ຊັ້ນໃຕ້ດິນ SiC ປະສົມຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 4H 150 ມມ Ra≤0.2nm Warp≤35μm

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ໂດຍການຂັບເຄື່ອນຂອງອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາເພື່ອໃຫ້ມີປະສິດທິພາບສູງຂຶ້ນ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາ, ຊັ້ນຮອງພື້ນ SiC ທີ່ນໍາໄຟຟ້າໄດ້ 6 ນິ້ວໄດ້ເກີດຂຶ້ນ. ຜ່ານເຕັກໂນໂລຊີວັດສະດຸປະສົມທີ່ມີນະວັດຕະກໍາ, ແຜ່ນເວເຟີ 6 ນິ້ວນີ້ບັນລຸປະສິດທິພາບ 85% ຂອງແຜ່ນເວເຟີ 8 ນິ້ວແບບດັ້ງເດີມ ໃນຂະນະທີ່ມີລາຄາພຽງແຕ່ 60%. ອຸປະກອນພະລັງງານໃນການນໍາໃຊ້ປະຈໍາວັນເຊັ່ນ: ສະຖານີສາກໄຟລົດຍົນພະລັງງານໃຫມ່, ໂມດູນພະລັງງານສະຖານີຖານ 5G, ແລະແມ້ກະທັ້ງໄດຣຟ໌ຄວາມຖີ່ປ່ຽນແປງໃນເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າໃນເຮືອນລະດັບພຣີມຽມອາດຈະໃຊ້ຊັ້ນຮອງພື້ນປະເພດນີ້ແລ້ວ. ເຕັກໂນໂລຊີການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ຫຼາຍຊັ້ນທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາຊ່ວຍໃຫ້ການໂຕ້ຕອບແບບປະສົມລະດັບອະຕອມໃນຖານ SiC, ໂດຍມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງສະຖານະການໂຕ້ຕອບຕໍ່າກວ່າ 1 × 10¹¹/cm²·eV - ສະເພາະທີ່ໄດ້ບັນລຸລະດັບຊັ້ນນໍາໃນລະດັບສາກົນ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ພາລາມິເຕີດ້ານເຕັກນິກ

ລາຍການ	ການຜະລິດຊັ້ນຮຽນ	ຫຸ່ນຊັ້ນຮຽນ
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ	6-8 ນິ້ວ	6-8 ນິ້ວ
ຄວາມໜາ	350/500 ± 25.0 ໄມໂຄຣມ	350/500 ± 25.0 ໄມໂຄຣມ
ໂພລີໄທບ໌	4H	4H
ຄວາມຕ້ານທານ	0.015-0.025 ໂອມ·ຊມ	0.015-0.025 ໂອມ·ຊມ
ໂທລະພາບທີວີ	≤5 ໄມໂຄຣມ	≤20 ໄມໂຄຣມ
ບິດງໍ	≤35 ໄມໂຄຣມ	≤55 ໄມໂຄຣມ
ຄວາມຫຍາບຂອງໜ້າ (Si-face)	Ra≤0.2 nm (5μm × 5μm)	Ra≤0.2 nm (5μm × 5μm)

ຄຸນສົມບັດຫຼັກ

1. ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ: ຊັ້ນວັດສະດຸປະສົມ SiC ທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້ຂະໜາດ 6 ນິ້ວຂອງພວກເຮົາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ "ຊັ້ນບັຟເຟີຊັ້ນ" ທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງເຊິ່ງເພີ່ມປະສິດທິພາບສ່ວນປະກອບຂອງວັດສະດຸເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງວັດຖຸດິບລົງ 38% ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ. ການວັດແທກຕົວຈິງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າອຸປະກອນ MOSFET 650V ທີ່ໃຊ້ຊັ້ນວັດສະດຸນີ້ບັນລຸການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕໍ່ໜ່ວຍພື້ນທີ່ໄດ້ 42% ເມື່ອທຽບກັບວິທີແກ້ໄຂແບບດັ້ງເດີມ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ການສົ່ງເສີມການນຳໃຊ້ອຸປະກອນ SiC ໃນເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ.
2. ຄຸນສົມບັດການນຳໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ: ຜ່ານຂະບວນການຄວບຄຸມການເສີມໄນໂຕຣເຈນທີ່ຊັດເຈນ, ຊັ້ນຮອງພື້ນ SiC ປະສົມທີ່ສາມາດນຳໄຟຟ້າໄດ້ຂະໜາດ 6 ນິ້ວຂອງພວກເຮົາບັນລຸຄວາມຕ້ານທານຕໍ່າຫຼາຍເຖິງ 0.012-0.022Ω·cm, ໂດຍມີການຄວບຄຸມການປ່ຽນແປງພາຍໃນ ±5%. ສິ່ງທີ່ໜ້າສັງເກດແມ່ນພວກເຮົາຮັກສາຄວາມຕ້ານທານໃຫ້ເປັນເອກະພາບເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນພື້ນທີ່ຂອບ 5 ມມ ຂອງແຜ່ນ wafer, ເຊິ່ງແກ້ໄຂບັນຫາຜົນກະທົບຂອງຂອບທີ່ຍາວນານໃນອຸດສາຫະກໍາ.
3. ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນ: ໂມດູນ 1200V/50A ທີ່ພັດທະນາໂດຍໃຊ້ວັດສະດຸຮອງພື້ນຂອງພວກເຮົາສະແດງໃຫ້ເຫັນພຽງແຕ່ອຸນຫະພູມຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ 45℃ ເໜືອສະພາບແວດລ້ອມໃນເວລາເຮັດວຽກເຕັມທີ່ - ຕໍ່າກວ່າອຸປະກອນທີ່ອີງໃສ່ຊິລິໂຄນທີ່ຄ້າຍຄືກັນ 65℃. ສິ່ງນີ້ແມ່ນໄດ້ຮັບການເປີດໃຊ້ງານໂດຍໂຄງສ້າງປະສົມ "ຊ່ອງທາງຄວາມຮ້ອນ 3D" ຂອງພວກເຮົາທີ່ປັບປຸງຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນດ້ານຂ້າງເປັນ 380W/m·K ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນແນວຕັ້ງເປັນ 290W/m·K.
4. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຂະບວນການ: ສຳລັບໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ SiC ປະສົມທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ, ພວກເຮົາໄດ້ພັດທະນາຂະບວນການຕັດເລເຊີແບບລັບໆທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ ເຊິ່ງບັນລຸຄວາມໄວຕັດ 200 ມມ/ວິນາທີ ໃນຂະນະທີ່ຄວບຄຸມການແຕກຂອງຂອບໃຫ້ຕ່ຳກວ່າ 0.3 μm. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຮົາຍັງສະເໜີຕົວເລືອກຊັ້ນຮອງພື້ນແບບຊຸບນິກເກີນທີ່ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຕິດແມ່ພິມໂດຍກົງໄດ້, ເຊິ່ງຊ່ວຍປະຢັດຂັ້ນຕອນການດຳເນີນງານສອງຂັ້ນຕອນໃຫ້ລູກຄ້າ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ

ອຸປະກອນຕາຂ່າຍໄຟຟ້າອັດສະລິຍະທີ່ສຳຄັນ:

ໃນລະບົບສາຍສົ່ງກະແສໄຟຟ້າໂດຍກົງແຮງດັນສູງພິເສດ (UHVDC) ທີ່ເຮັດວຽກຢູ່ທີ່ ±800kV, ອຸປະກອນ IGCT ທີ່ໃຊ້ວັດສະດຸປະສົມ SiC ທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້ຂະໜາດ 6 ນິ້ວຂອງພວກເຮົາສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການປັບປຸງປະສິດທິພາບທີ່ໜ້າປະທັບໃຈ. ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ບັນລຸການຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍການສະຫຼັບໄດ້ 55% ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປ່ຽນ, ໃນຂະນະທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງລະບົບໂດຍລວມໃຫ້ເກີນ 99.2%. ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າຂອງວັດສະດຸ (380W/m·K) ຊ່ວຍໃຫ້ການອອກແບບຕົວແປງໄຟຟ້າຂະໜາດກະທັດຮັດທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຮອຍຕີນຂອງສະຖານີຍ່ອຍໄດ້ 25% ເມື່ອທຽບກັບວິທີແກ້ໄຂທີ່ອີງໃສ່ຊິລິໂຄນແບບດັ້ງເດີມ.

ລະບົບສົ່ງກຳລັງຂອງຍານພາຫະນະພະລັງງານໃໝ່:

ລະບົບຂັບເຄື່ອນທີ່ປະກອບດ້ວຍຊັ້ນວັດສະດຸປະສົມ SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້ຂອງພວກເຮົາບັນລຸຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານອິນເວີເຕີທີ່ບໍ່ເຄີຍມີມາກ່ອນເຖິງ 45kW/L - ເຊິ່ງເປັນການປັບປຸງ 60% ເມື່ອທຽບກັບການອອກແບບທີ່ອີງໃສ່ຊິລິກອນ 400V ກ່ອນໜ້ານີ້. ສິ່ງທີ່ໜ້າປະທັບໃຈທີ່ສຸດແມ່ນລະບົບຮັກສາປະສິດທິພາບ 98% ໃນທົ່ວລະດັບອຸນຫະພູມປະຕິບັດການທັງໝົດຕັ້ງແຕ່ -40℃ ຫາ +175℃, ແກ້ໄຂບັນຫາປະສິດທິພາບໃນສະພາບອາກາດໜາວທີ່ເຮັດໃຫ້ການນຳໃຊ້ລົດໄຟຟ້າໃນສະພາບອາກາດພາກເໜືອມີບັນຫາ. ການທົດສອບໃນໂລກຕົວຈິງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະດັບການໃຊ້ງານໃນລະດູໜາວເພີ່ມຂຶ້ນ 7.5% ສຳລັບຍານພາຫະນະທີ່ຕິດຕັ້ງເທັກໂນໂລຢີນີ້.

ຕົວຂັບຄວາມຖີ່ປ່ຽນແປງໄດ້ຂອງອຸດສາຫະກຳ:

ການຮັບຮອງເອົາວັດສະດຸພື້ນຖານຂອງພວກເຮົາໃນໂມດູນພະລັງງານອັດສະລິຍະ (IPMs) ສຳລັບລະບົບ servo ອຸດສາຫະກຳ ກຳລັງຫັນປ່ຽນລະບົບອັດຕະໂນມັດໃນການຜະລິດ. ໃນສູນເຄື່ອງຈັກ CNC, ໂມດູນເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ການຕອບສະໜອງຂອງມໍເຕີໄວຂຶ້ນ 40% (ຫຼຸດເວລາເລັ່ງຈາກ 50ms ເປັນ 30ms) ໃນຂະນະທີ່ຕັດສຽງລົບກວນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າລົງ 15dB ເປັນ 65dB(A).

ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ:

ການປະຕິວັດເອເລັກໂຕຣນິກສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກຍັງສືບຕໍ່ດ້ວຍວັດສະດຸພື້ນຖານຂອງພວກເຮົາທີ່ເຮັດໃຫ້ສາມາດສາກໄຟໄວ GaN 65W ລຸ້ນຕໍ່ໄປໄດ້. ອະແດບເຕີໄຟຟ້າຂະໜາດກະທັດຮັດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານໄດ້ 30% (ລົງເຖິງ 45 ຊມ³) ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຜົນຜະລິດພະລັງງານໄດ້ເຕັມທີ່, ຍ້ອນລັກສະນະການສະຫຼັບທີ່ດີກວ່າຂອງການອອກແບບທີ່ອີງໃສ່ SiC. ການຖ່າຍພາບຄວາມຮ້ອນສະແດງໃຫ້ເຫັນອຸນຫະພູມກ່ອງສູງສຸດພຽງແຕ່ 68°C ໃນລະຫວ່າງການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ - ເຢັນກວ່າການອອກແບບແບບດັ້ງເດີມ 22°C - ປັບປຸງອາຍຸການໃຊ້ງານ ແລະ ຄວາມປອດໄພຂອງຜະລິດຕະພັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ບໍລິການປັບແຕ່ງ XKH

XKH ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນການປັບແຕ່ງທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບຊັ້ນວັດສະດຸປະສົມ SiC ທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ:

ການປັບແຕ່ງຄວາມໜາ: ຕົວເລືອກຕ່າງໆລວມທັງຂໍ້ມູນສະເພາະ200μm, 300μm, ແລະ350μm
2. ການຄວບຄຸມຄວາມຕ້ານທານ: ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສານເສີມປະເພດ n ທີ່ສາມາດປັບໄດ້ຕັ້ງແຕ່ 1×10¹⁸ ຫາ 5×10¹⁸ cm⁻³

3. ທິດທາງຜລຶກ: ຮອງຮັບຫຼາຍທິດທາງລວມທັງ (0001) ນອກແກນ 4° ຫຼື 8°

4. ການບໍລິການທົດສອບ: ບົດລາຍງານການທົດສອບພາລາມິເຕີລະດັບເວເຟີທີ່ສົມບູນ

ເວລານຳສະເໜີໃນປະຈຸບັນຂອງພວກເຮົາຕັ້ງແຕ່ການສ້າງຕົ້ນແບບຈົນເຖິງການຜະລິດເປັນຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍສາມາດສັ້ນໄດ້ເຖິງ 8 ອາທິດ. ສຳລັບລູກຄ້າທີ່ມີຍຸດທະສາດ, ພວກເຮົາສະເໜີການບໍລິການພັດທະນາຂະບວນການທີ່ອຸທິດຕົນເພື່ອຮັບປະກັນການຈັບຄູ່ທີ່ສົມບູນແບບກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸປະກອນ.