6 ນິ້ວ-8 ນິ້ວ LN-on-Si Composite Substrate Thickness 0.3-50 μm Si/SiC/Sapphire ຂອງວັດສະດຸ
ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ
ຊັ້ນຍ່ອຍຍ່ອຍ LN-on-Si ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ຫາ 8 ນິ້ວ ໄດ້ຖືກຈຳແນກໂດຍຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະລັກ ແລະຕົວກໍານົດການທີ່ສາມາດປັບປ່ຽນໄດ້, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳເຊມິຄອນດັກເຕີ ແລະ optoelectronic:
1.Large Wafer Compatibility: ຂະຫນາດ wafer 6-inch ກັບ 8-inch ຮັບປະກັນການເຊື່ອມໂຍງ seamless ກັບສາຍ fabrication semiconductor ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ (ຕົວຢ່າງ, ຂະບວນການ CMOS), ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດແລະເຮັດໃຫ້ການຜະລິດມະຫາຊົນ.
2.High Crystalline Quality: Optimized epitaxial ຫຼື bonding techniques ຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຕ່ໍາໃນຮູບເງົາບາງ LN, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການ modulators optical ປະສິດທິພາບສູງ, ການກັ່ນຕອງຄື້ນສຽງຂອງພື້ນຜິວ (SAW), ແລະອຸປະກອນຄວາມແມ່ນຍໍາອື່ນໆ.
3.ຄວາມໜາທີ່ສາມາດປັບໄດ້ (0.3–50 μm): ຊັ້ນ LN Ultrathin (<1 μm) ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບ chip photonic ປະສົມປະສານ, ໃນຂະນະທີ່ຊັ້ນຫນາ (10-50 μm) ສະຫນັບສະຫນູນອຸປະກອນ RF ທີ່ມີພະລັງງານສູງຫຼືເຊັນເຊີ piezoelectric.
4.Multiple Substrate Options: ນອກເຫນືອຈາກ Si, SiC (ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ) ຫຼື sapphire ( insulation ສູງ) ສາມາດເລືອກເປັນວັດສະດຸພື້ນຖານເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການນໍາໃຊ້ຄວາມຖີ່ສູງ, ອຸນຫະພູມສູງ, ຫຼືພະລັງງານສູງ.
5.Thermal ແລະ Mechanical Stability: substrate ຊິລິໂຄນສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນກົນຈັກທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ຫຼຸດຜ່ອນ warping ຫຼື cracking ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງແລະການປັບປຸງຜົນຜະລິດອຸປະກອນ.
ຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ຈັດວາງຊັ້ນຍ່ອຍ LN-on-Si ຂະໜາດ 6 ນິ້ວຫາ 8 ນິ້ວເປັນວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີທີ່ທັນສະໄໝເຊັ່ນ: ການສື່ສານ 5G, LiDAR ແລະ quantum optics.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ
ຊັ້ນຍ່ອຍ LN-on-Si ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ຫາ 8 ນິ້ວ ໄດ້ຖືກນຳມາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳເທັກໂນໂລຍີສູງ ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າ, piezoelectric ແລະ acoustic ທີ່ໂດດເດັ່ນ:
1.Optical Communications and Integrated Photonics: ເປີດໃຊ້ໂມດູເລເຕີ electro-optic ຄວາມໄວສູງ, waveguides, ແລະວົງຈອນລວມ photonic (PICs), ແກ້ໄຂຄວາມຕ້ອງການແບນວິດຂອງສູນຂໍ້ມູນ ແລະເຄືອຂ່າຍໃຍແກ້ວນໍາແສງ.
2.5G/6G RF ອຸປະກອນ: ຄ່າສໍາປະສິດ piezoelectric ສູງຂອງ LN ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສໍາລັບຕົວກອງຄື້ນສຽງ (SAW) ແລະຄື້ນສຽງ (BAW), ປັບປຸງການປະມວນຜົນສັນຍານໃນສະຖານີຖານ 5G ແລະອຸປະກອນມືຖື.
3.MEMS ແລະເຊັນເຊີ: ຜົນກະທົບ piezoelectric ຂອງ LN-on-Si ອໍານວຍຄວາມສະດວກ accelerometers ຄວາມອ່ອນໄຫວສູງ, biosensors, ແລະ transducers ultrasonic ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທາງການແພດແລະອຸດສາຫະກໍາ.
4.Quantum Technologies: ເປັນອຸປະກອນ optical nonlinear, LN ຮູບເງົາບາງໆຖືກນໍາໃຊ້ໃນແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ quantum (ຕົວຢ່າງ, ຄູ່ photon entangled) ແລະ chip quantum ປະສົມປະສານ.
5.Lasers ແລະ Nonlinear Optics: ຊັ້ນ Ultrathin LN ຊ່ວຍໃຫ້ອຸປະກອນການຜະລິດປະສົມກົມກຽວທີສອງ (SHG) ແລະ optical parametric oscillation (OPO) ທີ່ມີປະສິດທິພາບສໍາລັບການປະມວນຜົນເລເຊີແລະການວິເຄາະ spectroscopic.
ມາດຕະຖານ 6-inch ຫາ 8-inch LN-on-Si composite substrate ອະນຸຍາດໃຫ້ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຜະລິດໃນ wafer fabs ຂະຫນາດໃຫຍ່, ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ.
ການປັບແຕ່ງ ແລະການບໍລິການ
ພວກເຮົາສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການທີ່ສົມບູນແບບແລະການບໍລິການປັບແຕ່ງສໍາລັບ substrate LN-on-Si ຂະຫນາດ 6 ນິ້ວຫາ 8 ນິ້ວເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຫຼາກຫຼາຍຂອງ R & D ແລະຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດ:
1.Custom Fabrication: LN film thickness (0.3–50 μm), crystal orientation (X-cut/Y-cut), ແລະ substrate material (Si/SiC/sapphire) ສາມາດໄດ້ຮັບການປັບແຕ່ງເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ.
2.Wafer-Level Processing: ການສະຫນອງຈໍານວນຫລາຍຂອງ wafers 6 ນິ້ວແລະ 8 ນິ້ວ, ລວມທັງການບໍລິການດ້ານຫລັງເຊັ່ນ: dicing, polishing, ແລະ coating, ຮັບປະກັນ substrates ພ້ອມທີ່ຈະປະສົມປະສານອຸປະກອນ.
3.ການໃຫ້ຄໍາປຶກສາດ້ານວິຊາການແລະການທົດສອບ: ລັກສະນະວັດສະດຸ (ຕົວຢ່າງ, XRD, AFM), ການທົດສອບປະສິດທິພາບ electro-optic, ແລະການຈໍາລອງອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນເພື່ອເລັ່ງລັດການກວດສອບການອອກແບບ.
ພາລະກິດຂອງພວກເຮົາແມ່ນເພື່ອສ້າງຕັ້ງ substrate LN-on-Si ຂະຫນາດ 6 ນິ້ວຫາ 8 ນິ້ວເປັນການແກ້ໄຂວັດສະດຸຫຼັກສໍາລັບການນໍາໃຊ້ optoelectronic ແລະ semiconductor, ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນຈາກ R & D ຈົນເຖິງການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍ.
ສະຫຼຸບ
ຊັ້ນຍ່ອຍ LN-on-Si ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ຫາ 8 ນິ້ວ, ດ້ວຍຂະໜາດ wafer ຂະໜາດໃຫຍ່, ຄຸນນະພາບວັດສະດຸທີ່ເໜືອກວ່າ, ແລະຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ, ແມ່ນການຂັບເຄື່ອນຄວາມກ້າວໜ້າໃນການສື່ສານທາງແສງ, 5G RF, ແລະເຕັກໂນໂລຊີ quantum. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການຜະລິດທີ່ມີປະລິມານສູງ ຫຼືການແກ້ໄຂແບບກຳນົດເອງ, ພວກເຮົາສະໜອງອຸປະກອນຍ່ອຍທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ການບໍລິການເສີມເພື່ອເສີມສ້າງນະວັດຕະກໍາດ້ານເຕັກໂນໂລຊີ.

