ເຂັມຍົກ Sapphire ພຣີມຽມ ເຂັມຍົກແຜ່ນ Wafer Al₂O₃ ຜລຶກດຽວ
ພາລາມິເຕີດ້ານເຕັກນິກ
| ສ່ວນປະກອບທາງເຄມີ | Al2O3 |
| ຄວາມແຂງ | 9 ໂມ |
| ລັກສະນະທາງສາຍຕາ | ແກນດຽວ |
| ດັດຊະນີການຫັກເຫ | 1.762-1.770 |
| ການແຍກສອງຊັ້ນ | 0.008-0.010 |
| ການກະຈາຍຕົວ | ຕ່ຳ, 0.018 |
| ຄວາມເງົາງາມ | ແກ້ວ |
| ລັດທິພລີໂອຄຣອຍສ໌ | ປານກາງຫາແຮງ |
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 0.4 ມມ - 30 ມມ |
| ຄວາມທົນທານຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 0.004 ມມ-0.05 ມມ |
| ຄວາມຍາວ | 2 ມມ - 150 ມມ |
| ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຍາວ | 0.03 ມມ - 0.25 ມມ |
| ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ | 40/20 |
| ຄວາມກົມຂອງພື້ນຜິວ | RZ0.05 |
| ຮູບຮ່າງກຳນົດເອງ | ທັງສອງສົ້ນຮາບພຽງ, ສົ້ນໜຶ່ງມີສີແດງ, ທັງສອງສົ້ນມີສີແດງ, ເຂັມຕອກ ແລະ ຮູບຊົງພິເສດ |
ຄຸນສົມບັດຫຼັກ
1. ຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ໂດດເດັ່ນ: ດ້ວຍລະດັບຄວາມແຂງຂອງ Mohs 9, ເປັນອັນດັບສອງຮອງຈາກເພັດ, Sapphire Lift Pins ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງລັກສະນະການສວມໃສ່ທີ່ມີປະສິດທິພາບດີກ່ວາ silicon carbide, alumina ceramic, ຫຼືໂລຫະປະສົມແບບດັ້ງເດີມຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຄວາມແຂງທີ່ສຸດນີ້ແປວ່າການຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການການບຳລຸງຮັກສາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ໂດຍມີອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານກວ່າວັດສະດຸທົ່ວໄປ 3-5 ເທົ່າໃນການນຳໃຊ້ທີ່ຄ້າຍຄືກັນ.
2. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ: ຖືກອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່ການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນອຸນຫະພູມເກີນ 1000°C ໂດຍບໍ່ມີການເສື່ອມສະພາບ, Sapphire Lift Pins ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກໃນຂະບວນການຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກມັນມີຄຸນຄ່າໂດຍສະເພາະສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ການວາງໄອເຄມີ (CVD), ການວາງໄອເຄມີໂລຫະ-ອິນຊີ (MOCVD), ແລະ ລະບົບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງບ່ອນທີ່ຄວາມບໍ່ກົງກັນຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການ.
3. ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ: ໂຄງສ້າງ sapphire ຜລຶກດຽວສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຕ້ານທານທີ່ໂດດເດັ່ນຕໍ່ການໂຈມຕີຈາກກົດ HF, ເຄມີທີ່ມີ chlorine ເປັນສ່ວນປະກອບ, ແລະອາຍແກັສຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງອື່ນໆທີ່ພົບເລື້ອຍໃນການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີນີ້ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma ແລະປ້ອງກັນການເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວທີ່ອາດຈະນໍາໄປສູ່ການປົນເປື້ອນຂອງແຜ່ນ wafer.
4. ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຕໍ່າ: ຜະລິດຈາກຜລຶກແກ້ວແຊຟໄຟທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ ແລະ ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ໂດຍປົກກະຕິ >99.99%), ເຂັມຍົກເຫຼົ່ານີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກໜ້ອຍທີ່ສຸດເຖິງແມ່ນວ່າຈະໃຊ້ງານເປັນເວລາດົນ. ໂຄງສ້າງພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ມີຮູຂຸມຂົນ ແລະ ການເຄືອບເງົາຂອງມັນຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຫ້ອງສະອາດທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງປະກອບສ່ວນໂດຍກົງຕໍ່ການປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂອງໂຫນດທີ່ກ້າວໜ້າ.
ການເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ: ໂດຍການນໍາໃຊ້ເຕັກນິກການບົດເພັດ ແລະ ການປະມວນຜົນດ້ວຍເລເຊີທີ່ກ້າວຫນ້າ, Sapphire Lift Pins ສາມາດຜະລິດໄດ້ດ້ວຍຄວາມທົນທານຂອງ sub-micron ແລະ ການສໍາເລັດຮູບພື້ນຜິວຕໍ່າກວ່າ 0.05μm Ra. ຮູບຮ່າງທີ່ກໍາຫນົດເອງລວມທັງໂປຣໄຟລ໌ຮູບຈວຍ, ການຕັ້ງຄ່າປາຍພິເສດ, ແລະ ຄຸນສົມບັດການຈັດລຽນແບບປະສົມປະສານສາມາດຖືກອອກແບບເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາການຈັດການກັບ wafer ສະເພາະໃນອຸປະກອນການຜະລິດລຸ້ນຕໍ່ໄປ.
ແອັບພລິເຄຊັນຫຼັກ
1. ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ: ໝຸດຍົກ Sapphire ມີບົດບາດສຳຄັນໃນລະບົບການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີທີ່ກ້າວໜ້າ, ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຕຳແໜ່ງທີ່ແນ່ນອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງ, ການແກະສະຫຼັກ, ການວາງຊັ້ນ, ແລະ ການກວດກາ. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ເຄມີຂອງພວກມັນເຮັດໃຫ້ພວກມັນມີຄຸນຄ່າໂດຍສະເພາະໃນເຄື່ອງມືພິມດ້ວຍ EUV ແລະ ການນຳໃຊ້ການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າບ່ອນທີ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນລະດັບນາໂນແມັດແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນ.
2. LED Epitaxy (MOCVD): ໃນ gallium nitride (GaN) ແລະລະບົບການເຕີບໂຕຂອງ semiconductor epitaxial ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, Sapphire Lift Pins ໃຫ້ການຮອງຮັບ wafer ທີ່ໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມມັກຈະເກີນ 1000°C. ລັກສະນະການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ກົງກັບພວກມັນກັບຊັ້ນຮອງ sapphire ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການໂຄ້ງຂອງ wafer ແລະການສ້າງຮອຍເລື່ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial.
3. ອຸດສາຫະກຳພະລັງງານແສງຕາເວັນ: ການຜະລິດແຜງແສງຕາເວັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງໄພລິນໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ, ການເຜົາໄໝ້, ແລະ ການວາງຊັ້ນຟິມບາງໆໃນອຸນຫະພູມສູງ. ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຂອງໝຸດມີຄຸນຄ່າໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍທີ່ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອົງປະກອບສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຕົ້ນທຶນການຜະລິດ.
4. ການປະມວນຜົນທາງດ້ານແສງ ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ: ນອກເໜືອໄປຈາກການນຳໃຊ້ແບບເຄິ່ງຕົວນຳ, ໝຸດຍົກ Sapphire ຍັງຖືກນຳໃຊ້ໃນການຈັດການອົງປະກອບທາງແສງທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ອຸປະກອນ MEMS, ແລະ ວັດສະດຸພິເສດບ່ອນທີ່ການປະມວນຜົນທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ ແລະ ການປ້ອງກັນຮອຍຂີດຂ່ວນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ຄຸນສົມບັດການສນວນໄຟຟ້າຂອງພວກມັນເຮັດໃຫ້ພວກມັນເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ໄຟຟ້າສະຖິດ.
ການບໍລິການຂອງ XKH ສຳລັບເຂັມຍົກ sapphire
XKH ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນດ້ານເຕັກນິກທີ່ສົມບູນແບບ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບ Sapphire Lift Pins:
1. ການບໍລິການພັດທະນາຕາມຄວາມຕ້ອງການ
· ຮອງຮັບການປັບແຕ່ງມິຕິ, ເລຂາຄະນິດ ແລະ ການປະຕິບັດໜ້າດິນ
· ການເລືອກວັດສະດຸ ແລະ ຄຳແນະນຳກ່ຽວກັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງພາລາມິເຕີທາງດ້ານເຕັກນິກ
· ການອອກແບບຜະລິດຕະພັນຮ່ວມມື ແລະ ການຢັ້ງຢືນການຈຳລອງ
2. ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
· ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງພ້ອມດ້ວຍຄວາມທົນທານທີ່ຄວບຄຸມພາຍໃນ ±1μm
· ການປິ່ນປົວພິເສດລວມທັງການຂັດກະຈົກ ແລະ ການຂັດຂອບ
· ວິທີແກ້ໄຂການດັດແປງພື້ນຜິວທາງເລືອກເຊັ່ນ: ການເຄືອບຕ້ານການຕິດ
3. ລະບົບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ
· ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດຢ່າງເຂັ້ມງວດໃນການກວດກາວັດສະດຸທີ່ເຂົ້າມາ ແລະ ການຄວບຄຸມຂະບວນການ
· ການກວດກາດ້ວຍແສງເຕັມມິຕິ ແລະ ການວິເຄາະຮູບຮ່າງໜ້າດິນ
· ການສະໜອງບົດລາຍງານການທົດສອບປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ
4. ການບໍລິການລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງ
· ການຈັດສົ່ງສິນຄ້າມາດຕະຖານຢ່າງວ່ອງໄວ
· ການຄຸ້ມຄອງສິນຄ້າຄົງຄັງສະເພາະສຳລັບບັນຊີຫຼັກ
5. ການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິຊາການ
· ການໃຫ້ຄຳປຶກສາກ່ຽວກັບວິທີແກ້ໄຂແອັບພລິເຄຊັນ
· ການຕອບສະໜອງຫຼັງການຂາຍຢ່າງວ່ອງໄວ
ພວກເຮົາມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງຜະລິດຕະພັນ Sapphire Lift Pins ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ການບໍລິການດ້ານວິຊາການແບບມືອາຊີບເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ, LED ແລະ ອຸດສາຫະກຳທີ່ກ້າວໜ້າອື່ນໆ.
