ຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ ເຄື່ອງດູດທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ ການປຸງແຕ່ງແບບກຳນົດເອງດ້ວຍການເຜົາທີ່ອຸນຫະພູມສູງ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ ແລະ ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ຄົງທີ່ ແລະ ຮັບນ້ຳໜັກໄດ້ດີ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ; ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນທໍ່ເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ທໍ່ເຕົາອົບແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ສະຖານະການອື່ນໆ ເພື່ອທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ ແລະ ຮັກສາການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ. ທັງສອງແມ່ນອີງໃສ່ຊິລິກອນຄາໄບເປັນວັດສະດຸຫຼັກ, ເຊິ່ງໄດ້ກາຍເປັນອົງປະກອບສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ເຄມີທີ່ດີເລີດ.


ຄຸນສົມບັດ

ຄຸນສົມບັດຫຼັກ:

1. ຖາດເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ
- ຄວາມແຂງສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ຄວາມແຂງໃກ້ຄຽງກັບເພັດ, ແລະ ສາມາດທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ກົນຈັກໃນການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີໄດ້ເປັນເວລາດົນນານ.
- ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: ການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄວ ແລະ ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິ, ຫຼີກລ່ຽງການຜິດຮູບທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.
- ຄວາມຮາບພຽງສູງ ແລະ ຜິວໜ້າຜິວທີ່ລະອຽດ: ຄວາມຮາບພຽງຂອງຜິວໜ້າແມ່ນສູງເຖິງລະດັບໄມຄຣອນ, ຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ຢ່າງເຕັມທີ່ລະຫວ່າງເວເຟີ ແລະ ແຜ່ນດິດ, ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍ.
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ: ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ເໝາະສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດແບບປຽກ ແລະ ຂະບວນການແກະສະຫຼັກໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.
2. ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ
- ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: ມັນສາມາດເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1600°C ເປັນເວລາດົນນານ, ເໝາະສຳລັບຂະບວນການ semiconductor ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ: ທົນທານຕໍ່ກົດ, ດ່າງ ແລະ ຕົວລະລາຍເຄມີຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ເໝາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ.
- ຄວາມແຂງສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງອະນຸພາກ ແລະ ການສວມໃສ່ກົນຈັກ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ.
- ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: ການນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວ ແລະ ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິ, ຫຼຸດຜ່ອນການຜິດຮູບ ຫຼື ການແຕກທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.

ພາລາມິເຕີຜະລິດຕະພັນ:

ພາລາມິເຕີຖາດເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ:

(ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸ) (ໜ່ວຍ) (ສສກ)
(ເນື້ອໃນ SiC)   (ນ້ຳໜັກ)% >99
(ຂະໜາດເມັດໂດຍສະເລ່ຍ)   ໄມຄຣອນ 4-10
(ຄວາມໜາແໜ້ນ)   ກິໂລກຣາມ/ດມ3 >3.14
(ຄວາມพรຸນທີ່ເຫັນໄດ້ຊັດເຈນ)   ສຽງ 1% <0.5
(ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ) HV 0.5 ເກຣດສະເລ່ຍ 28
*()
ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ* (ສາມຈຸດ)
20ºC MPa 450
(ຄວາມແຮງບີບອັດ) 20ºC MPa 3900
(ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ) 20ºC ເກຣດສະເລ່ຍ 420
(ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ)   MPa/ມ'% 3.5
(ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ) 20°C W/(ມ*K) 160
(ຄວາມຕ້ານທານ) 20°C ໂອມ.ຊມ 106-108

(ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ)
a(ອຸນຫະພູມ**...80ºC) ອະນຸບານ-1*10-6 4.3

(ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການສູງສຸດ)
  ອົງສາເຊນຊຽດ 1700

 

ພາລາມິເຕີທໍ່ເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບ:

ລາຍການ ດັດຊະນີ
α-SIC 99% ນາທີ
ຄວາມพรຸນທີ່ປາກົດຂື້ນ ສູງສຸດ 16%
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ 2.7g/cm3 ນາທີ
ຄວາມແຮງບິດງໍທີ່ອຸນຫະພູມສູງ 100 Mpa ນາທີ
ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ ຊັ້ນອະນຸບານ 1 4.7x10 -6
ສຳປະສິດການນຳຄວາມຮ້ອນ (1400ºC) 24 W/mk
ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກສູງສຸດ 1650ºC

 

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ:

1. ແຜ່ນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ
- ການຕັດ ແລະ ຂັດແຜ່ນເວເຟີ: ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນແພລດຟອມຮັບນ້ຳໜັກເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການຕັດ ແລະ ຂັດ.
- ຂະບວນການພິມດ້ວຍຫີນ: ແຜ່ນແຜ່ນຖືກຕິດຢູ່ໃນເຄື່ອງພິມດ້ວຍຫີນເພື່ອຮັບປະກັນການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນລະຫວ່າງການເປີດຮັບແສງ.
- ການຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີ (CMP): ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນແພລດຟອມຮອງຮັບສຳລັບແຜ່ນຂັດເງົາ, ໃຫ້ແຮງດັນ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີ.
2. ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ
- ທໍ່ເຕົາອົບອຸນຫະພູມສູງ: ໃຊ້ສຳລັບອຸປະກອນອຸນຫະພູມສູງ ເຊັ່ນ: ເຕົາແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ເຕົາຜຸພັງ ເພື່ອບັນຈຸແຜ່ນເວເຟີ ສຳລັບການປິ່ນປົວຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
- ຂະບວນການ CVD/PVD: ເປັນທໍ່ຮັບນ້ຳໜັກໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ.
- ອຸປະກອນເສີມອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ: ສຳລັບເຄື່ອງແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ, ທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສ, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນ.
XKH ສະເໜີບໍລິການທີ່ຫຼາກຫຼາຍແບບກຳນົດເອງສຳລັບຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, ຈອກດູດ ແລະ ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ. ຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ ແລະ ຈອກດູດ, XKH ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າທີ່ມີຂະໜາດ, ຮູບຮ່າງ ແລະ ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະ ຮອງຮັບການເຄືອບພິເສດ, ເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ; ສຳລັບທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, XKH ສາມາດປັບແຕ່ງເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍນອກ, ຄວາມຍາວ ແລະ ໂຄງສ້າງທີ່ສັບສົນຫຼາກຫຼາຍ (ເຊັ່ນ: ທໍ່ຮູບຊົງ ຫຼື ທໍ່ຮູພຸນ), ແລະ ສະໜອງການຂັດເງົາ, ການເຄືອບຕ້ານການຜຸພັງ ແລະ ຂະບວນການປິ່ນປົວພື້ນຜິວອື່ນໆ. XKH ຮັບປະກັນວ່າລູກຄ້າສາມາດໃຊ້ປະໂຫຍດຈາກຜົນປະໂຫຍດດ້ານປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຢ່າງເຕັມທີ່ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຮຽກຮ້ອງຂອງຂະແໜງການຜະລິດລະດັບສູງເຊັ່ນ: ເຄິ່ງຕົວນຳ, ໄຟ LED ແລະ ແສງອາທິດ.

ແຜນວາດລະອຽດ

ຖາດເຊລາມິກ SIC ແລະທໍ່ 6
ຖາດເຊລາມິກ SIC ແລະທໍ່ 7
ຖາດເຊລາມິກ SIC ແລະທໍ່ 8
ຖາດເຊລາມິກ SIC ແລະທໍ່ 9

  • ກ່ອນໜ້ານີ້:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • ຂຽນຂໍ້ຄວາມຂອງທ່ານຢູ່ນີ້ ແລະ ສົ່ງມາໃຫ້ພວກເຮົາ