ທໍ່ Sapphire ເສີມຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງ Thermocouple
ແຜນວາດລະອຽດ
ບົດນຳ
ໃນອຸດສາຫະກຳທີ່ທັນສະໄໝ, ການຕິດຕາມກວດກາອຸນຫະພູມທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນສ່ວນສຳຄັນຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການ, ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ, ແລະ ລະບົບຄວາມປອດໄພ. ເທີໂມຄັບເປິ້ນ - ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງ - ມັກຈະຖືກສຳຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ້າທາຍເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງ, ສານເຄມີທີ່ກັດກ່ອນ, ລະບົບສູນຍາກາດ, ແລະ ສະໜາມພລາສມາ. ການປົກປ້ອງເຊັນເຊີເຫຼົ່ານີ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການດຳເນີນງານ. ທໍ່ແຊຟໄຟ, ເຮັດຈາກອາລູມິນຽມອອກໄຊສັງເຄາະດ່ຽວ, ໄດ້ພິສູດໃຫ້ເຫັນວ່າເປັນວັດສະດຸທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືທີ່ສຸດສຳລັບການປົກປ້ອງດັ່ງກ່າວ. ບົດຄວາມນີ້ສຳຫຼວດລັກສະນະທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງທໍ່ແຊຟໄຟ, ການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງມັນ, ແລະ ໂດຍສະເພາະແມ່ນປະສິດທິພາບທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງພວກມັນເປັນເປືອກປ້ອງກັນເທີໂມຄັບເປິ້ນ.
ວັດສະດຸທີ່ດີເລີດສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ
ໄພລິນເປັນຮູບແບບຜລຶກຂອງອາລູມິນຽມອອກໄຊ (Al₂O₃) ແລະ ຖືກຈັດອັນດັບຕໍ່າກວ່າເພັດໃນດ້ານຄວາມແຂງ, ໂດຍໄດ້ຄະແນນ 9 ໃນລະດັບ Mohs. ຄວາມແຂງທີ່ໂດດເດັ່ນນີ້ເຮັດໃຫ້ທໍ່ໄພລິນທົນທານຕໍ່ການຂູດ, ການຂັດ, ແລະ ຜົນກະທົບທາງກົນຈັກສູງ, ເຖິງແມ່ນວ່າຈະໃຊ້ເລື້ອຍໆ ຫຼື ໜັກໜ່ວງກໍຕາມ.
ນອກເໜືອໄປຈາກຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ, ທໍ່ sapphire ຍັງມີຄຸນຄ່າສູງສຳລັບຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີຂອງມັນ. ພວກມັນຍັງຄົງໝັ້ນຄົງ ແລະ ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາໃນເວລາທີ່ມີກົດ, ຕົວລະລາຍ ແລະ ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສ່ວນໃຫຍ່, ລວມທັງໄຮໂດຣເຈນ ຟລູອໍໄຣດ໌, ຄລໍຣີນ ແລະ ທາດປະສົມຊູນຟູຣ໌. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ພວກມັນເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃນຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບສານເຄມີທີ່ມີຄວາມຮຸນແຮງ ຫຼື ພລາສມາ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນຂອງແກ້ວໄພລິນແມ່ນໜ້າປະທັບໃຈຫຼາຍ. ມັນທົນທານຕໍ່ການສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2000°C ເປັນເວລາດົນນານ ໃນຂະນະທີ່ຍັງຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງໄວ້ໄດ້. ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຮອງຮັບການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ, ເຊິ່ງເປັນລັກສະນະທີ່ສຳຄັນໂດຍສະເພາະເມື່ອນຳໃຊ້ໃນລະບົບກວດຈັບອຸນຫະພູມ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງແມ່ນຄວາມໂປ່ງໃສທາງດ້ານແສງຂອງມັນໃນທົ່ວຄື້ນແສງ ultraviolet, ຄື້ນແສງທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້, ແລະ ຄື້ນແສງອິນຟາເຣດ - ຈາກປະມານ 0.3 μm ຫາ 5 μm. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ທໍ່ sapphire ເໝາະສົມສຳລັບການຮັບຮູ້ທາງແສງ ຫຼື ລະບົບຕິດຕາມກວດກາຄວາມຮ້ອນ-ແສງລວມ.
ເຄື່ອງວັດແທກອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການໃນການປົກປ້ອງ
ເທີໂມຄັບເປິ້ນແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນໃນລະບົບທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ຕັ້ງແຕ່ເຕົາເຜົາເຫຼັກ ແລະ ເຄື່ອງຈັກກັງຫັນ ຈົນເຖິງເຕົາປະຕິກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອຸປະກອນຂະບວນການທາງເຄມີ. ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ສ້າງແຮງດັນໂດຍອີງໃສ່ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມລະຫວ່າງສອງໂລຫະທີ່ແຕກຕ່າງກັນທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ກັນຢູ່ປາຍດ້ານໜຶ່ງ. ໃນຂະນະທີ່ເທີໂມຄັບເປິ້ນມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ ແລະ ແຂງແຮງ, ການສຳຜັດໂດຍກົງກັບຄວາມຮ້ອນ, ສານກັດກ່ອນ ແລະ ການຊ໊ອກທາງກົນຈັກສາມາດເຮັດໃຫ້ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງພວກມັນສັ້ນລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ຫຼື ຫຼຸດຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການອ່ານອຸນຫະພູມລົງ.
ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ທໍ່ sapphire ມີບົດບາດເປັນເປືອກປ້ອງກັນ. ໂດຍການຫຸ້ມຫໍ່ thermocouple ພາຍໃນທໍ່ sapphire, ເຊັນເຊີຈະຖືກແຍກອອກຈາກສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ ໃນຂະນະທີ່ຍັງຊ່ວຍໃຫ້ການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນມີປະສິດທິພາບ. ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນເຊັນເຊີທີ່ໃຊ້ໄດ້ດົນກວ່າ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືກວ່າ ເຊິ່ງຮັກສາຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ເຖິງແມ່ນວ່າຈະຢູ່ພາຍໃຕ້ສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ຮຸນແຮງເປັນເວລາດົນ.
ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນຂອງ Sapphire ຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມຮ້ອນສາມາດເຂົ້າເຖິງເຄື່ອງວັດແທກອຸນຫະພູມໄດ້ໄວ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຊັກຊ້າຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ປັບປຸງເວລາຕອບສະໜອງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການໂຈມຕີທາງເຄມີຂອງມັນຮັບປະກັນວ່າເຊັນເຊີຈະບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກສິ່ງເສດເຫຼືອ, ການກັດກ່ອນ, ຫຼື ການສະສົມຂອງວັດສະດຸ - ບັນຫາທີ່ມັກເກີດຂຶ້ນກັບແຂນປ້ອງກັນໂລຫະ ຫຼື ເຊລາມິກ.
ກໍລະນີການນຳໃຊ້ໃນການຕິດຕາມອຸນຫະພູມ
ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ທໍ່ sapphire ມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອປົກປ້ອງ thermocouples ທີ່ຕິດຕາມກວດກາສະພາບຂະບວນການທີ່ສຳຄັນ. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງມັນແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນໃນບັນຍາກາດທີ່ອຸດົມດ້ວຍອາຍແກັສ halogen, ໂລຫະທີ່ລະລາຍ, ຫຼືໄອທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ຕົວຢ່າງ:
-
ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ: ເປືອກ Sapphire ປົກປ້ອງ thermocouples ໃນລະຫວ່າງການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial, wafer annealing, ແລະຂະບວນການເສີມ, ບ່ອນທີ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດແລະການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແມ່ນມີຄວາມ ສຳ ຄັນຫຼາຍ.
-
ເຕົາປະຕິກອນເຄມີໃນປະຕິກິລິຍາກາຕາລິຕິກ ຫຼື ສະພາບແວດລ້ອມໄອນ້ຳທີ່ມີການກັດກ່ອນ, ທໍ່ sapphire ຮັບປະກັນການປົກປ້ອງໄລຍະຍາວຂອງໂພຣບອຸນຫະພູມ, ກຳຈັດຄວາມກັງວົນກ່ຽວກັບການປົນເປື້ອນ.
-
ເຕົາອົບສູນຍາກາດທໍ່ Sapphire ປ້ອງກັນການຜຸພັງ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍທາງກົນຈັກຕໍ່ເທີໂມຄັບເປິ້ນໃນຂະນະທີ່ປະຕິບັດງານພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາຄວາມດັນຕ່ຳ.
-
ລະບົບການເຜົາໄໝ້ເຄື່ອງຈັກ Jet, ກັງຫັນອາຍແກັສ, ແລະ ເຕົາໄຟອຸດສາຫະກໍາມັກຈະອີງໃສ່ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຮ້ອນທີ່ປ້ອງກັນດ້ວຍ sapphire ເພື່ອຕິດຕາມກວດກາລະດັບຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງເພື່ອປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມປອດໄພທີ່ດີທີ່ສຸດ.
ໂດຍການນໍາໃຊ້ທໍ່ sapphire, ວິສະວະກອນສາມາດນຳໃຊ້ thermocouples ໃນສະພາບທີ່ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນອາດຈະເປັນອັນຕະລາຍເກີນໄປສໍາລັບເປືອກໂລຫະມາດຕະຖານ ຫຼື ແກ້ວ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ຂອບເຂດການເຮັດວຽກຂອງລະບົບຕິດຕາມກວດກາຄວາມຮ້ອນກວ້າງຂວາງຂຶ້ນ ແລະ ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບໃນໄລຍະຍາວຂອງພວກມັນ.
ການນຳໃຊ້ອຸດສາຫະກຳເພີ່ມເຕີມຂອງທໍ່ Sapphire
ໃນຂະນະທີ່ການປ້ອງກັນດ້ວຍເທີໂມຄັບເປິ້ນເປັນການນຳໃຊ້ຊັ້ນນຳ, ທໍ່ແຊຟໄຟຣ໌ຖືກນຳໃຊ້ໃນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ກ້າວໜ້າອື່ນໆຈຳນວນຫຼາຍ:
-
ໂຄມໄຟປ່ອຍຄວາມເຂັ້ມສູງ (HID)ໃນຖານະທີ່ເປັນວັດສະດຸຫຸ້ມຫໍ່, ທໍ່ sapphire ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ ແລະ ລັງສີ UV/IR ໂດຍບໍ່ມີການຂຸ່ນ ຫຼື ອ່ອນລົງ.
-
ຫ້ອງແກະສະຫຼັກພລາສມາໃຊ້ເປັນຊ່ອງເບິ່ງພາບ ແລະ ຖັງບັນຈຸເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງມັນ.
-
ການຮັບຮູ້ທາງແສງໃນເສັ້ນເປີດໃຊ້ການວິເຄາະດ້ວຍແສງສະເປກໂຕຣສະໂຄປີ, ການຖ່າຍພາບ, ແລະ ການວິນິດໄສດ້ວຍເລເຊີຜ່ານທໍ່ສົ່ງຂະບວນການໂດຍບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຕົວກາງ.
-
ການບຳບັດນ້ຳ ແລະ ອຸປະກອນການແພດເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ສະໝ່ຳສະເໝີທາງຊີວະພາບ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ, ທໍ່ sapphire ຈຶ່ງເໝາະສົມສຳລັບລະບົບທີ່ຕ້ອງການຄວາມປອດເຊື້ອ ແລະ ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ.
-
ລະບົບສົ່ງເລເຊີທໍ່ Sapphire ນຳພາລຳແສງພະລັງງານສູງດ້ວຍການສູນເສຍທາງ optical ໜ້ອຍທີ່ສຸດ ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງສຸດ.
ການນຳໃຊ້ເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄຸນສົມບັດຫຼັກຂອງໄພລິນ — ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ, ຄວາມຊັດເຈນທາງດ້ານແສງ, ຄວາມແຂງສູງ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ — ໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳທີ່ຫຼາກຫຼາຍເຊັ່ນ: ການບິນອະວະກາດ, ການດູແລສຸຂະພາບ, ປິໂຕເຄມີ, ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກ.
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຫຼັກຂອງທໍ່ Sapphire
-
ຂອບເຂດຄວາມໂປ່ງໃສ0.3–5.0 μm (UV ຫາ IR), ເໝາະສຳລັບການໃຊ້ກັບສາຍຕາ, ເລເຊີ ແລະ ສະເປກໂຕຣສະໂກບ
-
ຄວາມແຂງໂມຮ໌ 9—ທົນທານຕໍ່ການຂັດຖູ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍຂອງພື້ນຜິວ
-
ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນໝັ້ນຄົງເຖິງ 2030°C, ມີຄວາມນຳໄຟຟ້າສູງເພື່ອການແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ
-
ຄວາມທົນທານທາງເຄມີບໍ່ຊຶມຜ່ານຕົວລະລາຍ, ກົດ ແລະ ດ່າງສ່ວນໃຫຍ່
-
ການສນວນໄຟຟ້າ: ການສູນເສຍໄຟຟ້າຄົງທີ່ ແລະ ໄຟຟ້າຕໍ່າ
-
ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິທົນທານຕໍ່ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການຜິດຮູບພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນ
-
ຄວາມຕ້ານທານຂອງພລາສມາເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນຂົງເຂດພະລັງງານສູງ ເຊັ່ນ: PECVD ຫຼື ການຝັງໄອອອນ
ສະຫຼຸບ ແລະ ຜົນປະໂຫຍດສຳລັບລະບົບ Thermocouple
-
ທໍ່ Sapphire ນຳເອົາຄຸນລັກສະນະທີ່ແຕກຕ່າງກັນມາເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ພວກມັນເໝາະສົມສຳລັບການປ້ອງກັນດ້ວຍເທີໂມຄັບເປິ້ນ:
-
ຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ດີຂຶ້ນການນຳຄວາມຮ້ອນສູງຊ່ວຍໃຫ້ຕອບສະໜອງໄດ້ໄວ
-
ຄວາມທົນທານທີ່ຂະຫຍາຍອອກໄປ: ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການສວມໃສ່ ແລະ ການກັດກ່ອນປົກປ້ອງເຊັນເຊີໃນໄລຍະຍາວ
-
ປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງ: ຮັກສາຄວາມສົມບູນທາງກົນຈັກເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນຮອບວຽນກໍຕາມ
-
ບໍ່ປົນເປື້ອນໜ້າດິນທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງຄວາມຜິດພາດ
-
ຄວາມສາມາດຫຼາຍດ້ານ: ເຮັດໃຫ້ສາມາດເຊື່ອມໂຍງການຮັບຮູ້ທາງແສງກັບການຕິດຕາມຄວາມຮ້ອນໄດ້
-
ສະຫຼຸບ
-
ເທີໂມຄັບເປິ້ນແມ່ນຫົວໃຈຂອງລະບົບທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ອຸນຫະພູມ, ແລະຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງມັນແມ່ນຂຶ້ນກັບຄຸນນະພາບຂອງທີ່ຢູ່ອາໄສປ້ອງກັນຂອງພວກມັນ. ທໍ່ Sapphire, ຍ້ອນຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ພິເສດຂອງມັນ, ສະເໜີການປະສົມປະສານທີ່ດີທີ່ສຸດທີ່ມີຢູ່ຂອງຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ການປົກປ້ອງກົນຈັກ, ແລະຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ. ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳສືບຕໍ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳສູງແລະຄວາມທົນທານໃນລະບົບຄວາມຮ້ອນ, ເທີໂມຄັບເປິ້ນທີ່ປ້ອງກັນດ້ວຍທໍ່ Sapphire ກຳລັງກາຍເປັນທາງອອກທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຕອບສະໜອງຄວາມຄາດຫວັງເຫຼົ່ານັ້ນ.
