2 ນິ້ວ 4 ນິ້ວ 6 ນິ້ວ Patterned Sapphire Substrate (PSS) ທີ່ວັດສະດຸ GaN ຖືກປູກແມ່ນສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບໄຟ LED.
ລັກສະນະຕົ້ນຕໍ
1. ລັກສະນະໂຄງສ້າງ:
ດ້ານ PSS ມີຮູບຈວຍເປັນລະບຽບຫຼືຮູບຈວຍສາມຫຼ່ຽມທີ່ມີຮູບຮ່າງ, ຂະຫນາດແລະການແຜ່ກະຈາຍສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ໂດຍການປັບຕົວກໍານົດການຂະບວນການ etching.
ໂຄງສ້າງກາຟິກເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍປ່ຽນເສັ້ນທາງການຂະຫຍາຍພັນຂອງແສງສະຫວ່າງແລະຫຼຸດຜ່ອນການສະທ້ອນທັງຫມົດຂອງແສງສະຫວ່າງ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງການສະກັດແສງສະຫວ່າງ.
2. ລັກສະນະວັດສະດຸ:
PSS ໃຊ້ sapphire ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງເປັນວັດສະດຸຍ່ອຍ, ເຊິ່ງມີລັກສະນະຂອງຄວາມແຂງສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີແລະຄວາມໂປ່ງໃສ optical.
ຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ PSS ທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນໃນຂະນະທີ່ຮັກສາປະສິດທິພາບ optical ທີ່ດີເລີດ.
3. ປະສິດທິພາບ optical:
ໂດຍການປ່ຽນແປງການກະແຈກກະຈາຍຫຼາຍໃນການໂຕ້ຕອບລະຫວ່າງ GaN ແລະ sapphire substrate, PSS ເຮັດໃຫ້ photons ທີ່ຖືກສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນຢ່າງສົມບູນພາຍໃນຊັ້ນ GaN ມີໂອກາດທີ່ຈະຫນີຈາກ substrate sapphire.
ຄຸນນະສົມບັດນີ້ປັບປຸງປະສິດທິພາບການສະກັດແສງສະຫວ່າງຂອງ LED ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະເພີ່ມຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງໄຟ LED.
4. ລັກສະນະຂະບວນການ:
ຂະບວນການຜະລິດຂອງ PSS ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສັບສົນ, ປະກອບມີຫຼາຍຂັ້ນຕອນເຊັ່ນ: lithography ແລະ etching, ແລະຕ້ອງການອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການຄວບຄຸມຂະບວນການ.
ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຢີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ຂະບວນການຜະລິດຂອງ PSS ແມ່ນຄ່ອຍໆປັບປຸງແລະປັບປຸງ.
ປະໂຫຍດຫຼັກ
1. ປັບປຸງປະສິດທິພາບການສະກັດແສງສະຫວ່າງ: PSS ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍປັບປຸງປະສິດທິພາບການສະກັດແສງສະຫວ່າງຂອງ LED ໂດຍການປ່ຽນແປງເສັ້ນທາງການຂະຫຍາຍພັນຂອງແສງສະຫວ່າງແລະການຫຼຸດຜ່ອນການສະທ້ອນທັງຫມົດ.
2.Prolong ຊີວິດ LED: PSS ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫນາແຫນ້ນ dislocation ຂອງອຸປະກອນການ epitaxial GaN, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນການ recombination ທີ່ບໍ່ແມ່ນ radiative ແລະ reverse ຮົ່ວໄຫຼໃນປະຈຸບັນໃນພາກພື້ນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ, ຂະຫຍາຍຊີວິດຂອງ LED ໄດ້.
3. ປັບປຸງຄວາມສະຫວ່າງຂອງ LED: ເນື່ອງຈາກການປັບປຸງປະສິດທິພາບການສະກັດແສງສະຫວ່າງແລະການຂະຫຍາຍຊີວິດຂອງ LED, ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງ LED ໃນ PSS ໄດ້ຖືກປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
4. ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ: ເຖິງແມ່ນວ່າຂະບວນການຜະລິດຂອງ PSS ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສັບສົນ, ມັນສາມາດປັບປຸງປະສິດທິພາບ luminous ແລະຊີວິດຂອງ LED, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງແລະປັບປຸງການແຂ່ງຂັນຂອງຜະລິດຕະພັນ.
ພື້ນທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ
1. ແສງ LED: PSS ເປັນອຸປະກອນການ substrate ສໍາລັບ chip LED, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍສາມາດປັບປຸງປະສິດທິພາບ luminous ແລະຊີວິດຂອງ LED.
ໃນພາກສະຫນາມຂອງໄຟ LED, PSS ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຜະລິດຕະພັນເຮັດໃຫ້ມີແສງຕ່າງໆ, ເຊັ່ນ: ໂຄມໄຟຖະຫນົນ, ໂຄມໄຟຕາຕະລາງ, ໄຟລົດແລະອື່ນໆ.
2.Semiconductor ອຸປະກອນ: ນອກຈາກໄຟ LED, PSS ຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງກວດຈັບແສງສະຫວ່າງ, lasers, ແລະອື່ນໆອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ມີລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງການນໍາໃຊ້ໃນການສື່ສານ, ການແພດ, ການທະຫານແລະຂົງເຂດອື່ນໆ.
3.Optoelectronic integration: ຄຸນສົມບັດ optical ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ PSS ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນຫນຶ່ງໃນອຸປະກອນການທີ່ເຫມາະສົມໃນພາກສະຫນາມຂອງ optoelectronic integration.In optoelectronic integration, PSS ສາມາດນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ optical waveguides, optical switches ແລະອົງປະກອບອື່ນໆເພື່ອຮັບຮູ້ການສົ່ງແລະການປະມວນຜົນຂອງສັນຍານ optical.
ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການ
ລາຍການ | ແຜ່ນຮອງ Sapphire ທີ່ມີຮູບແບບ (2 ~ 6 ນິ້ວ) | ||
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 50.8 ± 0.1 ມມ | 100.0 ± 0.2 ມມ | 150.0 ± 0.3 ມມ |
ຄວາມຫນາ | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
ທິດທາງດ້ານ | C-plane (0001) off-angle ໄປຫາ M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
C-plane (0001) off-angle ໄປຫາ A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
ປະຖົມນິເທດ Flat ປະຖົມ | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
ຄວາມຍາວຮາບພຽງຕົ້ນຕໍ | 16.0 ± 1.0 ມມ | 30.0 ± 1.0 ມມ | 47.5 ± 2.0 ມມ |
R-ຍົນ | 9 ໂມງ | ||
ສໍາເລັດຮູບດ້ານຫນ້າ | ຮູບແບບ | ||
Back Surface Finish | SSP:ດິນລະອຽດ,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm | ||
Laser Mark | ດ້ານຫລັງ | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
ໂບ | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
ການຍົກເວັ້ນຂອບ | ≤2ມມ | ||
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຮູບແບບ | ໂຄງສ້າງຮູບຮ່າງ | Dome, Cone, Pyramid | |
ຄວາມສູງຂອງຮູບແບບ | 1.6~1.8μm | ||
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຮູບແບບ | 2.75~2.85μm | ||
ຊ່ອງຮູບແບບ | 0.1~0.3μm |
XKH ສຸມໃສ່ການພັດທະນາ, ການຜະລິດແລະການຂາຍ substrate sapphire ທີ່ມີຮູບແບບ (PSS), ແລະມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ PSS ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ປະສິດທິພາບສູງໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າທົ່ວໂລກ. XKH ມີເທກໂນໂລຍີການຜະລິດທີ່ກ້າວຫນ້າແລະທີມງານດ້ານວິຊາການມືອາຊີບ, ເຊິ່ງສາມາດປັບແຕ່ງຜະລິດຕະພັນ PSS ທີ່ມີຄຸນລັກສະນະແລະໂຄງສ້າງຮູບແບບທີ່ແຕກຕ່າງກັນຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ. ໃນເວລາດຽວກັນ, XKH ເອົາໃຈໃສ່ກັບຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນແລະຄຸນນະພາບການບໍລິການ, ແລະມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງລູກຄ້າດ້ວຍການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການແລະການແກ້ໄຂຢ່າງເຕັມທີ່. ໃນຂົງເຂດ PSS, XKH ໄດ້ສະສົມປະສົບການແລະຄວາມໄດ້ປຽບທີ່ອຸດົມສົມບູນ, ແລະຫວັງວ່າຈະເຮັດວຽກຮ່ວມກັນກັບຄູ່ຮ່ວມງານທົ່ວໂລກເພື່ອຮ່ວມກັນສົ່ງເສີມການພັດທະນານະວັດກໍາຂອງໄຟ LED, ອຸປະກອນ semiconductor ແລະອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ.
ແຜນວາດລາຍລະອຽດ


