ເລນ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ Cubic 4H-semi 6SP ຂະໜາດປັບແຕ່ງໄດ້

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ເລນ SiC (ເລນແສງຊິລິຄອນຄາໄບ) ແມ່ນອົງປະກອບແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ຜະລິດຈາກຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiC), ເຊິ່ງສະເໜີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີທີ່ດີເລີດ ແລະ ປະສິດທິພາບທາງແສງ. ມີລັກສະນະການນຳຄວາມຮ້ອນສູງພິເສດ (490 W/m·K), ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ (4.0 × 10⁻⁶/K), ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເລນ SiC ໄດ້ກາຍເປັນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບລະບົບແສງທີ່ເຮັດວຽກຢູ່ໃນສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ. ເລນເຫຼົ່ານີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງປະສິດທິພາບການສົ່ງຜ່ານທີ່ດີເລີດ (ການສົ່ງຜ່ານທີ່ບໍ່ໄດ້ເຄືອບ >70%) ຜ່ານຄື້ນແສງ ultraviolet ຫາອິນຟາເຣດໄກ (0.2-6 μm), ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເໝາະສົມໂດຍສະເພາະສຳລັບລະບົບເລເຊີພະລັງງານສູງ, ທັດສະນະອະວະກາດ, ແລະ ການຖ່າຍພາບທາງແສງໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸດສາຫະກຳທີ່ຮຸນແຮງ.

ຂະບວນການຜະລິດເລນ SiC ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຂັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ການຂັດເງົາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແລະ ການເຄືອບພິເສດເພື່ອໃຫ້ໄດ້ພື້ນຜິວທາງແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາໃນລະດັບນາໂນ (ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ <1 nm). ຮູບຮ່າງທີ່ກໍານົດເອງລວມທັງພື້ນຜິວ aspheric ແລະ freeform ສາມາດຜະລິດໄດ້ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານການອອກແບບຂອງລະບົບທາງແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ລັກສະນະຂອງເລນ SiC Optical

1. ຄວາມເໜືອກວ່າດ້ານວັດສະດຸ

ການປັບຕົວເຂົ້າກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ: ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ >1500°C, ການກັດກ່ອນຂອງກົດ/ດ່າງທີ່ຮຸນແຮງ, ແລະ ລັງສີພະລັງງານສູງ, ເໝາະສຳລັບຍານອະວະກາດ ແລະ ສະຖານທີ່ນິວເຄຼຍ.

ຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ: ຄວາມແຂງເກືອບເທົ່າກັບເພັດ (Mohs 9.5), ຄວາມແຂງແຮງໃນການດັດ >400 MPa, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານແຮງກະແທກທີ່ສູງກວ່າແກ້ວອໍບຕິກທຳມະດາຫຼາຍ.

ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ: ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງກວ່າຊິລິກາທີ່ປະສົມຄວາມຮ້ອນ 100 ເທົ່າ, ໂດຍມີ CTE ພຽງແຕ່ 1/10 ຂອງແກ້ວທຳມະດາ, ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ວ່ອງໄວ.

2. ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງ

ການສົ່ງຜ່ານສະເປກຕຣຳກວ້າງ (0.2-6 μm); ການເຄືອບພິເສດສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບການສົ່ງຜ່ານໃຫ້ເຖິງ >95% ໃນແຖບສະເພາະ (ເຊັ່ນ, 3-5 μm ກາງອິນຟາເຣດ).

ການສູນເສຍການກະແຈກກະຈາຍຕໍ່າ (<0.5%/ຊມ), ການສຳເລັດຮູບໜ້າຜິວສູງເຖິງມາດຕະຖານການຂູດຂີດ 10/5, ແລະ ຄວາມຮາບພຽງຂອງໜ້າຜິວ λ/10@633 nm.

ຂອບເຂດຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກເລເຊີສູງ (LIDT) >15 J/cm² (1064 nm, ກຳມະຈອນ 10 ns), ເໝາະສົມສຳລັບລະບົບໂຟກັສເລເຊີພະລັງງານສູງ.

3. ຄວາມສາມາດໃນການເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ຮອງຮັບພື້ນຜິວທີ່ສັບສົນ (ຮູບຊົງກົມ, ຮູບຊົງອິດສະຫຼະ) ດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຮູບແບບ <100 nm PV ແລະ ຈຸດສູນກາງ <1 arcmin.

ມີຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດເລນ SiC ຂະໜາດໃຫຍ່ (ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ >500 ມມ) ສຳລັບກ້ອງສ່ອງທາງໄກດາລາສາດ ແລະ ກ້ອງສ່ອງທາງໄກອະວະກາດ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍຂອງເລນ Optical SiC

1. ທັດສະນະອະວະກາດ ແລະ ການປ້ອງກັນ

ເລນສຳຫຼວດໄລຍະໄກດາວທຽມ ແລະ ກ້ອງສ່ອງທາງໄກອະວະກາດ, ໂດຍນຳໃຊ້ຄຸນສົມບັດນ້ຳໜັກເບົາຂອງ SiC (ຄວາມໜາແໜ້ນ 3.21 g/cm³) ແລະ ຄວາມຕ້ານທານລັງສີ.

ປ່ອງຢ້ຽມແສງສຳລັບຄົ້ນຫາຂີປະນາວຸດ, ເຊິ່ງທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນແບບແອໂຣໄດນາມິກ (>1000°C) ໃນລະຫວ່າງການບິນທີ່ມີຄວາມໄວສູງກວ່າສຽງ.

2. ລະບົບເລເຊີພະລັງງານສູງ

ເລນໂຟກັສສຳລັບອຸປະກອນຕັດ/ເຊື່ອມເລເຊີອຸດສາຫະກຳ, ເຊິ່ງຮັກສາການສຳຜັດກັບເລເຊີຕໍ່ເນື່ອງລະດັບ kW ເປັນເວລາດົນນານ.

ອົງປະກອບການສ້າງຮູບຮ່າງລຳແສງໃນລະບົບການລວມຕົວແບບ inertial confinement (ICF), ຮັບປະກັນການສົ່ງຜ່ານເລເຊີພະລັງງານສູງທີ່ຊັດເຈນ.

3. ການຜະລິດແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ

ຊັ້ນຮອງກະຈົກ SiC ສຳລັບແສງພິມ EUV, ທີ່ມີການຜິດຮູບຄວາມຮ້ອນ <1 nm ພາຍໃຕ້ກະແສຄວາມຮ້ອນ 10 kW/m².

ເລນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສຳລັບເຄື່ອງມືກວດກາລຳແສງອີເລັກໂຕຣນິກ, ໂດຍນຳໃຊ້ຄວາມນຳໄຟຟ້າຂອງ SiC ສຳລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງຫ້າວຫັນ.

4. ການກວດກາອຸດສາຫະກຳ ແລະ ພະລັງງານ

ເລນສ່ອງກ້ອງສຳລັບເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ໃຊ້ງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ 1500°C).

ອົງປະກອບແສງອິນຟາເຣດສຳລັບເຄື່ອງມືບັນທຶກນ້ຳມັນ, ຕ້ານທານກັບແຮງກົດດັນໃນຂຸມເຈາະ (>100 MPa) ແລະ ສານທີ່ກັດກ່ອນ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານການແຂ່ງຂັນຫຼັກ

1. ການນຳພາດ້ານປະສິດທິພາບທີ່ສົມບູນແບບ
ເລນ SiC ດີກວ່າວັດສະດຸທາງແສງແບບດັ້ງເດີມ (ຊິລິກາປະສົມ, ZnSe) ໃນດ້ານຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ/ກົນຈັກ/ເຄມີ, ດ້ວຍຄຸນສົມບັດ "ຄວາມນຳໄຟຟ້າສູງ + ການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ຳ" ຂອງມັນແກ້ໄຂບັນຫາການຜິດຮູບຄວາມຮ້ອນໃນເລນຂະໜາດໃຫຍ່.

2. ປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕະຫຼອດວົງຈອນຊີວິດ
ໃນຂະນະທີ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນເບື້ອງຕົ້ນສູງກວ່າ, ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານຂອງເລນ SiC (ແກ້ວທຳມະດາ 5-10 ເທົ່າ) ແລະ ການດຳເນີນງານທີ່ບໍ່ຕ້ອງບຳລຸງຮັກສາຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການເປັນເຈົ້າຂອງທັງໝົດ (TCO) ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

3. ອິດສະລະພາບໃນການອອກແບບ
ຂະບວນການທີ່ຜູກມັດດ້ວຍປະຕິກິລິຍາ ຫຼື CVD ຊ່ວຍໃຫ້ໂຄງສ້າງແສງ SiC ທີ່ມີນ້ຳໜັກເບົາ (ແກນຮັງເຜິ້ງ), ບັນລຸອັດຕາສ່ວນຄວາມແຂງກະດ້າງຕໍ່ນ້ຳໜັກທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ.

ຄວາມສາມາດໃນການບໍລິການ XKH

1. ການບໍລິການຜະລິດຕາມຄວາມຕ້ອງການ

ວິທີແກ້ໄຂແບບຄົບວົງຈອນຕັ້ງແຕ່ການອອກແບບທາງ optical (ການຈຳລອງ Zemax/Code V) ຈົນເຖິງການສົ່ງມອບສຸດທ້າຍ, ຮອງຮັບພື້ນຜິວຮູບຊົງ parabolic ແບບອິດສະຫຼະ aspheric/off-axis.

ການເຄືອບພິເສດ: ຕ້ານການສະທ້ອນ (AR), ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ (LIDT>50 J/cm²), ITO ທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້, ແລະອື່ນໆ.

2. ລະບົບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ

ອຸປະກອນວັດແທກ ລວມທັງອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີ 4D ແລະ ຕົວສ້າງໂປຣໄຟລ໌ແສງສີຂາວ ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍຳຂອງພື້ນຜິວ λ/20.

QC ລະດັບວັດສະດຸ: ການວິເຄາະທິດທາງຜລຶກແກ້ວ XRD ສຳລັບທຸກໆ SiC ທີ່ບໍ່ມີສ່ວນປະກອບ.

3. ການບໍລິການທີ່ມີມູນຄ່າເພີ່ມ

ການວິເຄາະການເຊື່ອມຕໍ່ທາງຄວາມຮ້ອນ-ໂຄງສ້າງ (ການຈຳລອງ ANSYS) ສຳລັບການຄາດຄະເນປະສິດທິພາບ.

ການອອກແບບໂຄງສ້າງການຕິດຕັ້ງເລນ SiC ປະສົມປະສານໃຫ້ເໝາະສົມ.

ສະຫຼຸບ

ເລນ SiC ກຳລັງກຳນົດຂອບເຂດປະສິດທິພາບຂອງລະບົບ optical ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງຄືນໃໝ່ຜ່ານຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ. ຄວາມສາມາດປະສົມປະສານແນວຕັ້ງຂອງພວກເຮົາໃນການສັງເຄາະວັດສະດຸ SiC, ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ແລະ ການທົດສອບສະໜອງວິທີແກ້ໄຂທາງດ້ານ optical ທີ່ປະຕິວັດສຳລັບການບິນອະວະກາດ ແລະ ຂະແໜງການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າ. ດ້ວຍຄວາມກ້າວໜ້າໃນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ SiC, ການພັດທະນາໃນອະນາຄົດຈະສຸມໃສ່ຮູຮັບແສງທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ (>1 ແມັດ) ແລະ ຮູບຮ່າງພື້ນຜິວທີ່ສັບສົນຫຼາຍຂຶ້ນ (ແຖວຮູບແບບອິດສະຫຼະ).

ໃນຖານະຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ optical ທີ່ກ້າວໜ້າຊັ້ນນໍາ, XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ລວມທັງ sapphire, silicon carbide (SiC), ແລະ silicon wafers, ໂດຍສະເໜີວິທີແກ້ໄຂແບບຄົບວົງຈອນຕັ້ງແຕ່ການປຸງແຕ່ງວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງພວກເຮົາກວມເອົາ:

1. ການຜະລິດຕາມໃຈລູກຄ້າ: ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ (ຮູບຊົງກົມ, ຮູບຊົງອິດສະຫຼະ) ດ້ວຍຄວາມທົນທານເຖິງ ±0.001 ມມ

2. ຄວາມຄ່ອງແຄ້ວຂອງວັດສະດຸ: ການປະມວນຜົນ sapphire (ປ່ອງຢ້ຽມ UV-IR), SiC (optics ພະລັງງານສູງ), ແລະ silicon (IR/micro-optics)

3. ການບໍລິການທີ່ມີມູນຄ່າເພີ່ມ:

ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນ/ທົນທານ (UV-FIR)

ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ໄດ້ຮັບການສະໜັບສະໜູນຈາກການວັດແທກ (λ/20 ຄວາມຮາບພຽງ)

ການປະກອບຫ້ອງສະອາດສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປົນເປື້ອນ

ພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການແກ່ອຸດສາຫະກຳການບິນອະວະກາດ, ເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ເລເຊີ, ພວກເຮົາລວມເອົາຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານວິທະຍາສາດວັດສະດຸເຂົ້າກັບການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອສະໜອງອຸປະກອນທາງສາຍຕາທີ່ທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ ໃນຂະນະທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບດ້ານສາຍຕາ.