ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌

ຮູບພາບເດັ່ນຂອງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ເປັນອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງທີ່ອອກແບບມາສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ ເຊັ່ນ: ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ລະບົບການບິນອະວະກາດ, ແລະ ຫຸ່ນຍົນທີ່ກ້າວໜ້າ. ດ້ວຍບົດບາດສອງຢ່າງຂອງມັນຄື - ເປັນໂຄງສ້າງຮອງຮັບຮູບຊົງສ້ອມແລະ ໃນຖານະເປັນເຄື່ອງມືສົ່ງຜົນທີ່ຄ້າຍຄືມືຫຸ່ນຍົນ— ອົງປະກອບນີ້ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າໃນການຈັດການ, ການຮອງຮັບ ຫຼື ການໂອນຍ້າຍຊິ້ນສ່ວນທີ່ແຕກຫັກງ່າຍ ຫຼື ມີຄ່າ.

ຜະລິດໂດຍໃຊ້ເຕັກນິກການປຸງແຕ່ງເຊລາມິກທີ່ກ້າວໜ້າ, ແຂນ/ມືສ້ອມ SiC ໃຫ້ການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄວາມແຂງກະດ້າງທາງກົນຈັກ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການທົດແທນທີ່ເໝາະສົມສຳລັບແຂນໂລຫະ ຫຼື ໂພລີເມີທຳມະດາໃນລະບົບທີ່ຕ້ອງການປະສິດທິພາບໃນໄລຍະຍາວພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນ ແລະ ໃນສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ແຜນວາດລະອຽດ

ແນະນຳແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ເປັນອົງປະກອບການຈັດການຂັ້ນສູງທີ່ພັດທະນາຂຶ້ນສຳລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ ແລະ ທາງດ້ານແສງ. ອົງປະກອບນີ້ມີການອອກແບບຮູບຊົງຕົວ U ທີ່ໂດດເດັ່ນທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອການຈັດການແຜ່ນເວເຟີ, ຮັບປະກັນທັງຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງມິຕິພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. ຜະລິດຈາກເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ,ແຂນ/ມືມີຄວາມແຂງແກ່ນ, ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ.

ໃນຂະນະທີ່ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳພັດທະນາໄປສູ່ຮູບຮ່າງທີ່ລະອຽດກວ່າ ແລະ ຄວາມທົນທານທີ່ເຄັ່ງຄັດກວ່າ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບອົງປະກອບທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນຈຶ່ງກາຍເປັນສິ່ງສຳຄັນ.ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຕອບສະໜອງສິ່ງທ້າທາຍນີ້ໂດຍການສະເໜີການສ້າງອະນຸພາກຕ່ຳ, ໜ້າຜິວທີ່ລຽບນຽນເປັນພິເສດ, ແລະ ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງທີ່ແຂງແຮງ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການຂົນສົ່ງແຜ່ນເວເຟີ, ການວາງຕຳແໜ່ງພື້ນຖານ, ຫຼື ຫົວເຄື່ອງມືຫຸ່ນຍົນ, ອົງປະກອບນີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ.

ເຫດຜົນຫຼັກທີ່ຄວນເລືອກສິ່ງນີ້ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ລວມມີ:

ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນໜ້ອຍທີ່ສຸດເພື່ອຄວາມແມ່ນຍຳຂອງມິຕິ
ຄວາມແຂງສູງສຳລັບອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ອາຊິດ, ດ່າງ, ແລະອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ
ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດ ISO Class 1

ຫຼັກການຜະລິດແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຜະລິດຜ່ານຂະບວນການປຸງແຕ່ງເຊລາມິກທີ່ມີການຄວບຄຸມສູງ ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງມິຕິ.

1. ການກະກຽມຜົງ

ຂະບວນການເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍການຄັດເລືອກຜົງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ. ຜົງເຫຼົ່ານີ້ຖືກປະສົມກັບສານຍຶດຕິດ ແລະ ສານຊ່ວຍໃນການເຜົາເພື່ອສ້າງຄວາມແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນ. ສຳລັບສິ່ງນີ້ແຂນ/ມື, ຜົງ β-SiC ຫຼື α-SiC ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັບປະກັນທັງຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມທົນທານ.

2. ການສ້າງຮູບຮ່າງ ແລະ ການປັ້ນຮູບຮ່າງລ່ວງໜ້າ

ຂຶ້ນກັບຄວາມສັບສົນຂອງແຂນ/ມືການອອກແບບ, ຊິ້ນສ່ວນຈະຖືກປັ້ນໂດຍໃຊ້ການກົດແບບ isostatic, ການສີດແມ່ພິມ, ຫຼືການຫລໍ່ແບບລື່ນ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ ແລະໂຄງສ້າງຝາບາງ, ເຊິ່ງສຳຄັນຕໍ່ລັກສະນະນ້ຳໜັກເບົາຂອງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌.

3. ການເຜົາໄໝ້ອຸນຫະພູມສູງ

ການເຜົາໄໝ້ແມ່ນເຮັດຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2000°C ໃນບັນຍາກາດສູນຍາກາດ ຫຼື ອາກອນ. ຂັ້ນຕອນນີ້ຈະປ່ຽນວັດຖຸສີຂຽວໃຫ້ກາຍເປັນສ່ວນປະກອບເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນຢ່າງເຕັມທີ່. ການເຜົາໄໝ້ແຂນ/ມືບັນລຸຄວາມໜາແໜ້ນໃກ້ຄຽງກັບທິດສະດີ, ເຊິ່ງສະໜອງຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ.

4. ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ຫຼັງການເຜົາໄໝ້,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຜ່ານການຂັດເພັດ ແລະ ການເຄື່ອງຈັກ CNC. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງພາຍໃນ ±0.01 ມມ ແລະ ອະນຸຍາດໃຫ້ມີການລວມເອົາຮູຕິດຕັ້ງ ແລະ ຄຸນສົມບັດທີ່ສຳຄັນຕໍ່ການຕິດຕັ້ງໃນລະບົບອັດຕະໂນມັດ.

5. ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ

ການຂັດເງົາຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ (Ra < 0.02 μm), ເຊິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ. ການເຄືອບ CVD ທາງເລືອກສາມາດນຳໃຊ້ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຂອງພລາສມາ ຫຼື ເພີ່ມໜ້າທີ່ເຊັ່ນ: ພຶດຕິກຳຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດ.

ຕະຫຼອດຂະບວນການນີ້, ໂປໂຕຄອນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັບປະກັນແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືໃນການນຳໃຊ້ທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ສຸດ.

ພາລາມິເຕີຂອງແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌

ລາຍລະອຽດຫຼັກຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງສ້າງຜລຶກ	ໄລຍະ β ຂອງ FCC
ຄວາມໜາແໜ້ນ	ກຣາມ/ຊມ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ໄມຄຣມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມຈຸຄວາມຮ້ອນ	J·kg-1 · K-1	640
ອຸນຫະພູມການລະເຫີຍ	℃	2700
ຄວາມແຂງແຮງຂອງກະດູກຂ້າງ	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູນຂອງ Young	Gpa (ໂຄ້ງ 4pt, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE)	10-6K-1	4.5
ການນຳຄວາມຮ້ອນ	(ວັດ/ມິລິວັດ)	300

ການນຳໃຊ້ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌

ເທແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນທົ່ວອຸດສາຫະກໍາທີ່ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງ, ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາດ້ານກົນຈັກແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນ. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ລວມມີ:

1. ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງແຜ່ນຊິລິໂຄນພາຍໃນເຄື່ອງມືຂະບວນການເຊັ່ນ: ຫ້ອງແກະສະຫຼັກ, ລະບົບການວາງຊັ້ນ, ແລະອຸປະກອນກວດກາ. ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການຫຼຸດຜ່ອນການບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ ແລະ ການປົນເປື້ອນ.

2. ການຜະລິດແຜງສະແດງຜົນ

ໃນການຜະລິດໜ້າຈໍ OLED ແລະ LCD,ແຂນ/ມືຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະບົບ pick-and-place, ບ່ອນທີ່ມັນຈັດການກັບພື້ນຜິວແກ້ວທີ່ແຕກຫັກງ່າຍ. ມວນສານຕໍ່າ ແລະ ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງຂອງມັນຊ່ວຍໃຫ້ການເຄື່ອນໄຫວໄດ້ໄວ ແລະ ໝັ້ນຄົງໂດຍບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນ ຫຼື ການໂຄ້ງງໍ.

3. ລະບົບທາງແສງ ແລະ ລະບົບໂຟໂຕນິກ

ສຳລັບການຈັດລຽງ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງຂອງເລນ, ກະຈົກ, ຫຼື ຊິບໂຟໂຕນິກ,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ສະເໜີການຮອງຮັບທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນ, ສຳຄັນໃນການປະມວນຜົນດ້ວຍເລເຊີ ແລະ ການນຳໃຊ້ການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍຳ.

4. ລະບົບການບິນອະວະກາດ ແລະ ສູນຍາກາດ

ໃນລະບົບແສງອະວະກາດ ແລະ ເຄື່ອງມືສູນຍາກາດ, ໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງອົງປະກອບນີ້ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.ແຂນ/ມືຍັງສາມາດເຮັດວຽກໃນສູນຍາກາດສູງພິເສດ (UHV) ໂດຍບໍ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດອອກ.

ໃນຂົງເຂດທັງໝົດເຫຼົ່ານີ້,ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ມີປະສິດທິພາບດີກ່ວາທາງເລືອກໂລຫະ ຫຼື ໂພລີເມີແບບດັ້ງເດີມໃນດ້ານຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື, ຄວາມສະອາດ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານ.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆກ່ຽວກັບແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌

ຄຳຖາມທີ 1: ແຂນ/ມືຂອງສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃດແດ່?

ເທແຂນ/ມືສາມາດປັບແຕ່ງໃຫ້ຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 150 ມມ, 200 ມມ, ແລະ 300 ມມ. ຄວາມຍາວຂອງສ້ອມ, ຄວາມກວ້າງຂອງແຂນ, ແລະ ຮູບແບບຮູສາມາດປັບແຕ່ງໃຫ້ເໝາະສົມກັບແພລດຟອມອັດຕະໂນມັດສະເພາະຂອງທ່ານ.

ຄຳຖາມທີ 2: ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບສູນຍາກາດບໍ?

ແມ່ນແລ້ວ.ແຂນ/ມືເໝາະສຳລັບທັງລະບົບສູນຍາກາດທີ່ມີສູນຍາກາດຕ່ຳ ແລະ ລະບົບສູນຍາກາດທີ່ມີຄວາມໄວສູງ. ມັນມີອັດຕາການປ່ອຍອາຍພິດອອກຕ່ຳ ແລະ ບໍ່ປ່ອຍອະນຸພາກ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ ແລະ ຫ້ອງສູນຍາກາດ.

ຄຳຖາມທີ 3: ຂ້ອຍສາມາດເພີ່ມການເຄືອບ ຫຼື ການດັດແປງພື້ນຜິວໃສ່ແຂນ/ມືຂອງສ້ອມໄດ້ບໍ?

ແນ່ນອນ.ແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ສາມາດເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນ CVD-SiC, ຄາບອນ, ຫຼື ອົກໄຊດ໌ ເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານຂອງ plasma, ຄຸນສົມບັດຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດ, ຫຼື ຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວ.

ຄຳຖາມທີ 4: ຄຸນນະພາບຂອງແຂນ/ມືສ້ອມໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນແນວໃດ?

ແຕ່ລະອັນແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌ຜ່ານການກວດກາມິຕິໂດຍໃຊ້ CMM ແລະ ເຄື່ອງມືວັດແທກເລເຊີ. ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວຖືກປະເມີນຜ່ານ SEM ແລະ ການວິເຄາະໂປຣໄຟລ໌ແບບບໍ່ສຳຜັດ ເພື່ອຕອບສະໜອງມາດຕະຖານ ISO ແລະ SEMI.

Q5: ເວລານຳສຳລັບການສັ່ງຊື້ແຂນ/ມືສ້ອມແບບກຳນົດເອງແມ່ນເທົ່າໃດ?

ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ເວລາການຜະລິດແມ່ນປະມານ 3 ຫາ 5 ອາທິດ ຂຶ້ນກັບຄວາມສັບສົນ ແລະ ປະລິມານ. ການສ້າງຕົ້ນແບບໄວແມ່ນມີໃຫ້ສຳລັບການຮ້ອງຂໍທີ່ຮີບດ່ວນ.

ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆເຫຼົ່ານີ້ມີຈຸດປະສົງເພື່ອຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນ ແລະ ທີມງານຈັດຊື້ເຂົ້າໃຈຄວາມສາມາດ ແລະ ທາງເລືອກທີ່ມີຢູ່ເມື່ອເລືອກແຂນ/ມືສ້ອມເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບດ໌.

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍແກ້ວແສງພິເສດ ແລະ ວັດສະດຸຜລຶກໃໝ່ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແສງ, ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ ແລະ ກອງທັບ. ພວກເຮົາສະເໜີອຸປະກອນແສງ Sapphire, ຝາປິດເລນໂທລະສັບມືຖື, ເຊລາມິກ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ ແຜ່ນແພຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານ ແລະ ອຸປະກອນທີ່ທັນສະໄໝ, ພວກເຮົາມີຄວາມເກັ່ງກ້າໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ໂດຍມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic ຊັ້ນນຳ.