ຕົວສົ່ງຜົນປາຍເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (ແບບແຂນສ້ອມ/ແບບມື)
ແຜນວາດລະອຽດ
ພາບລວມຂອງແກ້ວ Quartz
ເທຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບເປັນອົງປະກອບການຈັດການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ອອກແບບມາສໍາລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ໂຟໂຕນິກ, ຫຸ່ນຍົນອັດຕະໂນມັດ, ແລະ ການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸຂັ້ນສູງ. ຖືກອອກແບບໃນການຕັ້ງຄ່າແຂນສ້ອມ/ມື,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານມິຕິທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງຫຼາຍ, ແລະ ການສ້າງອະນຸພາກຕໍ່າຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບການໂອນຍ້າຍແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ.
ບໍ່ເຫມືອນກັບເຄື່ອງມືປາຍໂລຫະແບບດັ້ງເດີມ ຫຼື ໂພລີເມີ,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບສາມາດຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຮູບຮ່າງພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ການສຳຜັດກັບສານເຄມີ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ. ພື້ນຜິວຮອງຮັບທີ່ຮາບພຽງເປັນພິເສດຂອງມັນຮັບປະກັນການຈັດການທີ່ໝັ້ນຄົງຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ, ວັດສະດຸແກ້ວ, ແວ່ນຕາໄພລິນ, ແຜ່ນ SiC, ແລະວັດສະດຸທີ່ແຕກຫັກງ່າຍອື່ນໆ. ດ້ວຍໂຄງສ້າງທີ່ມີນ້ຳໜັກເບົາແຕ່ແຂງກະດ້າງ,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນ, ເພີ່ມປະລິມານການຜະລິດ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກໃນລະຫວ່າງການເລັ່ງຄວາມໄວຂອງຫຸ່ນຍົນຢ່າງໄວວາ.
ອອກແບບມາເພື່ອປະສິດທິພາບທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນພອດໂຫຼດ FOUP, ໂມດູນ EFEM, ລະບົບການພິມດ້ວຍຫີນ, ເຄື່ອງມືໂອນຖ່າຍສູນຍາກາດ, ແລະສະຖານີວັດແທກ - ສະໜອງການໂຕ້ຕອບທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງລະຫວ່າງອຸປະກອນອັດຕະໂນມັດ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນຄ່າ.
ຫຼັກການຜະລິດ
ເທຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຜະລິດຜ່ານຂະບວນການຜະລິດເຊລາມິກແບບພິເສດທີ່ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ. ຕະຫຼອດຂະບວນການຜະລິດ, ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງລະບົບອັດຕະໂນມັດຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳ.
1. ການກະກຽມວັດສະດຸ
ການຜະລິດເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍການຄັດເລືອກຜົງ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ຜົງເຫຼົ່ານີ້ກຳນົດຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບສ່ວນປະກອບພິເສດ ແລະ ສານເຕີມແຕ່ງສຳລັບການເຜົາຖືກປະສົມເຂົ້າກັນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການຫຸ້ມຫໍ່ອະນຸພາກທີ່ເໝາະສົມ ແລະ ສົ່ງເສີມຄວາມໜາແໜ້ນເປັນເອກະພາບ.
2. ການສ້າງຮູບຮ່າງ ແລະ ການສ້າງຮູບແບບກ່ອນ
ຮ່າງກາຍສີຂຽວຂອງຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍໃຊ້ການກົດດັນແບບ isostatic ຫຼື ການສີດແມ່ພິມເຊລາມິກ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນໂຄງສ້າງທີ່ສົມດຸນຄວາມກົດດັນທີ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງພາຍໃນໜ້ອຍທີ່ສຸດ. ຮູບຮ່າງແບບສ້ອມຖືກປັ້ນໃນຂັ້ນຕອນນີ້ໃຫ້ກົງກັບເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ອິນເຕີເຟດຕິດຕັ້ງແບບຫຸ່ນຍົນ.
3. ການເຜົາໄໝ້ດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ
ສ່ວນປະກອບທີ່ມີຮູບຮ່າງຖືກເຜົາໄໝ້ສູງກວ່າ 2000°C ໃນສູນຍາກາດ ຫຼື ບັນຍາກາດທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນນີ້,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບມີຄວາມໜາແໜ້ນໃກ້ຄຽງກັບທິດສະດີ, ມີຄວາມແຂງທີ່ດີເລີດ, ທົນທານຕໍ່ການກະທົບກະເທືອນຈາກຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ. ຂັ້ນຕອນນີ້ກຳນົດຄວາມສົມບູນທາງກົນຈັກຂອງອົງປະກອບ.
4. ເຄື່ອງຈັກ CNC ຄວາມແມ່ນຍໍາ
ຫຼັງຈາກການເຜົາ, ການບົດເພັດ ແລະ ການເຄື່ອງຈັກ CNC ຫຼາຍແກນ ປັບປຸງຮູບຮ່າງຂອງຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຄຸນສົມບັດທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ໜ້າຜິວສຳຜັດແຜ່ນເວເຟີ, ຮູຕິດຕັ້ງ, ຮ່ອງຈັດລຽນ, ແລະ ໄລຍະຫ່າງຂອງສ້ອມແມ່ນຖືກເຄື່ອງຈັກໃຫ້ມີຄວາມທົນທານຕໍ່າສຸດ ±0.01 ມມ.
5. ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດ
ສຸດທ້າຍ,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບໂດຍຜ່ານການຂັດເງົາທີ່ລະອຽດອ່ອນ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ. ຂັ້ນຕອນນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ກຳຈັດອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ, ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງສະອາດ. ການເຄືອບ CVD-SiC ຫຼື ຊັ້ນທີ່ທົນທານຕໍ່ພລາສມາທີ່ເປັນທາງເລືອກສາມາດເພີ່ມຄວາມທົນທານໄດ້ຕື່ມອີກ.
ວິທີການຜະລິດທີ່ລະອຽດອ່ອນນີ້ຮັບປະກັນວ່າທຸກໆຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມອັດຕະໂນມັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
ແອັບພລິເຄຊັນ
ເທຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຖືກອອກແບບມາສຳລັບອຸດສາຫະກຳທີ່ຄວາມສະອາດ, ຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືແມ່ນບໍ່ສາມາດເຈລະຈາໄດ້. ການອອກແບບແຂນ/ມືສ້ອມຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມກັບແຂນຫຸ່ນຍົນ, ລະບົບເລືອກ ແລະ ວາງ, ເຄື່ອງມືໂອນຍ້າຍສູນຍາກາດ ແລະ ແພລດຟອມການກວດກາທີ່ກ້າວໜ້າ.
1. ການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ
ໃນໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ:
-
ການໂຫຼດ/ການຂົນອອກແຜ່ນເວເຟີ
-
ການຈັດຮຽງ FOUP
-
ການຂົນສົ່ງຫ້ອງສູນຍາກາດ
-
ຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ການພິມດ້ວຍຫີນ, ແລະ ການວາງຊັ້ນ
ສະອາດ ແລະ ແຂງແກ່ນທີ່ສຸດຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບປ້ອງກັນການເລື່ອນ, ການໂຄ້ງງໍ, ແລະ ການປົນເປື້ອນ, ຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີຈາກ 150 ມມ ຫາ 300 ມມ.
2. ໂຟໂຕນິກ ແລະ ອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ
ສຳລັບການຈັດການເລນທີ່ແຕກຫັກງ່າຍ, ອຸປະກອນ optical, ຊັ້ນຮອງພື້ນ GaN, ແລະຊິບ photonic,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບໃຫ້ສະຖຽນລະພາບທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນ. ລັກສະນະທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະຂອງມັນຫຼີກລ່ຽງການລົບກວນແມ່ເຫຼັກ ແລະ ການປົນເປື້ອນທາງແສງ.
3. ການຜະລິດຈໍສະແດງຜົນ ແລະ ແຜງ
ໃນການຜະລິດແຜງ OLED, QLED, ແລະ LCD,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບໂອນຍ້າຍແກ້ວບາງໆ ແລະ ວັດສະດຸພິເສດໄດ້ຢ່າງປອດໄພ. ພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີຂອງມັນປົກປ້ອງຈາກສິ່ງເສດເຫຼືອ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍຂອງພື້ນຜິວ.
4. ຫຸ່ນຍົນອາວະກາດ ແລະ ຫຸ່ນຍົນສູນຍາກາດ
ໃນຫ້ອງທີ່ມີສູນຍາກາດສູງ ແລະ ສາຍການປະກອບອາວະກາດ,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການສຳຜັດກັບລັງສີ, ແລະ ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ ພ້ອມທັງຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ.
ໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳທັງໝົດເຫຼົ່ານີ້,ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບມີປະສິດທິພາບດີກ່ວາທາງເລືອກໂລຫະ ແລະ ໂພລີເມີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.
ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ - ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ
ຄຳຖາມທີ 1: ຕົວສັ່ນເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບສາມາດຮອງຮັບຂະໜາດທີ່ກຳນົດເອງໄດ້ບໍ?
ແມ່ນແລ້ວ.ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບສາມາດອອກແບບມາສຳລັບແຜ່ນເວເຟີ, ແຜງ, ຫຼື ຂະໜາດວັດສະດຸໃດກໍໄດ້. ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງສ້ອມ, ຄວາມໜາ, ນ້ຳໜັກ, ແລະ ຮູບແບບຮູຕິດຕັ້ງສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຢ່າງເຕັມທີ່.
ຄຳຖາມທີ 2: ຕົວສັ່ນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ເໝາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດບໍ?
ຢ່າງແທ້ຈິງ.ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບມີການລະບາຍອາຍພິດຕໍ່າຫຼາຍ ແລະ ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມ UHV ແລະ ຫ້ອງທີ່ສະອາດ.
ຄຳຖາມທີ 3: ຂໍ້ດີຂອງ SiC end effector ທຽບກັບອາລູມິນຽມ ຫຼື ເຫຼັກກ້າແມ່ນຫຍັງ?
A ຕົວສົ່ງຜົນກະທົບດ້ານເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບຂໍ້ສະເໜີ:
-
ອັດຕາສ່ວນຄວາມແຂງກະດ້າງຕໍ່ນ້ຳໜັກສູງຂຶ້ນ
-
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳກວ່າ
-
ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີກວ່າ
-
ທົນທານຕໍ່ plasma ແລະສານເຄມີທີ່ດີກວ່າ
-
ສູນການກັດກ່ອນ
ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ
XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍແກ້ວແສງພິເສດ ແລະ ວັດສະດຸຜລຶກໃໝ່ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແສງ, ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ ແລະ ກອງທັບ. ພວກເຮົາສະເໜີອຸປະກອນແສງ Sapphire, ຝາປິດເລນໂທລະສັບມືຖື, ເຊລາມິກ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ ແຜ່ນແພຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານ ແລະ ອຸປະກອນທີ່ທັນສະໄໝ, ພວກເຮົາມີຄວາມເກັ່ງກ້າໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ໂດຍມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic ຊັ້ນນຳ.
