ເວທີຮັບລົມ SiC ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
ແຜນວາດລະອຽດ
ພາບລວມ
ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ອຸປະກອນປະມວນຜົນ ແລະ ກວດກາຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີປະສິດທິພາບທີ່ສູງຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຊ່ຽວຊານຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງລະດັບນາໂນແມັດ, ພວກເຮົາໄດ້ພັດທະນາເວທີຮັບແຮງດັນອາກາດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແບບຮາບພຽງ H-type dual-axis.
ວິສະວະກຳດ້ວຍໂຄງສ້າງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ທີ່ໄດ້ຮັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບດ້ວຍອົງປະກອບຈຳກັດ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີການຮັບລົມທີ່ໄດ້ຮັບການຊົດເຊີຍ, ເວທີດັ່ງກ່າວໃຫ້ຄວາມແມ່ນຍຳ, ຄວາມແຂງແກ່ນ ແລະ ການຕອບສະໜອງແບບໄດນາມິກທີ່ໂດດເດັ່ນ. ມັນເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບ:
-
ການປຸງແຕ່ງ ແລະ ການກວດກາຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີ
ການຜະລິດຈຸນລະພາກ/ນາໂນ ແລະ ການວັດແທກ
ການຕັດ ແລະ ການຂັດເງົາຂະໜາດນາໂນແມັດ
ການສະແກນຄວາມໄວສູງແບບແມ່ນຍໍາ
ຄຸນສົມບັດຫຼັກ
-
ເສັ້ນທາງນຳທາງທີ່ມີອາກາດ SiCເພື່ອຄວາມແຂງແກ່ນ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳສູງສຸດ
-
ການເຄື່ອນໄຫວສູງຄວາມໄວສູງສຸດ 1 ແມັດ/ວິນາທີ, ຄວາມເລັ່ງສູງສຸດ 4 ກຣາມ, ການຕົກຕະກອນຢ່າງໄວວາ
-
ແກນ Y gantry ແບບຂັບເຄື່ອນຄູ່ຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງ
-
ຕົວເລືອກຕົວເຂົ້າລະຫັດ: ຕາຂ່າຍໄຟຟ້າແບບ optical ຫຼື laser interferometer
-
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງ: ±0.15 ໄມໂຄຣມ;ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້: ±75 ນາໂນແມັດ
-
ເສັ້ນທາງສາຍເຄເບີ້ນທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອການອອກແບບທີ່ສະອາດ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ
-
ການຕັ້ງຄ່າທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ສຳລັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງແອັບພລິເຄຊັນ
ການອອກແບບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ສະຖາປັດຕະຍະກຳຂັບເຄື່ອນໂດຍກົງແບບບໍ່ສຳຜັດ
-
ກອບເຊລາມິກ SiC: ~5× ຄວາມແຂງຂອງໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມ ແລະ ~5× ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳກວ່າ, ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນຄວາມໄວສູງ ແລະ ຄວາມທົນທານທາງຄວາມຮ້ອນ.
-
ເບຣກອາກາດທີ່ໄດ້ຮັບການຊົດເຊີຍການອອກແບບທີ່ເປັນເອກະລັກຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມແຂງແກ່ນ, ຄວາມສາມາດໃນການຮັບນ້ຳໜັກ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຄື່ອນໄຫວ.
-
ປະສິດທິພາບແບບໄດນາມິກຮອງຮັບຄວາມໄວ 1 m/s ແລະ ຄວາມເລັ່ງ 4 g, ເໝາະສຳລັບຂະບວນການທີ່ມີປະລິມານສູງ.
-
ການເຊື່ອມໂຍງທີ່ລຽບງ່າຍເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບແຍກການສັ່ນສະເທືອນ, ຂັ້ນຕອນໝູນວຽນ, ໂມດູນອຽງ, ແລະ ແພລດຟອມການຈັດການແຜ່ນເວເຟີ.
-
ການຈັດການສາຍໄຟລັດສະໝີງໍທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນເພື່ອອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ.
-
ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ທີ່ບໍ່ມີແກນການເຄື່ອນໄຫວທີ່ລຽບງ່າຍໂດຍບໍ່ມີແຮງສັ່ນສະເທືອນ.
-
ລະບົບຂັບເຄື່ອນຫຼາຍມໍເຕີຕຳແໜ່ງມໍເຕີໃນລະນາບຮັບນ້ຳໜັກຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມຊື່, ຄວາມຮາບພຽງ, ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງມຸມ.
-
ການແຍກຄວາມຮ້ອນມໍເຕີຖືກແຍກອອກຈາກໂຄງສ້າງເວທີ; ມີການລະບາຍຄວາມຮ້ອນດ້ວຍອາກາດ ຫຼື ນ້ຳເປັນທາງເລືອກສຳລັບຮອບວຽນການເຮັດວຽກສູງ.
ລາຍລະອຽດສະເພາະ
| ຮຸ່ນ | 400-400 | 500-500 | 600-600 |
|---|---|---|---|
| ຂວານ | X (ສະແກນ) / Y (ຂັ້ນຕອນ) | X (ສະແກນ) / Y (ຂັ້ນຕອນ) | X (ສະແກນ) / Y (ຂັ້ນຕອນ) |
| ການເດີນທາງ (ມມ) | 400 / 400 | 500 / 500 | 600 / 600 |
| ຄວາມແມ່ນຍຳ (ໄມໂຄຣມ) | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
| ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ (nm) | ±75 | ±100 | ±100 |
| ຄວາມລະອຽດ (ນາໂນແມັດ) | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| ຄວາມໄວສູງສຸດ (ມ/ວິນາທີ) | 1 | 1 | 1 |
| ຄວາມເລັ່ງ (g) | 4 | 4 | 4 |
| ຄວາມຊື່ (ໄມໂຄຣມ) | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 |
| ຄວາມໝັ້ນຄົງ (nm) | ±5 | ±5 | ±5 |
| ນ້ຳໜັກສູງສຸດ (ກິໂລກຣາມ) | 20 | 20 | 20 |
| ຄວາມສູງ/ມ້ວນ/ຫັນ (arc-sec) | ±1 | ±1 | ±1 |
ເງື່ອນໄຂການທົດສອບ:
-
ການສະໜອງອາກາດ: ສະອາດ, ແຫ້ງ; ຈຸດນ້ຳຄ້າງ ≤ 0°F; ການກັ່ນຕອງອະນຸພາກ ≤ 0.25 μm; ຫຼື ໄນໂຕຣເຈນ 99.99%.
-
ວັດແທກຄວາມແມ່ນຍຳ 25 ມມ ເໜືອຈຸດກາງຂອງເວທີທີ່ອຸນຫະພູມ 20±1 °C, 40–60% RH.
ແອັບພລິເຄຊັນ
-
ການພິມດ້ວຍວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳ, ການກວດກາ, ແລະ ການຈັດການແຜ່ນເວເຟີ
-
ການຜະລິດຈຸນລະພາກ/ນາໂນ ແລະ ການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາ
-
ການຜະລິດ ແລະ ການແຊກແຊງທາງດ້ານ optical ລະດັບສູງ
-
ອາວະກາດ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດຂັ້ນສູງ
ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆ – ເວທີຮັບນ້ຳໜັກອາກາດຊິລິກອນຄາໄບດ໌
1. ເວທີທີ່ມີອາກາດແມ່ນຫຍັງ?
ເວທີທີ່ມີອາກາດໃຊ້ຟິມບາງໆຂອງອາກາດທີ່ມີຄວາມກົດດັນລະຫວ່າງເວທີ ແລະ ທາງນຳທາງເພື່ອໃຫ້ການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ມີແຮງສຽດທານ, ບໍ່ມີການສວມໃສ່, ແລະ ລຽບງ່າຍເປັນພິເສດບໍ່ເຫມືອນກັບແບຣິ່ງກົນຈັກທົ່ວໄປ, ມັນຊ່ວຍລົບລ້າງການເລື່ອນ, ໃຫ້ຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບນາໂນແມັດ, ແລະ ຮອງຮັບຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ.
2. ເປັນຫຍັງຈຶ່ງໃຊ້ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ສຳລັບໂຄງສ້າງເວທີ?
-
ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງ: ~5× ຂອງໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມ, ຫຼຸດຜ່ອນການຜິດຮູບໃນລະຫວ່າງການເຄື່ອນໄຫວແບບໄດນາມິກ.
-
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳຕ່ຳກວ່າອາລູມີນຽມ ~5×, ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ.
-
ນ້ຳໜັກເບົາ: ມີຄວາມໜາແໜ້ນຕ່ຳກວ່າເມື່ອທຽບກັບເຫຼັກກ້າ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດດຳເນີນງານໄດ້ດ້ວຍຄວາມໄວສູງ ແລະ ຄວາມເລັ່ງສູງ.
-
ສະຖຽນລະພາບດີເລີດ: ການດູດຊຶມ ແລະ ຄວາມແຂງແກ່ນທີ່ດີກວ່າ ສຳລັບຕຳແໜ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
3. ເວທີຕ້ອງການການຫລໍ່ລື່ນ ຫຼື ການບຳລຸງຮັກສາບໍ?
ບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງມີການຫຼໍ່ລື່ນແບບດັ້ງເດີມ ເນື່ອງຈາກມີບໍ່ມີການຕິດຕໍ່ທາງກົນຈັກການບຳລຸງຮັກສາທີ່ແນະນຳລວມມີ:
-
ການສະໜອງອາກາດອັດ ຫຼື ໄນໂຕຣເຈນທີ່ສະອາດ, ແຫ້ງ
-
ການກວດກາເປັນໄລຍະຂອງຕົວກອງ ແລະ ເຄື່ອງອົບແຫ້ງ
-
ສາຍເຄເບີ້ນຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ
4. ຂໍ້ກຳນົດການສະໜອງອາກາດແມ່ນຫຍັງ?
-
ຈຸດນ້ຳຄ້າງ: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
ການກັ່ນຕອງອະນຸພາກ: ≤ 0.25 μm
-
ອາກາດສະອາດ, ແຫ້ງ ຫຼື ໄນໂຕຣເຈນບໍລິສຸດ 99.99%
-
ຄວາມກົດດັນທີ່ໝັ້ນຄົງດ້ວຍຄວາມຜັນຜວນໜ້ອຍທີ່ສຸດ
ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ
XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍແກ້ວແສງພິເສດ ແລະ ວັດສະດຸຜລຶກໃໝ່ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແສງ, ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ ແລະ ກອງທັບ. ພວກເຮົາສະເໜີອຸປະກອນແສງ Sapphire, ຝາປິດເລນໂທລະສັບມືຖື, ເຊລາມິກ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ ແຜ່ນແພຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານ ແລະ ອຸປະກອນທີ່ທັນສະໄໝ, ພວກເຮົາມີຄວາມເກັ່ງກ້າໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ໂດຍມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic ຊັ້ນນຳ.










