Alumina Ceramic End Effector ປະສິດທິພາບສູງ (Fork Arm) ສໍາລັບ Semiconductor ແລະ Cleanroom Automation

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

Alumina Ceramic End Effector, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າແຂນສ້ອມເຊລາມິກຫຼືມືເຊລາມິກຫຸ່ນຍົນ, ແມ່ນອົງປະກອບການຈັດການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດໃນ semiconductor, photovoltaic, ການສະແດງກະດານ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທົດລອງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ມັນໄດ້ຖືກວິສະວະກໍາເພື່ອສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມເຄັ່ງຄັດຂອງກົນຈັກ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ສະຫນອງການຂົນສົ່ງທີ່ສະອາດ, ເຊື່ອຖືໄດ້, ແລະປອດໄພຂອງວັດສະດຸທີ່ລະອຽດອ່ອນເຊັ່ນ: wafers ຊິລິໂຄນ, substrates ແກ້ວ, ແລະອົງປະກອບຈຸນລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ແຜນວາດລາຍລະອຽດ

ແນະນຳຜະລິດຕະພັນ

ໃນຖານະເປັນປະເພດຂອງ end effector ຫຸ່ນຍົນ, ອົງປະກອບ ceramic ນີ້ແມ່ນການໂຕ້ຕອບສຸດທ້າຍລະຫວ່າງລະບົບອັດຕະໂນມັດແລະ workpiece ໄດ້. ມັນມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການໂອນຄວາມແມ່ນຍໍາ, ການສອດຄ່ອງ, ການໂຫຼດ / ການໂຫຼດ, ແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງໃນຫ້ອງສະອາດແລະສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ.

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-G13

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-G10

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-G07

ພາບລວມວັດສະດຸ – Alumina Ceramic (Al₂O₃)

Alumina ceramic ເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກດ້ານວິຊາການທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງແລະ inert ທາງເຄມີທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດກົນຈັກແລະໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ. ອະລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (≥ 99.5%) ທີ່ໃຊ້ໃນຕົວກະຕຸ້ນສຸດທ້າຍເຫຼົ່ານີ້ຮັບປະກັນ:

ຄວາມແຂງສູງ (Mohs 9): ອັນທີສອງພຽງແຕ່ເພັດ, alumina ສະຫນອງຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ສຸດ.
ຄວາມສາມາດໃນອຸນຫະພູມສູງ: ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງສູງກວ່າ 1600°C.
ຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີ: ທົນທານຕໍ່ອາຊິດ, ເປັນດ່າງ, ສານລະລາຍ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມການກັດເຊາະ plasma.
ການສນວນໄຟຟ້າ: ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງ dielectric ສູງແລະການສູນເສຍ dielectric ຕ່ໍາ.
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ: ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບໃນສະພາບແວດລ້ອມຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນ.
ການຜະລິດອະນຸພາກຕ່ໍາ: ມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງສະອາດ (ຫ້ອງຮຽນ 10 ຫາຫ້ອງຮຽນ 1000).

ລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ອາລູມິນຽມເຊລາມິກເຫມາະສົມສໍາລັບການປະຕິບັດພາລະກິດທີ່ສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ລະອຽດອ່ອນຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ເປັນປະໂຫຍດ

Alumina ceramic end effector ໄດ້ຖືກຮັບຮອງເອົາຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການອຸດສາຫະກໍາເຕັກໂນໂລຢີສູງ, ໂດຍສະເພາະບ່ອນທີ່ວັດສະດຸໂລຫະຫຼືພາດສະຕິກແບບດັ້ງເດີມຫຼຸດລົງຍ້ອນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ການປົນເປື້ອນ, ຫຼືບັນຫາການກັດກ່ອນ. ພາກສະຫນາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນປະກອບມີ:

ການໂອນ wafer semiconductor
ລະບົບການໂຫຼດແລະການໂຫຼດ Photolithography
ການຈັດການຊັ້ນໃຕ້ດິນແກ້ວໃນສາຍ OLED ແລະ LCD
ການໂອນ wafer crystalline silicon ໃນການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ
ການກວດກາແບບອັດຕະໂນມັດ ຫຼື ໄມໂຄຣເອເລັກໂທຣນິກ
ການຂົນສົ່ງຕົວຢ່າງໃນຫ້ອງທົດລອງການວິເຄາະຫຼືຊີວະການແພດ
ລະບົບອັດຕະໂນມັດສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ

ຄວາມສາມາດຂອງຕົນໃນການປະຕິບັດໂດຍບໍ່ມີການແນະນໍາ particles ຫຼື static charge ເຮັດໃຫ້ມັນຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການດໍາເນີນງານຫຸ່ນຍົນທີ່ຊັດເຈນໃນ cleanroom ອັດຕະໂນມັດ.

ຄຸນນະສົມບັດການອອກແບບ & ການປັບແຕ່ງ

ແຕ່ລະເຄື່ອງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສິ້ນສຸດແມ່ນໄດ້ຮັບການຜະລິດໃຫ້ເຫມາະກັບແຂນຫຸ່ນຍົນສະເພາະໃດຫນຶ່ງຫຼືລະບົບການຈັດການ wafer. ພວກເຮົາສະຫນັບສະຫນູນການປັບແຕ່ງຢ່າງເຕັມທີ່ໂດຍອີງໃສ່:

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຂະຫນາດ Wafer: 2", 4", 6", 8", 12" ແລະອື່ນໆອີກ
ສະລັອດຕິງເລຂາຄະນິດ ແລະໄລຍະຫ່າງ: ຮອງຮັບການຈັບຂອບ, ສະຫນັບສະຫນູນດ້ານຫລັງ, ຫຼືການອອກແບບ wafer notched
ພອດດູດ: ຂຸມສູນຍາກາດປະສົມປະສານຫຼືຊ່ອງທາງສໍາລັບການຈັດການທີ່ບໍ່ມີການຕິດຕໍ່
ການຕັ້ງຄ່າການຕິດຕັ້ງ: ຮູ, ກະທູ້, ສະລັອດຕິງທີ່ເຫມາະສົມກັບ flange ເຄື່ອງມືທ້າຍຫຸ່ນຍົນຂອງທ່ານ
ການປິ່ນປົວດ້ານ: ຂັດ, ທາ, ຫຼື ພື້ນດິນລະອຽດ (Ra < 0.2 µm ສາມາດໃຊ້ໄດ້)
ການປົກປ້ອງຂອບ: ມຸມມົນຫຼື chamfering ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເສຍຫາຍ wafer

ໂດຍການນໍາໃຊ້ຮູບແຕ້ມ CAD ຫຼືແບບ 3D ທີ່ສະຫນອງໃຫ້ໂດຍລູກຄ້າ, ວິສະວະກອນຂອງພວກເຮົາສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງສ້ອມແຕ່ລະຄົນສໍາລັບນ້ໍາຫນັກ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ແລະຄວາມສະອາດ.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ Ceramic End Effectors

ຄຸນສົມບັດ	ຜົນປະໂຫຍດ
ຄວາມແຂງແກ່ນກົນຈັກສູງ	ຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງມິຕິລະດັບພາຍໃຕ້ກໍາລັງການໂຫຼດຫຸ່ນຍົນ
ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ	ປະຕິບັດຢ່າງຫນ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຫຼື plasma
ສູນການປົນເປື້ອນໂລຫະ	ບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ ion ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ທີ່ສໍາຄັນ
ພື້ນຜິວ friction ຕ່ໍາ	ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການເກີດຮອຍຂີດຂ່ວນເທິງແຜ່ນຮອງພື້ນ wafer ຫຼືແກ້ວ
ຕ້ານການຄົງທີ່ແລະບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ	ບໍ່ດຶງດູດຂີ້ຝຸ່ນຫຼືຜົນກະທົບຕໍ່ອົງປະກອບທີ່ອ່ອນໄຫວກັບແມ່ເຫຼັກ
ຊີວິດການບໍລິການຍາວ	ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ດີກວ່າໃນຮອບວຽນອັດຕະໂນມັດຄວາມໄວສູງທີ່ຊໍ້າຊ້ອນ
ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ສູງສຸດສະອາດ	ເໝາະສຳລັບຫ້ອງອະນາໄມ ISO 14644 (ຊັ້ນ 100 ແລະຕ່ຳກວ່າ)

ເມື່ອປຽບທຽບກັບແຂນພາດສະຕິກຫຼືອາລູມິນຽມ, alumina ceramic ໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງດ້ານເຄມີແລະທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ມີການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາຫນ້ອຍ.

ຊັບສິນ	ແຂນໂລຫະ	ແຂນສຕິກ	ແຂນ Alumina Ceramic
ຄວາມແຂງ	ປານກາງ	ຕໍ່າ	ສູງຫຼາຍ (Mohs 9)
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ	ປານກາງ	ທຸກຍາກ	ທີ່ດີເລີດ
ຄວາມເໝາະສົມຂອງຫ້ອງສະອາດ	ຂະຫນາດກາງ	ຕໍ່າ	ສູງຫຼາຍ
ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່	ຂະຫນາດກາງ	ຕໍ່າ	ໂດດເດັ່ນ
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Dielectric	ຕໍ່າ	ຂະຫນາດກາງ	ສູງ
Custom Machining Precision	ຈຳກັດ	ປານກາງ	ສູງ (± 0.01mm ເປັນໄປໄດ້)

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ

ພາລາມິເຕີ	ມູນຄ່າ
ວັດສະດຸ	ອະລູມີນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (≥ 99.5%)
ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກ	ສູງເຖິງ 1600 ອົງສາ
ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ	Ra ≤ 0.2 µm (ທາງເລືອກ)
ຂະຫນາດ Wafer ເຂົ້າກັນໄດ້	2" ຫາ 12" ຫຼື custom
Flatness ຄວາມທົນທານ	± 0.01 ມມ (ຂຶ້ນກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ)
ຮອງຮັບການດູດດູດສູນຍາກາດ	ທາງເລືອກ, ຊ່ອງທາງທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້
ຕົວເລືອກການຕິດຕັ້ງ	Bolt-through, flange, slotted ຮູ

ຄຳຖາມທີ່ຖາມເລື້ອຍໆ (FAQ)

Q1: end effector ສາມາດປະສົມປະສານເຂົ້າໃນລະບົບຫຸ່ນຍົນທີ່ມີຢູ່ແລ້ວບໍ?
A1:ແມ່ນແລ້ວ. ພວກເຮົາສະຫນັບສະຫນູນການປັບແຕ່ງໂດຍອີງໃສ່ການໂຕ້ຕອບຫຸ່ນຍົນຂອງທ່ານ. ທ່ານສາມາດສົ່ງຮູບແຕ້ມ CAD ຫຼື flange ໃຫ້ພວກເຮົາສໍາລັບການປັບຕົວທີ່ຊັດເຈນ.

Q2: ແຂນເຊລາມິກຈະແຕກໄດ້ງ່າຍໃນລະຫວ່າງການໃຊ້ບໍ?
A2:ໃນຂະນະທີ່ເຊລາມິກແມ່ນ brittle ໂດຍທໍາມະຊາດ, ການອອກແບບຂອງພວກເຮົາໃຊ້ເລຂາຄະນິດທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຄວາມກົດດັນ. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການນໍາໃຊ້ທີ່ເຫມາະສົມ, ພວກມັນໃຫ້ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານກວ່າໂລຫະຫຼືພາດສະຕິກ.

Q3: ມັນເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະໃຊ້ນີ້ຢູ່ໃນສູນຍາກາດທີ່ສູງຫຼືຫ້ອງ plasma etching?
A3:ແມ່ນແລ້ວ. ອະລູມິນຽມເຊລາມິກແມ່ນບໍ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດ, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນ, ແລະທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ - ເຫມາະຢ່າງສົມບູນສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສູນຍາກາດສູງ, ອາຍແກັສ reactive, ຫຼື plasma.

Q4: ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ຖືກອະນາໄມຫຼືຮັກສາແນວໃດ?
A4:ພວກເຂົາສາມາດເຮັດຄວາມສະອາດໄດ້ໂດຍໃຊ້ນໍ້າ DI, ເຫຼົ້າ, ຫຼືຢາຊັກຜ້າທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດ. ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງມີການບໍາລຸງຮັກສາພິເສດເນື່ອງຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີແລະຫນ້າດິນ inert.

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

XKH ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີສູງ, ການຜະລິດ, ແລະການຂາຍແກ້ວ optical ພິເສດແລະວັດສະດຸຜລຶກໃຫມ່. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ optical, ເອເລັກໂຕຣນິກບໍລິໂພກ, ແລະທະຫານ. ພວກເຮົາສະເຫນີອົງປະກອບ optical Sapphire, ການປົກຫຸ້ມຂອງທັດສະນະໂທລະສັບມືຖື, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ແລະ semiconductor crystal wafers. ດ້ວຍຄວາມຊໍານານທີ່ຊໍານິຊໍານານແລະອຸປະກອນທີ່ທັນສະ ໄໝ, ພວກເຮົາດີເລີດໃນການປຸງແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ມີຈຸດປະສົງເພື່ອເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີສູງດ້ານວັດສະດຸ optoelectronic.