ວັດສະດຸປະສົມ SiC ປະເພດເຄິ່ງຂະໜາດ 6 ນິ້ວ 4H ຄວາມໜາ 500μm TTV≤5μm ຊັ້ນ MOS

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ດ້ວຍຄວາມກ້າວໜ້າຢ່າງໄວວາຂອງການສື່ສານ 5G ແລະເຕັກໂນໂລຊີ radar, ຊັ້ນຮອງພື້ນ SiC ປະສົມເຄິ່ງສນວນຂະໜາດ 6 ນິ້ວໄດ້ກາຍເປັນວັດສະດຸຫຼັກສຳລັບການຜະລິດອຸປະກອນຄວາມຖີ່ສູງ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບຊັ້ນຮອງພື້ນ GaAs ແບບດັ້ງເດີມ, ຊັ້ນຮອງພື້ນນີ້ຮັກສາຄວາມຕ້ານທານສູງ (>10⁸ Ω·cm) ໃນຂະນະທີ່ປັບປຸງການນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 5 ເທົ່າ, ແກ້ໄຂບັນຫາການລະບາຍຄວາມຮ້ອນໃນອຸປະກອນຄື້ນມິນລິແມັດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ເຄື່ອງຂະຫຍາຍສຽງພາຍໃນອຸປະກອນປະຈຳວັນເຊັ່ນ: ໂທລະສັບສະຫຼາດ 5G ແລະອຸປະກອນສື່ສານດາວທຽມອາດຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນນີ້. ໂດຍການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ “ການຊົດເຊີຍຊັ້ນບັຟເຟີ” ທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງຂອງພວກເຮົາ, ພວກເຮົາໄດ້ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ຂະໜາດນ້ອຍໃຫ້ຕ່ຳກວ່າ 0.5/cm² ແລະບັນລຸການສູນເສຍໄມໂຄເວຟຕ່ຳສຸດ 0.05 dB/mm.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ພາລາມິເຕີດ້ານເຕັກນິກ

ລາຍການ	ລາຍລະອຽດ	ລາຍການ	ລາຍລະອຽດ
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ	150 ± 0.2 ມມ	ຄວາມຫຍາບຂອງໜ້າ (Si-face)	Ra≤0.2 nm (5μm × 5μm)
ໂພລີໄທບ໌	4H	ຮອຍບิ่น, ຮອຍຂີດຂ່ວນ, ຮອຍແຕກ (ກວດກາດ້ວຍສາຍຕາ)	ບໍ່ມີ
ຄວາມຕ້ານທານ	≥1E8 Ω·ຊມ	ໂທລະພາບທີວີ	≤5 ໄມໂຄຣມ
ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໂອນ	≥0.4 ໄມໂຄຣມ	ບິດງໍ	≤35 ໄມໂຄຣມ
ເປັນໂມຄະ (2mm>D>0.5mm)	≤5 ແຕ່ລະອັນ/ເວເຟີ	ຄວາມໜາ	500 ± 25 ໄມໂຄຣມ

ຄຸນສົມບັດຫຼັກ

1. ປະສິດທິພາບຄວາມຖີ່ສູງທີ່ໂດດເດັ່ນ
ຊັ້ນວັດສະດຸປະສົມ SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ ທີ່ໃຊ້ຊັ້ນໄດອີເລັກຕຣິກທີ່ມີລະດັບຄວາມໜາແໜ້ນ, ຮັບປະກັນການປ່ຽນແປງຄົງທີ່ຂອງໄດອີເລັກຕຣິກ <2% ໃນແຖບ Ka (26.5-40 GHz) ແລະ ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງເຟສໃຫ້ດີຂຶ້ນ 40%. ເພີ່ມປະສິດທິພາບ 15% ແລະ ການໃຊ້ພະລັງງານຕ່ຳລົງ 20% ໃນໂມດູນ T/R ໂດຍໃຊ້ຊັ້ນວັດສະດຸນີ້.

2. ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນແບບກ້າວໜ້າ
ໂຄງສ້າງປະສົມ "ຂົວຄວາມຮ້ອນ" ທີ່ເປັນເອກະລັກຊ່ວຍໃຫ້ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນດ້ານຂ້າງໄດ້ 400 W/m·K. ໃນໂມດູນ PA ສະຖານີຖານ 5G 28 GHz, ອຸນຫະພູມຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ຈະເພີ່ມຂຶ້ນພຽງແຕ່ 28°C ຫຼັງຈາກເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ 24 ຊົ່ວໂມງ—ຕ່ຳກວ່າວິທີແກ້ໄຂແບບດັ້ງເດີມ 50°C.

3. ຄຸນນະພາບເວເຟີທີ່ດີເລີດ
ຜ່ານວິທີການຂົນສົ່ງໄອທາງກາຍະພາບ (PVT) ທີ່ດີທີ່ສຸດ, ພວກເຮົາບັນລຸຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຄື່ອນທີ່ <500/cm² ແລະ ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາທັງໝົດ (TTV) <3 μm.
4. ການປຸງແຕ່ງທີ່ເປັນມິດກັບການຜະລິດ
ຂະບວນການອົບແຫ້ງດ້ວຍເລເຊີຂອງພວກເຮົາທີ່ພັດທະນາໂດຍສະເພາະສຳລັບຊັ້ນວັດສະດຸປະສົມ SiC ເຄິ່ງສນວນຂະໜາດ 6 ນິ້ວຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງສະພາບຜິວໜ້າລົງສອງລຳດັບກ່ອນການເຄືອບດ້ວຍ epitaxy.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ

1. ອົງປະກອບຫຼັກຂອງສະຖານີຖານ 5G
ໃນອາເຣເສົາອາກາດ Massive MIMO, ອຸປະກອນ GaN HEMT ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ SiC ປະສົມເຄິ່ງສນວນຂະໜາດ 6 ນິ້ວບັນລຸພະລັງງານຜົນຜະລິດ 200W ແລະປະສິດທິພາບ >65%. ການທົດສອບພາກສະໜາມທີ່ 3.5 GHz ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການເພີ່ມຂຶ້ນ 30% ໃນລັດສະໝີການຄຸ້ມຄອງ.

2. ລະບົບການສື່ສານຜ່ານດາວທຽມ
ເຄື່ອງຮັບສົ່ງດາວທຽມວົງໂຄຈອນຕ່ຳ (LEO) ທີ່ໃຊ້ອຸປະກອນນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນ EIRP ສູງກວ່າ 8 dB ໃນແຖບ Q (40 GHz) ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດນ້ຳໜັກລົງ 40%. ສະຖານີ SpaceX Starlink ໄດ້ຮັບຮອງເອົາມັນສຳລັບການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ.

3. ລະບົບເຣດາທະຫານ
ໂມດູນ radar T/R ແບບ phased-array ໃນຊັ້ນວາງນີ້ບັນລຸແບນວິດ 6-18 GHz ແລະຕົວເລກສຽງລົບກວນຕໍ່າເຖິງ 1.2 dB, ຂະຫຍາຍລະດັບການກວດພົບໄດ້ 50 ກິໂລແມັດໃນລະບົບ radar ເຕືອນໄພລ່ວງໜ້າ.

4. ເຣດາຄື້ນມິນລິແມັດລົດຍົນ
ຊິບ radar ລົດຍົນ 79 GHz ທີ່ໃຊ້ວັດສະດຸຮອງພື້ນນີ້ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມລະອຽດຂອງມຸມໃຫ້ສູງເຖິງ 0.5°, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການຂັບຂີ່ແບບອັດຕະໂນມັດ L4.

ພວກເຮົາສະເໜີວິທີແກ້ໄຂການບໍລິການທີ່ກຳນົດເອງທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບວັດສະດຸປະສົມ SiC ເຄິ່ງສນວນຂະໜາດ 6 ນິ້ວ. ໃນແງ່ຂອງການປັບແຕ່ງຕົວກຳນົດວັດສະດຸ, ພວກເຮົາສະໜັບສະໜູນການຄວບຄຸມຄວາມຕ້ານທານທີ່ຊັດເຈນພາຍໃນຂອບເຂດ 10⁶-10¹⁰ Ω·cm. ໂດຍສະເພາະສຳລັບການນຳໃຊ້ທາງທະຫານ, ພວກເຮົາສາມາດສະເໜີຕົວເລືອກຄວາມຕ້ານທານສູງພິເສດ >10⁹ Ω·cm. ມັນສະເໜີຄວາມໜາສາມຢ່າງຄື 200μm, 350μm ແລະ 500μm ພ້ອມໆກັນ, ໂດຍມີການຄວບຄຸມຄວາມທົນທານຢ່າງເຂັ້ມງວດພາຍໃນ ±10μm, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນຕັ້ງແຕ່ອຸປະກອນຄວາມຖີ່ສູງຈົນເຖິງການນຳໃຊ້ພະລັງງານສູງ.

ໃນດ້ານຂະບວນການຮັກສາໜ້າດິນ, ພວກເຮົາສະເໜີວິທີແກ້ໄຂແບບມືອາຊີບສອງຢ່າງຄື: ການຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີ (CMP) ສາມາດບັນລຸຄວາມຮາບພຽງຂອງໜ້າດິນໃນລະດັບອະຕອມດ້ວຍ Ra<0.15nm, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ; ເຕັກໂນໂລຊີການຮັກສາໜ້າດິນທີ່ພ້ອມໃຊ້ epitaxial ສຳລັບຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ວ່ອງໄວສາມາດສະໜອງໜ້າດິນທີ່ລຽບນຽນເປັນພິເສດດ້ວຍ Sq<0.3nm ແລະ ຄວາມໜາຂອງອົກໄຊດ໌ທີ່ເຫຼືອ <1nm, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຂະບວນການຮັກສາກ່ອນການເຄືອບງ່າຍຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

XKH ໃຫ້ບໍລິການແກ້ໄຂທີ່ຄົບຖ້ວນສົມບູນສຳລັບວັດສະດຸປະສົມ SiC ເຄິ່ງສນວນຂະໜາດ 6 ນິ້ວ

1. ການປັບແຕ່ງພາລາມິເຕີວັດສະດຸ
ພວກເຮົາສະເໜີການປັບແຕ່ງຄວາມຕ້ານທານທີ່ຊັດເຈນພາຍໃນຂອບເຂດ 10⁶-10¹⁰ Ω·cm, ພ້ອມດ້ວຍຕົວເລືອກຄວາມຕ້ານທານສູງພິເສດ >10⁹ Ω·cm ມີໃຫ້ສຳລັບການນຳໃຊ້ທາງທະຫານ/ການບິນອະວະກາດ.

2. ຂໍ້ກຳນົດຄວາມໜາ
ສາມທາງເລືອກຄວາມໜາມາດຕະຖານ:

· 200μm (ປັບປຸງໃຫ້ເໝາະສົມສຳລັບອຸປະກອນຄວາມຖີ່ສູງ)

· 350μm (ສະເປັກມາດຕະຖານ)

· 500μm (ອອກແບບມາສຳລັບການນຳໃຊ້ພະລັງງານສູງ)
· ລຸ້ນທັງໝົດຮັກສາຄວາມທົນທານຂອງຄວາມໜາທີ່ແໜ້ນໜາ ±10μm.

3. ເຕັກໂນໂລຊີການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ

ການຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີ (CMP): ບັນລຸຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວໃນລະດັບອະຕອມດ້ວຍ Ra<0.15nm, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ເຂັ້ມງວດສຳລັບອຸປະກອນ RF ແລະ ພະລັງງານ.

4. ການປຸງແຕ່ງພື້ນຜິວ Epi-Ready

· ສະໜອງພື້ນຜິວທີ່ລຽບນຽນເປັນພິເສດດ້ວຍຄວາມຫຍາບ Sq<0.3nm

· ຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງອົກໄຊດ໌ພື້ນເມືອງໃຫ້ <1nm

· ລົບລ້າງຂັ້ນຕອນການປະມວນຜົນລ່ວງໜ້າໄດ້ເຖິງ 3 ຂັ້ນຕອນຢູ່ທີ່ສະຖານທີ່ບໍລິການຂອງລູກຄ້າ