ແຜ່ນເວເຟີ SiC ຊັ້ນຜະລິດ 8 ນິ້ວ 4H-N SiC substrate
ຕາຕະລາງຕໍ່ໄປນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນລາຍລະອຽດສະເພາະຂອງແຜ່ນ SiC ຂະໜາດ 8 ນິ້ວຂອງພວກເຮົາ:
| ລາຍລະອຽດ DSP SiC ປະເພດ N ຂະໜາດ 8 ນິ້ວ | |||||
| ຕົວເລກ | ລາຍການ | ໜ່ວຍ | ການຜະລິດ | ການຄົ້ນຄວ້າ | ຫຸ່ນ |
| 1: ພາລາມິເຕີ | |||||
| 1.1 | ໂພລີໄທບ໌ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ທິດທາງພື້ນຜິວ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: ພາລາມິເຕີໄຟຟ້າ | |||||
| 2.1 | ສານເຈືອຈາງ | -- | ໄນໂຕຣເຈນປະເພດ n | ໄນໂຕຣເຈນປະເພດ n | ໄນໂຕຣເຈນປະເພດ n |
| 2.2 | ຄວາມຕ້ານທານ | ໂອມ · ຊມ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: ພາລາມິເຕີກົນຈັກ | |||||
| 3.1 | ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | mm | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 |
| 3.2 | ຄວາມໜາ | ໄມຄຣມ | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 |
| 3.3 | ທິດທາງຮອຍບາດ | ° | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 |
| 3.4 | ຄວາມເລິກຂອງຮອຍບາດ | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | ອັດຕາດອກເບ້ຍຕໍ່າສຸດ (LTV) | ໄມຄຣມ | ≤5 (10 ມມ * 10 ມມ) | ≤5 (10 ມມ * 10 ມມ) | ≤10 (10 ມມ * 10 ມມ) |
| 3.6 | ໂທລະພາບທີວີ | ໄມຄຣມ | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ໂບ | ໄມຄຣມ | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ບິດງໍ | ໄມຄຣມ | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4:ໂຄງສ້າງ | |||||
| 4.1 | ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ນ້ອຍ | ແຕ່ລະ/ຊມ2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ສ່ວນປະກອບໂລຫະ | ອະຕອມ/ຊມ2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ແຕ່ລະ/ຊມ2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ຄວາມດັນເລືອດສູງຜິດປົກກະຕິ (BPD) | ແຕ່ລະ/ຊມ2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ເທດ | ແຕ່ລະ/ຊມ2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. ຄຸນນະພາບດ້ານໜ້າ | |||||
| 5.1 | ດ້ານໜ້າ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ | -- | CMP ໜ້າ Si | CMP ໜ້າ Si | CMP ໜ້າ Si |
| 5.3 | ອະນຸພາກ | ea/ເວເຟີ | ≤100 (ຂະໜາດ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ຂູດ | ea/ເວເຟີ | ≤5, ຄວາມຍາວທັງໝົດ ≤200 ມມ | NA | NA |
| 5.5 | ຂອບ ບิ่น/ຮອຍບຸບ/ຮອຍແຕກ/ຮອຍເປື້ອນ/ການປົນເປື້ອນ | -- | ບໍ່ມີ | ບໍ່ມີ | NA |
| 5.6 | ພື້ນທີ່ຫຼາຍຮູບແບບ | -- | ບໍ່ມີ | ພື້ນທີ່ ≤10% | ພື້ນທີ່ ≤30% |
| 5.7 | ເຄື່ອງໝາຍດ້ານໜ້າ | -- | ບໍ່ມີ | ບໍ່ມີ | ບໍ່ມີ |
| 6: ຄຸນນະພາບດ້ານຫຼັງ | |||||
| 6.1 | ສຳເລັດຮູບດ້ານຫຼັງ | -- | MP ໜ້າ C | MP ໜ້າ C | MP ໜ້າ C |
| 6.2 | ຂູດ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ຂອບຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານຫຼັງ ຊິບ/ຮອຍຫຍໍ້ | -- | ບໍ່ມີ | ບໍ່ມີ | NA |
| 6.4 | ຄວາມຫຍາບຫຼັງ | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | ເຄື່ອງໝາຍດ້ານຫຼັງ | -- | ຮອຍບາດ | ຮອຍບາດ | ຮອຍບາດ |
| 7:ຂອບ | |||||
| 7.1 | ຂອບ | -- | ມຸມຕັດ | ມຸມຕັດ | ມຸມຕັດ |
| 8: ແພັກເກດ | |||||
| 8.1 | ການຫຸ້ມຫໍ່ | -- | ພ້ອມໃຊ້ງານໄດ້ທັນທີດ້ວຍສູນຍາກາດ ການຫຸ້ມຫໍ່ | ພ້ອມໃຊ້ງານໄດ້ທັນທີດ້ວຍສູນຍາກາດ ການຫຸ້ມຫໍ່ | ພ້ອມໃຊ້ງານໄດ້ທັນທີດ້ວຍສູນຍາກາດ ການຫຸ້ມຫໍ່ |
| 8.2 | ການຫຸ້ມຫໍ່ | -- | ເວເຟີຫຼາຍອັນ ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບເທບ | ເວເຟີຫຼາຍອັນ ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບເທບ | ເວເຟີຫຼາຍອັນ ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບເທບ |
ແຜນວາດລະອຽດ
ຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
ຂຽນຂໍ້ຄວາມຂອງທ່ານຢູ່ນີ້ ແລະ ສົ່ງມາໃຫ້ພວກເຮົາ