AlN-on-NPSS Wafer: ຊັ້ນອະລູມິນຽມ Nitride ປະສິດທິພາບສູງຢູ່ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ Sapphire ທີ່ບໍ່ຂັດສີສໍາລັບການນໍາໃຊ້ອຸນຫະພູມສູງ, ພະລັງງານສູງ, ແລະ RF
ຄຸນສົມບັດ
ຊັ້ນ AlN ປະສິດທິພາບສູງ: ອະລູມິນຽມ Nitride (AlN) ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບມັນການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ(~200 W/m·K),bandgap ກວ້າງ, ແລະແຮງດັນການທໍາລາຍສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບພະລັງງານສູງ, ຄວາມຖີ່ສູງ, ແລະອຸນຫະພູມສູງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.
ແຜ່ນຮອງ Sapphire ທີ່ບໍ່ຂັດສີ (NPSS): ໄພ່ພົນທີ່ບໍ່ແມ່ນຂັດສະຫນອງໃຫ້ aຄຸ້ມຄ່າ, ແຂງແຮງກົນຈັກພື້ນຖານ, ຮັບປະກັນພື້ນຖານທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ໂດຍບໍ່ມີຄວາມສັບສົນຂອງການຂັດຫນ້າດິນ. ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດຂອງ NPSS ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ້າທາຍ.
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງ: The AlN-on-NPSS wafer ສາມາດທົນຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນ.ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, ລະບົບຍານຍົນ, ໄຟ LED, ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ opticalທີ່ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບອຸນຫະພູມສູງ.
ສນວນໄຟຟ້າ: AlN ມີຄຸນສົມບັດ insulating ໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ການແຍກໄຟຟ້າແມ່ນສໍາຄັນ, ລວມທັງອຸປະກອນ RFແລະໄມໂຄເວຟເອເລັກໂຕຣນິກ.
ການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ຊັ້ນ AlN ຮັບປະກັນການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາປະສິດທິພາບແລະຄວາມທົນທານຂອງອຸປະກອນທີ່ເຮັດວຽກພາຍໃຕ້ພະລັງງານແລະຄວາມຖີ່ສູງ.
ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການ
| ພາລາມິເຕີ | ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ |
| Wafer ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 2 ນິ້ວ, 4 ນິ້ວ (ຂະຫນາດທີ່ກໍານົດໄວ້) |
| ປະເພດຍ່ອຍ | ແຜ່ນຮອງ Sapphire ທີ່ບໍ່ຂັດສີ (NPSS) |
| ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ AlN | 2µm ຫາ 10µm (ປັບແຕ່ງໄດ້) |
| ຄວາມຫນາຂອງ substrate | 430µm ± 25µm (ສໍາລັບ 2 ນິ້ວ), 500µm ± 25µm (ສໍາລັບ 4 ນິ້ວ) |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 200 W/m·K |
| ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ | insulation ສູງ, ເຫມາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ RF |
| ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ | Ra ≤ 0.5µm (ສຳລັບຊັ້ນ AlN) |
| ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ | ຄວາມບໍລິສຸດສູງ AlN (99.9%) |
| ສີ | ສີຂາວ/ນອກ-ສີຂາວ (ຊັ້ນ AlN ທີ່ມີຊັ້ນຮອງ NPSS ສີອ່ອນ) |
| Wafer Warp | <30µm (ປົກກະຕິ) |
| ປະເພດຝຸ່ນ | Un-doped (ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້) |
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
ໄດ້AlN-on-NPSS waferໄດ້ຖືກອອກແບບສໍາລັບຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນທົ່ວອຸດສາຫະກໍາຈໍານວນຫນຶ່ງ:
ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານສູງ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງຊັ້ນ AlN ແລະຄຸນສົມບັດ insulating ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການtransistors ພະລັງງານ, rectifiers, ແລະICs ພະລັງງານໃຊ້ໃນລົດຍົນ, ອຸດສາຫະກໍາ, ແລະພະລັງງານທົດແທນລະບົບ.
ອົງປະກອບວິທະຍຸ-ຄວາມຖີ່ (RF).: ຄຸນສົມບັດ insulating ໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດຂອງ AlN, ບວກໃສ່ກັບການສູນເສຍຕ່ໍາຂອງຕົນ, ເຮັດໃຫ້ການຜະລິດຂອງRF transistors, HEMTs (High-Electron-Mobility Transistors), ແລະອື່ນໆອົງປະກອບຂອງໄມໂຄເວຟທີ່ເຮັດວຽກຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃນລະດັບຄວາມຖີ່ສູງ ແລະລະດັບພະລັງງານ.
ອຸປະກອນ Optical: AlN-on-NPSS wafers ຖືກນໍາໃຊ້ໃນໄດໂອດເລເຊີ, ໄຟ LED, ແລະເຄື່ອງກວດຈັບພາບ, ບ່ອນທີ່ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມທົນທານຂອງກົນຈັກເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາປະສິດທິພາບໃນໄລຍະການຂະຫຍາຍ.
ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມສູງ: ຄວາມສາມາດຂອງ wafer ເພື່ອທົນຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບເຊັນເຊີອຸນຫະພູມແລະການຕິດຕາມກວດກາສິ່ງແວດລ້ອມໃນອຸດສາຫະກໍາເຊັ່ນຍານອາວະກາດ, ລົດຍົນ, ແລະນ້ຳມັນ ແລະແກັສ.
ການຫຸ້ມຫໍ່ semiconductor: ໃຊ້ໃນ ເຄື່ອງແຜ່ຄວາມຮ້ອນແລະຊັ້ນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນໃນລະບົບການຫຸ້ມຫໍ່, ຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະປະສິດທິພາບຂອງ semiconductors.
ຖາມ-ຕອບ
Q: ປະໂຫຍດຕົ້ນຕໍຂອງ wafers AlN-on-NPSS ຫຼາຍກວ່າວັດສະດຸພື້ນເມືອງເຊັ່ນຊິລິໂຄນແມ່ນຫຍັງ?
A: ປະໂຫຍດຕົ້ນຕໍແມ່ນ AlN'sການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ທີ່ອະນຸຍາດໃຫ້ມັນປະສິດທິພາບ dissipate ຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການພະລັງງານສູງແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຄວາມຖີ່ສູງບ່ອນທີ່ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນແມ່ນສໍາຄັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, AlN ມີbandgap ກວ້າງແລະດີເລີດinsulation ໄຟຟ້າ, ເຮັດໃຫ້ມັນດີກວ່າສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນRFແລະອຸປະກອນໄມໂຄເວຟເມື່ອປຽບທຽບກັບຊິລິໂຄນແບບດັ້ງເດີມ.
ຖາມ: ຊັ້ນ AlN ໃນ NPSS wafers ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ບໍ?
A: ແມ່ນແລ້ວ, ຊັ້ນ AlN ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ໃນແງ່ຂອງຄວາມຫນາ (ຕັ້ງແຕ່ 2µm ຫາ 10µm ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ) ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທ່ານ. ພວກເຮົາຍັງສະເຫນີການປັບແຕ່ງໃນຂໍ້ກໍານົດຂອງປະເພດ doping (N-type ຫຼື P-type) ແລະຊັ້ນເພີ່ມເຕີມສໍາລັບຫນ້າທີ່ພິເສດ.
ຖາມ: ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກປົກກະຕິສໍາລັບ wafer ນີ້ໃນອຸດສາຫະກໍາລົດຍົນແມ່ນຫຍັງ?
A: ໃນອຸດສາຫະກໍາລົດຍົນ, AlN-on-NPSS wafers ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, ລະບົບໄຟ LED, ແລະເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ. ພວກເຂົາເຈົ້າສະຫນອງການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະ insulation ໄຟຟ້າ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບລະບົບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ເຮັດວຽກພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ແຜນວາດລາຍລະອຽດ
