P-type SiC wafer 4H/6H-P 3C-N ຄວາມໜາ 6 ນິ້ວ 350 μm ດ້ວຍການວາງທິດທາງຮາບພຽງຕົ້ນຕໍ

P-type SiC wafer 4H/6H-P 3C-N ຄວາມໜາ 6 ນິ້ວ 350 μm ດ້ວຍຮູບພາບທີ່ໂດດເດັ່ນໃນທິດທາງຮາບພຽງຫຼັກ

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, ເປັນວັດສະດຸ semiconductor 6 ນິ້ວທີ່ມີຄວາມຫນາ 350 μmແລະປະຖົມນິເທດແບນ, ອອກແບບມາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວຫນ້າ. ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແຮງດັນການທໍາລາຍສູງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍກາດແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive, wafer ນີ້ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກປະສິດທິພາບສູງ. P-type doping ແນະນໍາຮູເປັນສາຍສົ່ງຕົ້ນຕໍ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໄຟຟ້າແລະ RF. ໂຄງສ້າງທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງມັນຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ມີແຮງດັນສູງແລະຄວາມຖີ່ສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບອຸປະກອນພະລັງງານ, ເຄື່ອງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການແປງພະລັງງານທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ທິດທາງຮາບພຽງຕົ້ນຕໍຮັບປະກັນການສອດຄ່ອງທີ່ຖືກຕ້ອງໃນຂະບວນການຜະລິດ, ສະຫນອງຄວາມສອດຄ່ອງໃນການຜະລິດອຸປະກອນ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

Specification4H/6H-P Type SiC Composite Substrates ຕາຕະລາງພາລາມິເຕີທົ່ວໄປ

6 ເສັ້ນຜ່າສູນກາງນິ້ວ Silicon Carbide (SiC) Substrate ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ

ເກຣດ			ສູນການຜະລິດ MPDເກຣດ (Z ເກຣດ)	ການຜະລິດມາດຕະຖານຊັ້ນ (ປ ເກຣດ)	Dummy Grade (D ເກຣດ)
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ			145.5 mm ~ 150.0 mm
ຄວາມຫນາ			350 μm ± 25 μm
Wafer ປະຖົມນິເທດ			-Offແກນ: 2.0°-4.0° ໄປຫາ [1120] ± 0.5° ສໍາລັບ 4H/6H-P, ໃນແກນ:〈111〉 ± 0.5° ສໍາລັບ 3C-N
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ Micropipe			0ຊມ-2
ຄວາມຕ້ານທານ	p-type 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏຊມ		≤0.3 Ωꞏຊມ
	n-type 3C-N		≤0.8 mΩꞏຊມ		≤1 m Ωꞏຊມ
ປະຖົມນິເທດ Flat ປະຖົມ		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
ຄວາມຍາວຮາບພຽງຕົ້ນຕໍ			32.5 ມມ ± 2.0 ມມ
ຄວາມຍາວຂອງຮາບພຽງຮອງ			18.0 ມມ ± 2.0 ມມ
ປະຖົມນິເທດແບນມັດທະຍົມ			Silicon ປະເຊີນຫນ້າ: 90 ° CW. ຈາກ Prime flat ± 5.0°
ການຍົກເວັ້ນຂອບ			3 ມມ		6 ມມ
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
ຄວາມຫຍາບຄາຍ			ໂປແລນ Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5nm
ຂອບຮອຍແຕກໂດຍແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ			ບໍ່ມີ		ຄວາມຍາວສະສົມ ≤ 10 mm, single length≤2 mm
ແຜ່ນ Hex ໂດຍແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ			ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤0.05%		ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤0.1%
ພື້ນທີ່ Polytype ໂດຍແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ			ບໍ່ມີ		ພື້ນທີ່ສະສົມ≤3%
ການລວມ Carbon Visual			ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤0.05%		ພື້ນທີ່ສະສົມ ≤3%
ຮອຍຂີດຂ່ວນຂອງພື້ນຜິວ Silicon ໂດຍແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ			ບໍ່ມີ		ຄວາມຍາວສະສົມ≤1 × ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງເວເຟີ
Edge Chips ສູງໂດຍຄວາມເຂັ້ມຂອງແສງ			ບໍ່ອະນຸຍາດໃຫ້ມີ ≥0.2mm width ແລະຄວາມເລິກ		5 ອະນຸຍາດ, ≤1ມມແຕ່ລະຄົນ
ການປົນເປື້ອນພື້ນຜິວ Silicon ໂດຍຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນສູງ			ບໍ່ມີ
ການຫຸ້ມຫໍ່			Multi-wafer Cassette ຫຼືດຽວ Wafer Container

ໝາຍເຫດ:

※ຂໍ້ຈໍາກັດຂໍ້ບົກພ່ອງໃຊ້ກັບພື້ນຜິວ wafer ທັງຫມົດຍົກເວັ້ນພື້ນທີ່ຍົກເວັ້ນຂອບ. # ຮອຍຂີດຂ່ວນຄວນກວດສອບ Si face o

P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, ທີ່ມີຂະຫນາດ 6 ນິ້ວແລະຄວາມຫນາ 350 μm, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາຂອງເຄື່ອງໄຟຟ້າທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະແຮງດັນການທໍາລາຍສູງເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບອົງປະກອບການຜະລິດເຊັ່ນ: ສະຫຼັບພະລັງງານ, diodes, ແລະ transistors ທີ່ໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ: ຍານພາຫະນະໄຟຟ້າ, ຕາຂ່າຍໄຟຟ້າ, ແລະລະບົບພະລັງງານທົດແທນ. ຄວາມສາມາດຂອງ wafer ໃນການປະຕິບັດຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃນສະພາບທີ່ຮຸນແຮງຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານສູງແລະປະສິດທິພາບພະລັງງານ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການວາງທິດທາງຮາບພຽງຕົ້ນຕໍຂອງມັນຊ່ວຍໃນການສອດຄ່ອງທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການຜະລິດອຸປະກອນ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ N-type SiC substrates composite ປະກອບມີ

ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ: P-type SiC wafers ປະສິດທິຜົນ dissipate ຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ແຮງດັນໄຟຟ້າສູງ: ສາມາດທົນທານຕໍ່ແຮງດັນສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນເຄື່ອງໄຟຟ້າແລະອຸປະກອນໄຟຟ້າແຮງດັນສູງ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ: ຄວາມທົນທານດີເລີດໃນສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ, ເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive.
ການປ່ຽນພະລັງງານທີ່ມີປະສິດທິພາບ: ຝຸ່ນ P-type ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຈັດການພະລັງງານທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເຮັດໃຫ້ wafer ເຫມາະສົມກັບລະບົບການປ່ຽນພະລັງງານ.
ປະຖົມນິເທດ Flat ປະຖົມ: ຮັບປະກັນການຈັດລໍາດັບທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ, ປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນແລະຄວາມສອດຄ່ອງ.
ໂຄງສ້າງບາງ (350 μm): ຄວາມຫນາທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງ wafer ສະຫນັບສະຫນູນການເຊື່ອມໂຍງກັບອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຈໍາກັດພື້ນທີ່.

ໂດຍລວມແລ້ວ, P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, ສະຫນອງຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼາຍຢ່າງທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາແລະເອເລັກໂຕຣນິກ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະແຮງດັນການທໍາລາຍຂອງມັນເຮັດໃຫ້ການດໍາເນີນງານທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະແຮງດັນສູງ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຕ້ານທານກັບສະພາບທີ່ຮຸນແຮງຮັບປະກັນຄວາມທົນທານ. ຝຸ່ນ P-type ອະນຸຍາດໃຫ້ມີການປ່ຽນພະລັງງານທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບລະບົບໄຟຟ້າແລະພະລັງງານ. ນອກຈາກນັ້ນ, ທິດທາງຮາບພຽງຂອງ wafer ຮັບປະກັນການສອດຄ່ອງທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ, ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຜະລິດ. ມີຄວາມຫນາ 350 μm, ມັນເຫມາະສົມດີສໍາລັບການເຊື່ອມໂຍງກັບອຸປະກອນທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຫນາແຫນ້ນ.