ຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ ເຄື່ອງດູດທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ ການປຸງແຕ່ງແບບກຳນົດເອງດ້ວຍການເຜົາທີ່ອຸນຫະພູມສູງ
ຄຸນສົມບັດຫຼັກ:
1. ຖາດເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ
- ຄວາມແຂງສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ຄວາມແຂງໃກ້ຄຽງກັບເພັດ, ແລະ ສາມາດທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ກົນຈັກໃນການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີໄດ້ເປັນເວລາດົນນານ.
- ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: ການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄວ ແລະ ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິ, ຫຼີກລ່ຽງການຜິດຮູບທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.
- ຄວາມຮາບພຽງສູງ ແລະ ຜິວໜ້າຜິວທີ່ລະອຽດ: ຄວາມຮາບພຽງຂອງຜິວໜ້າແມ່ນສູງເຖິງລະດັບໄມຄຣອນ, ຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ຢ່າງເຕັມທີ່ລະຫວ່າງເວເຟີ ແລະ ແຜ່ນດິດ, ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍ.
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ: ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ເໝາະສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດແບບປຽກ ແລະ ຂະບວນການແກະສະຫຼັກໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.
2. ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ
- ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: ມັນສາມາດເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1600°C ເປັນເວລາດົນນານ, ເໝາະສຳລັບຂະບວນການ semiconductor ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ: ທົນທານຕໍ່ກົດ, ດ່າງ ແລະ ຕົວລະລາຍເຄມີຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ເໝາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ.
- ຄວາມແຂງສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງອະນຸພາກ ແລະ ການສວມໃສ່ກົນຈັກ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ.
- ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ: ການນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວ ແລະ ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິ, ຫຼຸດຜ່ອນການຜິດຮູບ ຫຼື ການແຕກທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.
ພາລາມິເຕີຜະລິດຕະພັນ:
ພາລາມິເຕີຖາດເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ:
| (ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸ) | (ໜ່ວຍ) | (ສສກ) | |
| (ເນື້ອໃນ SiC) | (ນ້ຳໜັກ)% | >99 | |
| (ຂະໜາດເມັດໂດຍສະເລ່ຍ) | ໄມຄຣອນ | 4-10 | |
| (ຄວາມໜາແໜ້ນ) | ກິໂລກຣາມ/ດມ3 | >3.14 | |
| (ຄວາມพรຸນທີ່ເຫັນໄດ້ຊັດເຈນ) | ສຽງ 1% | <0.5 | |
| (ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ) | HV 0.5 | ເກຣດສະເລ່ຍ | 28 |
| *() ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ* (ສາມຈຸດ) | 20ºC | MPa | 450 |
| (ຄວາມແຮງບີບອັດ) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ) | 20ºC | ເກຣດສະເລ່ຍ | 420 |
| (ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ) | MPa/ມ'% | 3.5 | |
| (ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ) | 20°C | W/(ມ*K) | 160 |
| (ຄວາມຕ້ານທານ) | 20°C | ໂອມ.ຊມ | 106-108 |
(ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ) | a(ອຸນຫະພູມ**...80ºC) | ອະນຸບານ-1*10-6 | 4.3 |
(ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການສູງສຸດ) | ອົງສາເຊນຊຽດ | 1700 | |
ພາລາມິເຕີທໍ່ເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບ:
| ລາຍການ | ດັດຊະນີ |
| α-SIC | 99% ນາທີ |
| ຄວາມพรຸນທີ່ປາກົດຂື້ນ | ສູງສຸດ 16% |
| ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ | 2.7g/cm3 ນາທີ |
| ຄວາມແຮງບິດງໍທີ່ອຸນຫະພູມສູງ | 100 Mpa ນາທີ |
| ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ | ຊັ້ນອະນຸບານ 1 4.7x10 -6 |
| ສຳປະສິດການນຳຄວາມຮ້ອນ (1400ºC) | 24 W/mk |
| ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກສູງສຸດ | 1650ºC |
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ:
1. ແຜ່ນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ
- ການຕັດ ແລະ ຂັດແຜ່ນເວເຟີ: ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນແພລດຟອມຮັບນ້ຳໜັກເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການຕັດ ແລະ ຂັດ.
- ຂະບວນການພິມດ້ວຍຫີນ: ແຜ່ນແຜ່ນຖືກຕິດຢູ່ໃນເຄື່ອງພິມດ້ວຍຫີນເພື່ອຮັບປະກັນການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນລະຫວ່າງການເປີດຮັບແສງ.
- ການຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີ (CMP): ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນແພລດຟອມຮອງຮັບສຳລັບແຜ່ນຂັດເງົາ, ໃຫ້ແຮງດັນ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີ.
2. ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ
- ທໍ່ເຕົາອົບອຸນຫະພູມສູງ: ໃຊ້ສຳລັບອຸປະກອນອຸນຫະພູມສູງ ເຊັ່ນ: ເຕົາແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ເຕົາຜຸພັງ ເພື່ອບັນຈຸແຜ່ນເວເຟີ ສຳລັບການປິ່ນປົວຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
- ຂະບວນການ CVD/PVD: ເປັນທໍ່ຮັບນ້ຳໜັກໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ.
- ອຸປະກອນເສີມອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ: ສຳລັບເຄື່ອງແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ, ທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສ, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນ.
XKH ສະເໜີບໍລິການທີ່ຫຼາກຫຼາຍແບບກຳນົດເອງສຳລັບຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, ຈອກດູດ ແລະ ທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ. ຖາດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ ແລະ ຈອກດູດ, XKH ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າທີ່ມີຂະໜາດ, ຮູບຮ່າງ ແລະ ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະ ຮອງຮັບການເຄືອບພິເສດ, ເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ; ສຳລັບທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, XKH ສາມາດປັບແຕ່ງເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍນອກ, ຄວາມຍາວ ແລະ ໂຄງສ້າງທີ່ສັບສົນຫຼາກຫຼາຍ (ເຊັ່ນ: ທໍ່ຮູບຊົງ ຫຼື ທໍ່ຮູພຸນ), ແລະ ສະໜອງການຂັດເງົາ, ການເຄືອບຕ້ານການຜຸພັງ ແລະ ຂະບວນການປິ່ນປົວພື້ນຜິວອື່ນໆ. XKH ຮັບປະກັນວ່າລູກຄ້າສາມາດໃຊ້ປະໂຫຍດຈາກຜົນປະໂຫຍດດ້ານປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຢ່າງເຕັມທີ່ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຮຽກຮ້ອງຂອງຂະແໜງການຜະລິດລະດັບສູງເຊັ່ນ: ເຄິ່ງຕົວນຳ, ໄຟ LED ແລະ ແສງອາທິດ.
ແຜນວາດລະອຽດ




