ເຄື່ອງຂັດ Ion Beam ສຳລັບ sapphire SiC Si

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ເຄື່ອງຕັດແລະຂັດເງົາລຳແສງໄອອອນແມ່ນອີງໃສ່ຫຼັກການຂອງການສະເປຣດໄອອອນ. ພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດສູງ, ແຫຼ່ງໄອອອນຈະສ້າງພລາສມາ, ເຊິ່ງຖືກເລັ່ງໃຫ້ເປັນລຳແສງໄອອອນພະລັງງານສູງ. ລຳແສງນີ້ຍິງໃສ່ພື້ນຜິວຂອງອົງປະກອບທາງແສງ, ກຳຈັດວັດສະດຸໃນລະດັບອະຕອມເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການແກ້ໄຂແລະສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ແຜນວາດລະອຽດ

ພາບລວມຜະລິດຕະພັນຂອງເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ໃນຖານະເປັນຂະບວນການທີ່ບໍ່ຕິດຕໍ່, ການຂັດເງົາລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍກຳຈັດຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ ແລະ ຫຼີກລ່ຽງຄວາມເສຍຫາຍໃຕ້ພື້ນຜິວ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການຜະລິດອຸປະກອນທັດສະນະທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ໃຊ້ໃນດາລາສາດ, ການບິນອະວະກາດ, ເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການນຳໃຊ້ການຄົ້ນຄວ້າຂັ້ນສູງ.

ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ການສ້າງໄອອອນ
ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ (ເຊັ່ນ: ອາກອນ) ຖືກນຳເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ ແລະ ຖືກໄອອອນຜ່ານການປ່ອຍໄຟຟ້າເພື່ອສ້າງພລາສມາ.

ການເລັ່ງ ແລະ ການສ້າງລຳແສງ
ໄອອອນຕ່າງໆຖືກເລັ່ງໃຫ້ສູງເຖິງຫຼາຍຮ້ອຍ ຫຼື ພັນເອເລັກຕຣອນໂວນ (eV) ແລະ ຖືກສ້າງຮູບຮ່າງເປັນຈຸດລຳແສງທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ມີຈຸດສຸມ.

ການກຳຈັດວັດສະດຸ
ລຳແສງໄອອອນພົ່ນອະຕອມອອກຈາກໜ້າດິນໂດຍບໍ່ກໍ່ໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຍາເຄມີ.

ການກວດສອບຄວາມຜິດພາດ ແລະ ການວາງແຜນເສັ້ນທາງ
ຄວາມບ່ຽງເບນຂອງຮູບຮ່າງໜ້າດິນຖືກວັດແທກດ້ວຍ interferometry. ຟັງຊັນການກຳຈັດຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອກຳນົດເວລາການຢູ່ອາໄສ ແລະ ສ້າງເສັ້ນທາງເຄື່ອງມືທີ່ດີທີ່ສຸດ.

ການແກ້ໄຂວົງຈອນປິດ
ຮອບວຽນການປະມວນຜົນ ແລະ ການວັດແທກແບບຊ້ຳໆຈະສືບຕໍ່ຈົນກວ່າຈະບັນລຸເປົ້າໝາຍຄວາມແມ່ນຍຳ RMS/PV.

ລັກສະນະຫຼັກຂອງເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງພື້ນຜິວທົ່ວໄປ- ປະມວນຜົນພື້ນຜິວທີ່ຮາບພຽງ, ຮູບຊົງກົມ, ຮູບຊົງກົມ ແລະ ຮູບຊົງອິດສະຫຼະ

ອັດຕາການກຳຈັດທີ່ໝັ້ນຄົງທີ່ສຸດ- ເປີດໃຊ້ການແກ້ໄຂຕົວເລກ sub-nanometer

ການປະມວນຜົນທີ່ບໍ່ມີຄວາມເສຍຫາຍ- ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງໃຕ້ດິນ ຫຼື ການປ່ຽນແປງໂຄງສ້າງ

ປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງ- ເຮັດວຽກໄດ້ດີເທົ່າທຽມກັນກັບວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມແຂງແຕກຕ່າງກັນ

ການແກ້ໄຂຄວາມຖີ່ຕ່ຳ/ປານກາງ- ກຳຈັດຄວາມຜິດພາດໂດຍບໍ່ຕ້ອງສ້າງສິ່ງປະດິດຄວາມຖີ່ກາງ/ສູງ

ຄວາມຕ້ອງການການບຳລຸງຮັກສາຕໍ່າ- ໃຊ້ງານໄດ້ດົນນານ ແລະ ໃຊ້ເວລາຢຸດເຮັດວຽກໜ້ອຍທີ່ສຸດ

ລາຍລະອຽດທາງເທັກນິກຫຼັກຂອງເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ລາຍການ	ລາຍລະອຽດ
ວິທີການປະມວນຜົນ	ການສະເປຣດໄອອອນໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ
ປະເພດການປະມວນຜົນ	ການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການຂັດເງົາພື້ນຜິວແບບບໍ່ສຳຜັດ
ຂະໜາດສູງສຸດຂອງຊິ້ນວຽກ	Φ4000 ມມ
ແກນການເຄື່ອນໄຫວ	3 ແກນ / 5 ແກນ
ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການກຳຈັດ	≥95%
ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງພື້ນຜິວ	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS ທົ່ວໄປ < 1 nm; PV < 15 nm)
ຄວາມສາມາດໃນການແກ້ໄຂຄວາມຖີ່	ກຳຈັດຄວາມຜິດພາດຄວາມຖີ່ຕ່ຳ-ກາງໂດຍບໍ່ຕ້ອງເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດຄວາມຖີ່ກາງ/ສູງ
ການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ	3–5 ອາທິດໂດຍບໍ່ຕ້ອງມີການບຳລຸງຮັກສາດ້ວຍສູນຍາກາດ
ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາ	ຕ່ຳ

ຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງຂອງເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ປະເພດພື້ນຜິວທີ່ຮອງຮັບ

ງ່າຍດາຍ: ຮາບພຽງ, ຮູບຊົງກົມ, ປຣິຊຶມ

ສະລັບສັບຊ້ອນ: ຮູບຊົງກົມສົມມາດ/ບໍ່ສົມມາດ, ຮູບຊົງກົມນອກແກນ, ຮູບຊົງກະບອກ

ພິເສດ: ທັດສະນະທີ່ບາງຫຼາຍ, ທັດສະນະແບບ slat, ທັດສະນະແບບ hemispherical, ທັດສະນະ conformal, ແຜ່ນ phase, ພື້ນຜິວ freeform

ວັດສະດຸທີ່ຮອງຮັບ

ແກ້ວ Optical: Quartz, microcrystalline, K9, ແລະອື່ນໆ.

ວັດສະດຸອິນຟາເຣດ: ຊິລິໂຄນ, ເຈີມານຽມ, ແລະອື່ນໆ.

ໂລຫະ: ອາລູມິນຽມ, ເຫຼັກສະແຕນເລດ, ໂລຫະປະສົມ titanium, ແລະອື່ນໆ.

ໄປເຊຍກັນ: YAG, ຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ໄດອອກໄຊທ໌ດຽວ, ແລະອື່ນໆ.

ວັດສະດຸແຂງ/ແຕກງ່າຍ: ຊິລິໂຄນຄາໄບ, ແລະອື່ນໆ.

ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ / ຄວາມແມ່ນຍຳ

PV < 10 ນາໂນແມັດ

RMS ≤ 0.5 ນາໂນແມັດ

ການສຶກສາກໍລະນີການປະມວນຜົນຂອງເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ກໍລະນີທີ 1 - ກະຈົກຮາບພຽງມາດຕະຖານ

ຊິ້ນວຽກ: ຮາບພຽງ D630 ມມ quartz

ຜົນໄດ້ຮັບ: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

ກໍລະນີທີ 2 - ກະຈົກສະທ້ອນແສງເອັກຊະເລ

ຊິ້ນສ່ວນເຮັດວຽກ: ຊິລິໂຄນແບນ 150 × 30 ມມ

ຜົນໄດ້ຮັບ: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ຄວາມຊັນ 0.13 µrad

ກໍລະນີທີ 3 - ກະຈົກນອກແກນ

ຊິ້ນສ່ວນວຽກ: ກະຈົກພື້ນດິນນອກແກນ D326 ມມ

ຜົນໄດ້ຮັບ: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆກ່ຽວກັບແວ່ນຕາ Quartz

ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆ – ເຄື່ອງຂັດ Ion Beam

ຄຳຖາມທີ 1: ການຂັດເງົາດ້ວຍລຳແສງໄອອອນແມ່ນຫຍັງ?
ກ1:ການຂັດເງົາດ້ວຍລຳແສງໄອອອນແມ່ນຂະບວນການທີ່ບໍ່ຕິດຕໍ່ທີ່ໃຊ້ລຳແສງໄອອອນທີ່ໂຟກັສ (ເຊັ່ນ: ໄອອອນອາກອນ) ເພື່ອກຳຈັດວັດສະດຸອອກຈາກໜ້າຜິວຂອງຊິ້ນວຽກ. ໄອອອນຈະຖືກເລັ່ງ ແລະ ມຸ້ງໄປຫາໜ້າຜິວ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດການກຳຈັດວັດສະດຸໃນລະດັບອະຕອມ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສຳເລັດຮູບທີ່ລຽບນຽນເປັນພິເສດ. ຂະບວນການນີ້ຊ່ວຍກຳຈັດຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍໃຕ້ພື້ນຜິວ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບອົງປະກອບທາງແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

ຄຳຖາມທີ 2: ເຄື່ອງຂັດ Ion Beam ສາມາດປະມວນຜົນພື້ນຜິວປະເພດໃດແດ່?
A2:ເທເຄື່ອງຂັດ Ion Beamສາມາດປະມວນຜົນພື້ນຜິວໄດ້ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງອົງປະກອບທາງແສງງ່າຍໆເຊັ່ນຮາບພຽງ, ຊົງກົມ, ແລະ ປຣິຊຶມເຊັ່ນດຽວກັນກັບຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນເຊັ່ນຮູບຊົງກົມ, ຮູບຊົງກົມນອກແກນ, ແລະພື້ນຜິວທີ່ມີຮູບຮ່າງເສລີມັນມີປະສິດທິພາບໂດຍສະເພາະກັບວັດສະດຸເຊັ່ນ: ແກ້ວນຳແສງ, ແວ່ນຕາອິນຟາເຣດ, ໂລຫະ ແລະ ວັດສະດຸແຂງ/ແຕກງ່າຍ.

ຄຳຖາມທີ 3: ເຄື່ອງຂັດ Ion Beam ສາມາດໃຊ້ກັບວັດສະດຸຫຍັງແດ່?
A3:ເທເຄື່ອງຂັດ Ion Beamສາມາດຂັດເງົາວັດສະດຸຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງ:

ແກ້ວແສງ: Quartz, microcrystalline, K9, ແລະອື່ນໆ
ວັດສະດຸອິນຟາເຣດຊິລິໂຄນ, ເຈີມານຽມ, ແລະອື່ນໆ.
ໂລຫະ: ອາລູມິນຽມ, ເຫຼັກສະແຕນເລດ, ໂລຫະປະສົມໄທທານຽມ, ແລະອື່ນໆ.
ວັດສະດຸຄຣິສຕັນYAG, ຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ດຜລຶກດ່ຽວ, ແລະອື່ນໆ.
ວັດສະດຸແຂງ/ແຕກງ່າຍອື່ນໆຊິລິໂຄນຄາໄບ, ແລະອື່ນໆ.

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາ, ການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍແກ້ວແສງພິເສດ ແລະ ວັດສະດຸຜລຶກໃໝ່ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແສງ, ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ ແລະ ກອງທັບ. ພວກເຮົາສະເໜີອຸປະກອນແສງ Sapphire, ຝາປິດເລນໂທລະສັບມືຖື, ເຊລາມິກ, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ ແຜ່ນແພຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານ ແລະ ອຸປະກອນທີ່ທັນສະໄໝ, ພວກເຮົາມີຄວາມເກັ່ງກ້າໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ໂດຍມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic ຊັ້ນນຳ.