ການຄົ້ນຄວ້າຜະລິດແຜ່ນ SiC 4H-N/6H-N ຊັ້ນ Dummy ຂະໜາດ Dia150mm ວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ພວກເຮົາສາມາດສະໜອງຊັ້ນຟິມບາງທີ່ມີສານນຳໄຟຟ້າອຸນຫະພູມສູງ, ຟິມບາງແມ່ເຫຼັກ ແລະ ຊັ້ນຟິມບາງ ferroelectric, ຜລຶກ semiconductor, ຜລຶກ optical, ວັດສະດຸຜລຶກເລເຊີ, ໃນເວລາດຽວກັນໃຫ້ບໍລິການດ້ານການວາງທິດທາງ, ການຕັດຜລຶກ, ການບົດ, ການຂັດ ແລະ ການບໍລິການປຸງແຕ່ງອື່ນໆ. ຊັ້ນ SiC ຂອງພວກເຮົາມາຈາກໂຮງງານ Tankeblue ໃນປະເທດຈີນ.


ຄຸນສົມບັດ

ລາຍລະອຽດຂອງວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 6 ນິ້ວ

ຊັ້ນຮຽນ

MPD ເປັນສູນ

ການຜະລິດ

ຊັ້ນຮຽນຄົ້ນຄວ້າ

ເກຣດຫຸ່ນ

ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ

150.0 ມມ ± 0.25 ມມ

ຄວາມໜາ

4H-N

350um ± 25um

4H-SI

500um ± 25um

ທິດທາງຂອງແຜ່ນເວເຟີ

ເທິງແກນ: <0001> ±0.5° ສຳລັບ 4H-SI
ນອກແກນ: 4.0° ໄປທາງ <1120> ±0.5° ສຳລັບ 4H-N

ຫ້ອງແຖວຫຼັກ

{10-10}±5.0°

ຄວາມຍາວຮາບພຽງຫຼັກ

47.5 ມມ ± 2.5 ມມ

ການຍົກເວັ້ນຂອບ

3 ມມ

TTV/Bow/Warp

≤15um/≤40um/≤60um

ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ນ້ອຍ

≤1ຊມ-2

≤5ຊມ-2

≤15ຊມ-2

≤50ຊມ-2

ຄວາມຕ້ານທານ 4H-N 4H-SI

0.015~0.028Ω!ຊມ

≥1E5Ω!ຊມ

ຄວາມຫຍາບ

ໂປໂລຍ Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm

#ຮອຍແຕກຍ້ອນແສງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງ

ບໍ່ມີ

1 ອະນຸຍາດ, ≤2mm

ຄວາມຍາວສະສົມ ≤10mm, ຄວາມຍາວດຽວ ≤2mm

*ແຜ່ນ Hex ໂດຍແສງຄວາມເຂັ້ມສູງ

ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤1%

ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤ 2%

ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤ 5%

*ພື້ນທີ່ Polytype ໂດຍແສງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງ

ບໍ່ມີ

ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤ 2%

ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤ 5%

*&ຮອຍຂີດຂ່ວນໂດຍແສງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງ

ຮອຍຂີດຂ່ວນ 3 ຮອຍຕໍ່ຄວາມຍາວສະສົມຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງແຜ່ນເວເຟີ 1 ເທົ່າ

5 ຮອຍຂີດຂ່ວນຕໍ່ຄວາມຍາວສະສົມຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງແຜ່ນເວເຟີ 1

5 ຮອຍຂີດຂ່ວນຕໍ່ 1 x ຄວາມຍາວສະສົມຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງແຜ່ນເວເຟີ

ຊິບຂອບ

ບໍ່ມີ

ອະນຸຍາດໃຫ້ 3 ອັນ, ≤0.5 ມມ ແຕ່ລະອັນ

ອະນຸຍາດໃຫ້ 5 ອັນ, ≤1 ມມ ແຕ່ລະອັນ

ການປົນເປື້ອນໂດຍແສງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງ

ບໍ່ມີ

ຝ່າຍຂາຍ ແລະ ບໍລິການລູກຄ້າ

ການຊື້ວັດສະດຸ

ພະແນກຊື້ວັດສະດຸມີໜ້າທີ່ຮັບຜິດຊອບໃນການເກັບກຳວັດຖຸດິບທັງໝົດທີ່ຈຳເປັນເພື່ອຜະລິດຜະລິດຕະພັນຂອງທ່ານ. ການຕິດຕາມຜະລິດຕະພັນ ແລະ ວັດສະດຸທັງໝົດໄດ້ຢ່າງຄົບຖ້ວນ, ລວມທັງການວິເຄາະທາງເຄມີ ແລະ ຟີຊິກສາດ ແມ່ນມີໃຫ້ສະເໝີ.

ຄຸນນະພາບ

ໃນລະຫວ່າງ ແລະ ຫຼັງຈາກການຜະລິດ ຫຼື ການເຄື່ອງຈັກຜະລິດຕະພັນຂອງທ່ານ, ພະແນກຄວບຄຸມຄຸນນະພາບມີສ່ວນຮ່ວມໃນການຮັບປະກັນວ່າວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມທົນທານທັງໝົດຕອບສະໜອງ ຫຼື ເກີນກວ່າຂໍ້ກຳນົດຂອງທ່ານ.

ການບໍລິການ

ພວກເຮົາມີຄວາມພູມໃຈທີ່ມີພະນັກງານວິສະວະກອນຝ່າຍຂາຍທີ່ມີປະສົບການຫຼາຍກວ່າ 5 ປີໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ. ພວກເຂົາໄດ້ຮັບການຝຶກອົບຮົມໃຫ້ຕອບຄໍາຖາມດ້ານເຕັກນິກພ້ອມທັງໃຫ້ໃບສະເໜີລາຄາທີ່ທັນເວລາຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານ.

ພວກເຮົາຢູ່ຄຽງຂ້າງທ່ານທຸກເວລາເມື່ອທ່ານມີບັນຫາ, ແລະແກ້ໄຂມັນພາຍໃນ 10 ຊົ່ວໂມງ.

ແຜນວາດລະອຽດ

ຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກອນຄາໄບ (1)
ຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກອນຄາໄບ (2)

  • ກ່ອນໜ້ານີ້:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • ຂຽນຂໍ້ຄວາມຂອງທ່ານຢູ່ນີ້ ແລະ ສົ່ງມາໃຫ້ພວກເຮົາ