸ່ນ

6 ນິ້ວ ຊິລິກອນຄາໄບ 4H-SiC ກ້ອນເຄິ່ງສນວນ, ເກຣດຫຸ່ນ ຮູບພາບເດັ່ນ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ກຳລັງປະຕິວັດອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ໂດຍສະເພາະໃນການນຳໃຊ້ພະລັງງານສູງ, ຄວາມຖີ່ສູງ, ແລະ ທົນທານຕໍ່ລັງສີ. ແທ່ງເຄິ່ງສນວນ 4H-SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ, ສະເໜີໃນລະດັບຫຸ່ນ, ເປັນວັດສະດຸທີ່ສຳຄັນສຳລັບຂະບວນການສ້າງຕົ້ນແບບ, ການຄົ້ນຄວ້າ, ແລະ ການວັດແທກ. ດ້ວຍແຖບແບນທີ່ກວ້າງ, ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ແລະ ຄວາມທົນທານທາງກົນຈັກ, ແທ່ງນີ້ເປັນທາງເລືອກທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສຳລັບການທົດສອບ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການໂດຍບໍ່ມີການປະນີປະນອມຄຸນນະພາບພື້ນຖານທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການພັດທະນາຂັ້ນສູງ. ຜະລິດຕະພັນນີ້ຮອງຮັບການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ລວມທັງເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, ອຸປະກອນຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ (RF), ແລະ ອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ມີຄຸນຄ່າສຳລັບສະຖາບັນອຸດສາຫະກຳ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ຊັບສິນ

1. ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ໂຄງສ້າງ
●ປະເພດວັດສະດຸ: ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC)
●Polytype: 4H-SiC, ໂຄງສ້າງຜລຶກຮູບຫົກຫຼ່ຽມ
●ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ: 6 ນິ້ວ (150 ມມ)
●ຄວາມໜາ: ສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ (5-15 ມມ ໂດຍທົ່ວໄປສຳລັບຊັ້ນ dummy)
●ທິດທາງຂອງຜລຶກ:
oຫຼັກ: [0001] (ແຜ່ນ C)
oທາງເລືອກທີສອງ: ນອກແກນ 4° ສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ດີທີ່ສຸດ
●ທິດທາງຮາບພຽງຫຼັກ: (10-10) ± 5°
●ທິດທາງຮາບພຽງຂັ້ນສອງ: 90° ທວນເຂັມໂມງຈາກຮາບພຽງຂັ້ນຕົ້ນ ± 5°

2. ຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າ
●ຄວາມຕ້ານທານ:
oເຄິ່ງສນວນ (>106^66 Ω·cm), ເໝາະສຳລັບການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຈຸຂອງກາຝາກ.
●ປະເພດການໃຊ້ສານກະຕຸ້ນ:
ມີການເສີມໂດຍບໍ່ໄດ້ຕັ້ງໃຈ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ມີຄວາມຕ້ານທານທາງໄຟຟ້າສູງ ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການປະຕິບັດງານທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

3. ຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນ
●ການນຳຄວາມຮ້ອນ: 3.5-4.9 W/cm·K, ເຮັດໃຫ້ການລະບາຍຄວາມຮ້ອນມີປະສິດທິພາບໃນລະບົບພະລັງງານສູງ.
●ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ: 4.2 × 10−64.2 \times 10^{-6}4.2 × 10−6/K, ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

4. ຄຸນສົມບັດທາງແສງ
●ແບນບ໋ອກ: ແບນບ໋ອກກວ້າງ 3.26 eV, ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ພາຍໃຕ້ແຮງດັນໄຟຟ້າ ແລະ ອຸນຫະພູມສູງ.
●ຄວາມໂປ່ງໃສ: ຄວາມໂປ່ງໃສສູງຕໍ່ກັບ UV ແລະ ຄວາມຍາວຄື້ນທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້, ເປັນປະໂຫຍດສຳລັບການທົດສອບ optoelectronic.

5. ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ
●ຄວາມແຂງ: ຂະໜາດ Mohs 9, ເປັນອັນດັບສອງຮອງຈາກເພັດ, ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ.
●ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງ:
ຄວບຄຸມສຳລັບຂໍ້ບົກຜ່ອງມະຫາພາກໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ພຽງພໍສຳລັບການນຳໃຊ້ລະດັບຫຸ່ນ.
●ຄວາມຮາບພຽງ: ສະໝໍ່າສະເໝີກັບຄວາມແຕກຕ່າງ

ພາລາມິເຕີ	ລາຍລະອຽດ	ໜ່ວຍ
ຊັ້ນຮຽນ	ເກຣດຫຸ່ນ
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ	150.0 ± 0.5	mm
ທິດທາງຂອງແຜ່ນເວເຟີ	ໃນແກນ: <0001> ± 0.5°	ປະລິນຍາ
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ	> 1E5	Ω·ຊມ
ທິດທາງຮາບພຽງຫຼັກ	{10-10} ± 5.0°	ປະລິນຍາ
ຄວາມຍາວຮາບພຽງຫຼັກ	ຮອຍບາດ
ຮອຍແຕກ (ການກວດກາດ້ວຍແສງຄວາມເຂັ້ມສູງ)	< 3 ມມ ໃນລັດສະໝີ	mm
ແຜ່ນ Hex (ການກວດກາແສງຄວາມເຂັ້ມສູງ)	ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤ 5%	%
ພື້ນທີ່ Polytype (ການກວດກາແສງຄວາມເຂັ້ມສູງ)	ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤ 10%	%
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ນ້ອຍ	< 50	ຊມ−2^-2−2
ການບิ่นຂອບ	ອະນຸຍາດໃຫ້ 3 ອັນ, ແຕ່ລະອັນ ≤ 3 ມມ	mm
ໝາຍເຫດ	ຄວາມໜາຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ຊອຍ < 1 ມມ, > 70% (ບໍ່ລວມສອງສົ້ນ) ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂ້າງເທິງ

ແອັບພລິເຄຊັນ

1. ການສ້າງຕົ້ນແບບ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າ
ກ້ອນໂລຫະ 4H-SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ລຸ້ນຫຸ່ນດີ ເປັນວັດສະດຸທີ່ເໝາະສົມສຳລັບການສ້າງຕົ້ນແບບ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າ, ຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຜະລິດ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງສາມາດ:
●ພາລາມິເຕີຂະບວນການທົດສອບໃນການລະລາຍໄອທາງເຄມີ (CVD) ຫຼື ການລະລາຍໄອທາງກາຍະພາບ (PVD).
●ພັດທະນາ ແລະ ປັບປຸງເຕັກນິກການແກະສະຫຼັກ, ການຂັດເງົາ ແລະ ການຊອຍແຜ່ນ.
●ສຳຫຼວດການອອກແບບອຸປະກອນໃໝ່ກ່ອນທີ່ຈະປ່ຽນໄປໃຊ້ວັດສະດຸລະດັບການຜະລິດ.

2. ການວັດແທກ ແລະ ການທົດສອບອຸປະກອນ
ຄຸນສົມບັດເຄິ່ງສນວນເຮັດໃຫ້ໂລຫະກ້ອນນີ້ມີຄຸນຄ່າຫຼາຍສຳລັບ:
●ການປະເມີນ ແລະ ການປັບທຽບຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າຂອງອຸປະກອນພະລັງງານສູງ ແລະ ຄວາມຖີ່ສູງ.
●ການຈຳລອງເງື່ອນໄຂການດຳເນີນງານສຳລັບ MOSFETs, IGBTs ຫຼື ໄດໂອດໃນສະພາບແວດລ້ອມການທົດສອບ.
● ເປັນຕົວແທນທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນສຳລັບວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນໄລຍະການພັດທະນາໄລຍະຕົ້ນໆ.

3. ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ
ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ຄຸນລັກສະນະຂອງແຖບແບນວິດກວ້າງຂອງ 4H-SiC ຊ່ວຍໃຫ້ການເຮັດວຽກມີປະສິດທິພາບໃນເອເລັກໂຕຣນິກກຳລັງ, ລວມທັງ:
●ແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟແຮງດັນສູງ.
●ອິນເວີເຕີລົດຍົນໄຟຟ້າ (EV).
●ລະບົບພະລັງງານທົດແທນ ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງປ່ຽນກະແສໄຟຟ້າແສງອາທິດ ແລະ ກັງຫັນລົມ.

4. ການນຳໃຊ້ຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ (RF)
ການສູນເສຍໄຟຟ້າຕໍ່າ ແລະ ການເຄື່ອນທີ່ຂອງເອເລັກຕຣອນສູງຂອງ 4H-SiC ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບ:
●ເຄື່ອງຂະຫຍາຍສັນຍານ RF ແລະ ທຣານຊິດເຕີໃນໂຄງສ້າງພື້ນຖານການສື່ສານ.
●ລະບົບ radar ຄວາມຖີ່ສູງສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນການບິນອະວະກາດ ແລະ ການປ້ອງກັນປະເທດ.
●ອົງປະກອບເຄືອຂ່າຍໄຮ້ສາຍສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີ 5G ທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາໃໝ່.

5. ອຸປະກອນທີ່ທົນທານຕໍ່ລັງສີ
ເນື່ອງຈາກມັນມີຄວາມຕ້ານທານໂດຍທຳມະຊາດຕໍ່ກັບຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ເກີດຈາກລັງສີ, 4H-SiC ແບບເຄິ່ງສນວນຈຶ່ງເໝາະສົມສຳລັບ:
●ອຸປະກອນສຳຫຼວດອະວະກາດ, ລວມທັງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກດາວທຽມ ແລະ ລະບົບພະລັງງານ.
●ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ເຄືອບດ້ວຍລັງສີ ສຳລັບການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ຄວບຄຸມນິວເຄຼຍ.
● ແອັບພລິເຄຊັນປ້ອງກັນປະເທດທີ່ຕ້ອງການຄວາມແຂງແຮງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.

6. ອອບໂຕອີເລັກໂທຣນິກ
ຄວາມໂປ່ງໃສທາງດ້ານແສງ ແລະ ແບນວິດແກັດທີ່ກວ້າງຂອງ 4H-SiC ເຮັດໃຫ້ສາມາດນຳໃຊ້ມັນໄດ້ໃນ:
●ເຄື່ອງກວດຈັບແສງ UV ແລະ LED ພະລັງງານສູງ.
●ການທົດສອບການເຄືອບແສງ ແລະ ການປະຕິບັດໜ້າດິນ.
●ການສ້າງຕົ້ນແບບອົງປະກອບທາງແສງສຳລັບເຊັນເຊີຂັ້ນສູງ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງວັດສະດຸຊັ້ນ Dummy

ປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ:
ຊັ້ນທົດລອງແມ່ນທາງເລືອກທີ່ມີລາຄາຖືກກວ່າວັດສະດຸຄົ້ນຄວ້າ ຫຼື ຊັ້ນຜະລິດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການທົດສອບປົກກະຕິ ແລະ ການປັບປຸງຂະບວນການ.

ຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງ:
ຂະໜາດທີ່ສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ ແລະ ທິດທາງຂອງຜລຶກຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບແອັບພລິເຄຊັນທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍ:
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 6 ນິ້ວສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ, ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຂະຫຍາຍໄປສູ່ຂະບວນການລະດັບການຜະລິດໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ.

ຄວາມທົນທານ:
ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກສູງ ແລະ ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ແທ່ງໂລຫະທົນທານ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການທົດລອງທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

ຄວາມຫຼາກຫຼາຍ:
ເໝາະສຳລັບຫຼາຍອຸດສາຫະກຳ, ຕັ້ງແຕ່ລະບົບພະລັງງານ ຈົນເຖິງການສື່ສານ ແລະ ອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ.

ສະຫຼຸບ

ແທ່ງໂລຫະຊິລິໂຄນຄາໄບ (4H-SiC) ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ, ຊັ້ນຫຸ່ນ, ສະເໜີແພລດຟອມທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຫຼາກຫຼາຍສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າ, ການສ້າງຕົ້ນແບບ ແລະ ການທົດສອບໃນຂະແໜງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ. ຄຸນສົມບັດດ້ານຄວາມຮ້ອນ, ໄຟຟ້າ ແລະ ກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ, ບວກກັບລາຄາທີ່ເໝາະສົມ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສຳລັບທັງວົງວິຊາການ ແລະ ອຸດສາຫະກຳ. ຕັ້ງແຕ່ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານຈົນເຖິງລະບົບ RF ແລະ ອຸປະກອນທີ່ແຂງກະດ້າງດ້ວຍລັງສີ, ແທ່ງໂລຫະນີ້ສະໜັບສະໜູນນະວັດຕະກຳໃນທຸກຂັ້ນຕອນຂອງການພັດທະນາ.
ສຳລັບລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ ຫຼື ເພື່ອຂໍໃບສະເໜີລາຄາ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໂດຍກົງ. ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາພ້ອມແລ້ວທີ່ຈະຊ່ວຍເຫຼືອດ້ວຍວິທີແກ້ໄຂທີ່ເໝາະສົມເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານ.