ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ SiC ສຳລັບລະບົບການຈັດການທີ່ສຳຄັນ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ເປັນອົງປະກອບທີ່ທັນສະໄໝທີ່ພັດທະນາຂຶ້ນສຳລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດອຸດສາຫະກຳຂັ້ນສູງ, ການປະມວນຜົນແບບເຄິ່ງຕົວນຳ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ. ສະຖາປັດຕະຍະກຳແບບແຍກສ່ວນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ ແລະ ໜ້າດິນເຊລາມິກທີ່ຮາບພຽງທີ່ສຸດເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບການຈັດການວັດສະດຸທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ລວມທັງແຜ່ນຊິລິກອນ, ແຜງແກ້ວ, ແລະອຸປະກອນທາງແສງ. ອອກແບບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຜະລິດຈາກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດ,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ສະເໜີຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ແຜນວາດລະອຽດ

ແນະນຳແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌

ບໍ່ເຫມືອນກັບແຂນໂລຫະ ຫຼື ແຂນພາດສະຕິກທຳມະດາ,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງໃນສະພາບຄວາມຮ້ອນ, ສານເຄມີ ແລະ ສູນຍາກາດທີ່ຮຸນແຮງ. ບໍ່ວ່າຈະເຮັດວຽກຢູ່ໃນຫ້ອງສະອາດ Class 1 ຫຼື ພາຍໃນຫ້ອງ plasma ທີ່ມີສູນຍາກາດສູງ, ສ່ວນປະກອບນີ້ຮັບປະກັນການຂົນສົ່ງຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີຄ່າທີ່ປອດໄພ, ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ບໍ່ມີສານຕົກຄ້າງ.

ດ້ວຍໂຄງສ້າງທີ່ຖືກອອກແບບມາສຳລັບແຂນຫຸ່ນຍົນ, ຕົວຈັດການແຜ່ນເວເຟີ, ແລະ ເຄື່ອງມືໂອນຍ້າຍອັດຕະໂນມັດ,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ເປັນການຍົກລະດັບທີ່ສະຫຼາດສຳລັບລະບົບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃດໆ.

ຂະບວນການຜະລິດແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌

ການສ້າງຜົນງານທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການເຮັດວຽກດ້ານວິສະວະກຳເຊລາມິກທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດ ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຄືນ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ອັດຕາຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ຕໍ່າຫຼາຍ.

1. ວິສະວະກຳວັດສະດຸ

ມີພຽງແຕ່ຜົງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດເທົ່ານັ້ນທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌, ຮັບປະກັນການປົນເປື້ອນຂອງໄອອອນຕໍ່າ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງຂອງກ້ອນສູງ. ຜົງດັ່ງກ່າວຖືກປະສົມຢ່າງລະອຽດກັບສານເຕີມແຕ່ງ ແລະ ສານຍຶດຕິດເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ດີທີ່ສຸດ.

2. ການສ້າງໂຄງສ້າງພື້ນຖານ

ຮູບຊົງເລຂາຄະນິດພື້ນຖານຂອງແຂນ/ມືຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍການໃຊ້ການກົດດັນແບບເຢັນ ຫຼື ການສີດຂຶ້ນຮູບ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງສີຂຽວສູງ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມກົດດັນຢ່າງເປັນເອກະພາບ. ການຕັ້ງຄ່າຮູບຊົງຕົວ U ແມ່ນດີທີ່ສຸດສຳລັບອັດຕາສ່ວນຄວາມແຂງກະດ້າງຕໍ່ນ້ຳໜັກ ແລະ ການຕອບສະໜອງແບບໄດນາມິກ.

3. ຂະບວນການເຜົາໄໝ້

ຮ່າງກາຍສີຂຽວຂອງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຖືກເຜົາໃນເຕົາແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາອຸນຫະພູມສູງທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2000°C. ຂັ້ນຕອນນີ້ຮັບປະກັນຄວາມໜາແໜ້ນໃກ້ຄຽງກັບທິດສະດີ, ຜະລິດອົງປະກອບທີ່ຕ້ານທານກັບການແຕກ, ການບິດເບືອນ, ແລະ ການບ່ຽງເບນຂອງມິຕິພາຍໃຕ້ພາລະຄວາມຮ້ອນໃນໂລກຕົວຈິງ.

4. ການຂັດ ແລະ ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ເຄື່ອງມືເພັດ CNC ແບບພິເສດຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອສ້າງຂະໜາດສຸດທ້າຍຂອງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຄວາມທົນທານທີ່ແໜ້ນໜາ (±0.01 ມມ) ແລະ ການເຄືອບພື້ນຜິວລະດັບກະຈົກຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປ່ອຍອະນຸພາກ ແລະ ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ.

5. ການປັບສະພາບພື້ນຜິວ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດ

ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວສຸດທ້າຍປະກອບມີການຂັດເຄມີ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍ ultrasonic ເພື່ອກະກຽມແຂນ/ມືສຳລັບການເຊື່ອມໂຍງໂດຍກົງໃນລະບົບທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ. ການເຄືອບທາງເລືອກ (CVD-SiC, ຊັ້ນຕ້ານການສະທ້ອນ) ກໍມີໃຫ້ບໍລິການເຊັ່ນກັນ.

ຂະບວນການທີ່ລະອຽດອ່ອນນີ້ຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດ, ລວມທັງຂໍ້ກຳນົດຫ້ອງສະອາດແບບ SEMI ແລະ ISO.

ພາລາມິເຕີຂອງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌

ລາຍການ	ເງື່ອນໄຂການທົດສອບ	ຂໍ້ມູນ	ໜ່ວຍ
ເນື້ອໃນຂອງຊິລິກອນຄາໄບດ໌	/	>99.5	%
ຂະໜາດເມັດພືດໂດຍສະເລ່ຍ	/	4-10	ໄມຄຣອນ
ຄວາມໜາແໜ້ນ	/	>3.14	ກຣາມ/ຊມ3
ຄວາມพรຸນທີ່ປາກົດຂື້ນ	/	<0.5	% ຂອງປະລິມານ
ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ	HV0.5	2800	ກິໂລກຣາມ/ມມ2
ໂມດູນຂອງການແຕກ (3 ຄະແນນ)	ຂະໜາດແຖບທົດສອບ: 3 x 4 x 40 ມມ	450	MPa
ຄວາມແຮງຂອງການບີບອັດ	20°C	3900	MPa
ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ	20°C	420	ເກຣດສະເລ່ຍ
ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ	/	3.5	MPa/m^1/2
ການນຳຄວາມຮ້ອນ	20°C	160	W/(mK)
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ	20°C	10⁶-10⁸	Ω ຊມ
ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
ອຸນຫະພູມສູງສຸດຂອງການນຳໃຊ້	ບັນຍາກາດອົກໄຊດ໌	1600	°C
ອຸນຫະພູມສູງສຸດຂອງການນຳໃຊ້	ບັນຍາກາດທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ	1950	°C

ການນຳໃຊ້ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມີຄວາມສ່ຽງສູງ, ແລະ ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປົນເປື້ອນ. ມັນຊ່ວຍໃຫ້ການຈັດການ, ການໂອນຍ້າຍ, ຫຼື ການຮອງຮັບອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືໂດຍບໍ່ມີການປະນີປະນອມໃດໆ.

➤ ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ

ໃຊ້ເປັນສ້ອມຫຸ່ນຍົນໃນການໂອນເວເຟີດ້ານໜ້າ ແລະ ສະຖານີ FOUP.
ປະສົມປະສານເຂົ້າໃນຫ້ອງສູນຍາກາດສຳລັບການແກະສະຫຼັກພລາສມາ ແລະ ຂະບວນການ PVD/CVD.
ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນແຂນຂົນສົ່ງໃນເຄື່ອງມືວັດແທກ ແລະ ເຄື່ອງມືຈັດລຽນແຜ່ນເວເຟີ.

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ກຳຈັດຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປ່ອຍໄຟຟ້າສະຖິດ (ESD), ຮອງຮັບຄວາມແມ່ນຍຳຂອງມິຕິ, ແລະ ຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງ plasma.

➤ ໂຟໂຕນິກ ແລະ ທັດສະນະສາດ

ຮອງຮັບເລນທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ຜລຶກເລເຊີ ແລະ ເຊັນເຊີໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ ຫຼື ການກວດກາ.
ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງຂອງມັນຊ່ວຍປ້ອງກັນການສັ່ນສະເທືອນ, ໃນຂະນະທີ່ຕົວເຄື່ອງເຊລາມິກຕ້ານທານກັບການປົນເປື້ອນຂອງພື້ນຜິວທາງແສງ.

➤ ການຜະລິດຈໍສະແດງຜົນ ແລະ ແຜງ

ຈັດການກັບແກ້ວບາງໆ, ໂມດູນ OLED, ແລະ ຊັ້ນຮອງໜ້າຈໍ LCD ໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງ ຫຼື ການກວດກາ.
ຮາບພຽງ ແລະ ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ປ້ອງກັນການຂູດ ຫຼື ການກັດດ້ວຍສານເຄມີ.

➤ ເຄື່ອງມືອາວະກາດ ແລະ ວິທະຍາສາດ

ນຳໃຊ້ໃນການປະກອບແສງດາວທຽມ, ຫຸ່ນຍົນສູນຍາກາດ, ແລະ ການຕັ້ງຄ່າສາຍແສງຊິນໂຄຣຕຣອນ.
ປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງໃນຫ້ອງສະອາດລະດັບອະວະກາດ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີລັງສີຫຼາຍ.

ໃນແຕ່ລະຂົງເຂດ,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງລະບົບ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຊິ້ນສ່ວນ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ຢຸດເຮັດວຽກ.

ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ - ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆກ່ຽວກັບແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌

ຄຳຖາມທີ 1: ສິ່ງໃດເຮັດໃຫ້ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ດີກ່ວາທາງເລືອກໂລຫະ?

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ມີຄວາມແຂງທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມໜາແໜ້ນຕ່ຳ, ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ດີກວ່າ ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນໜ້ອຍກວ່າໂລຫະຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ມັນຍັງເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງທີ່ສະອາດ ແລະ ບໍ່ມີການກັດກ່ອນ ຫຼື ການສ້າງອະນຸພາກ.

ຄຳຖາມທີ 2: ຂ້ອຍສາມາດຮ້ອງຂໍຂະໜາດທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຂອງຂ້ອຍໄດ້ບໍ?

ແມ່ນແລ້ວ. ພວກເຮົາສະເໜີການປັບແຕ່ງຢ່າງຄົບຖ້ວນ, ລວມທັງຄວາມກວ້າງຂອງສ້ອມ, ຄວາມໜາ, ຮູຕິດຕັ້ງ, ຮູຕັດ, ແລະ ການຮັກສາພື້ນຜິວ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 6", 8", ຫຼື 12", ຂອງທ່ານແຂນ/ມືສາມາດປັບແຕ່ງໃຫ້ພໍດີໄດ້.

ຄຳຖາມທີ 3: ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ໃຊ້ໄດ້ດົນປານໃດພາຍໃຕ້ພລາສມາ ຫຼື ສູນຍາກາດ?

ຂໍຂອບໃຈກັບວັດສະດຸ SiC ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ລັກສະນະທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ,ແຂນ/ມືຍັງຄົງເຮັດວຽກໄດ້ເຖິງແມ່ນວ່າຫຼັງຈາກຫຼາຍພັນຮອບວຽນຂະບວນການ. ມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນການສວມໃສ່ໜ້ອຍທີ່ສຸດພາຍໃຕ້ພາລະຄວາມຮ້ອນຂອງ plasma ຫຼື ຄວາມຮ້ອນສູນຍາກາດ.

ຄຳຖາມທີ 4: ຜະລິດຕະພັນນີ້ເໝາະສົມກັບຫ້ອງສະອາດ ISO Class 1 ບໍ?

ຢ່າງແທ້ຈິງ.ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຜະລິດ ແລະ ຫຸ້ມຫໍ່ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ຫ້ອງສະອາດທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງ, ໂດຍມີລະດັບອະນຸພາກຕໍ່າກວ່າມາດຕະຖານ ISO Class 1 ຫຼາຍ.

ຄຳຖາມທີ 5: ອຸນຫະພູມສູງສຸດສຳລັບການໃຊ້ງານຂອງແຂນ/ມືຂອງສ້ອມນີ້ແມ່ນເທົ່າໃດ?

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ສາມາດເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໄດ້ເຖິງ 1500°C, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ໂດຍກົງໃນຫ້ອງຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ລະບົບສູນຍາກາດຄວາມຮ້ອນ.

ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆເຫຼົ່ານີ້ສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມກັງວົນດ້ານເຕັກນິກທີ່ພົບເລື້ອຍທີ່ສຸດຈາກວິສະວະກອນ, ຜູ້ຈັດການຫ້ອງທົດລອງ, ແລະ ຜູ້ລວມລະບົບໂດຍໃຊ້ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌.

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍແກ້ວແສງພິເສດ ແລະ ວັດສະດຸຜລຶກໃໝ່ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແສງ, ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ ແລະ ກອງທັບ. ພວກເຮົາສະເໜີອຸປະກອນແສງ Sapphire, ຝາປິດເລນໂທລະສັບມືຖື, ເຊລາມິກ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ ແຜ່ນແພຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານ ແລະ ອຸປະກອນທີ່ທັນສະໄໝ, ພວກເຮົາມີຄວາມເກັ່ງກ້າໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ໂດຍມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic ຊັ້ນນຳ.