ແຜ່ນ/ຖາດເຊລາມິກ SiC ສຳລັບຕົວຍຶດເວເຟີ 4 ນິ້ວ 6 ນິ້ວ ສຳລັບ ICP

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ເປັນອົງປະກອບປະສິດທິພາບສູງທີ່ວິສະວະກຳຈາກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນ, ເຄມີ ແລະ ກົນຈັກທີ່ຮຸນແຮງ. ແຜ່ນ SiC ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກໃນດ້ານຄວາມແຂງ, ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນຕົວນຳແຜ່ນເວເຟີ, ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນ, ຫຼື ອົງປະກອບໂຄງສ້າງໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, LED, ພະລັງງານແສງອາທິດ, ແລະ ການບິນອະວະກາດ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນສົມບັດ

ແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ນາມທຳ

ດ້ວຍຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນສູງເຖິງ 1600°C ແລະ ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມຂອງພລາສມາ, ແຜ່ນ SiC ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ການວາງຊັ້ນ, ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ບໍ່ມີຮູຂຸມຂົນຂອງມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ສະອາດທີ່ສຸດໃນສະຖານທີ່ສູນຍາກາດ ຫຼື ຫ້ອງສະອາດ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແຜ່ນເຊລາມິກ SiC

1. ການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ

ແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປເປັນຕົວນໍາແຜ່ນເວເຟີ, ຕົວຮັບ, ແລະແຜ່ນຖານໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາເຊັ່ນ: CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), ແລະລະບົບການແກະສະຫຼັກ. ຄວາມນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າຂອງພວກມັນຊ່ວຍໃຫ້ພວກມັນຮັກສາການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງ SiC ຕໍ່ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ພລາສມາຮັບປະກັນຄວາມທົນທານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ການບໍາລຸງຮັກສາອຸປະກອນ.

2. ອຸດສາຫະກຳ LED - ການແກະສະຫຼັກ ICP

ໃນຂະແໜງການຜະລິດໄຟ LED, ແຜ່ນ SiC ແມ່ນອົງປະກອບຫຼັກໃນລະບົບການແກະສະຫຼັກ ICP (Inductively Coupled Plasma). ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຍຶດແຜ່ນ wafer, ພວກມັນໃຫ້ແພລດຟອມທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນເພື່ອຮອງຮັບແຜ່ນ sapphire ຫຼື GaN ໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນ plasma. ຄວາມຕ້ານທານ plasma ທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິຊ່ວຍໃຫ້ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການແກະສະຫຼັກສູງ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຜົນຜະລິດ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຊິບ LED.

3. ພະລັງງານແສງຕາເວັນ (PV) ແລະ ພະລັງງານແສງຕາເວັນ

ແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດແຜງແສງອາທິດ, ໂດຍສະເພາະໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການເຜົາໄໝ້ ແລະ ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ຄວາມเฉื่อยชาຂອງພວກມັນຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຕ້ານທານການບິດເບືອນຮັບປະກັນການປະມວນຜົນທີ່ສອດຄ່ອງຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຕໍ່າຂອງພວກມັນແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ການຮັກສາປະສິດທິພາບຂອງແຜງແສງອາທິດ.

ຄຸນສົມບັດຂອງແຜ່ນເຊລາມິກ SiC

1. ຄວາມເຂັ້ມແຂງ ແລະ ຄວາມແຂງກະດ້າງທາງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ

ແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກທີ່ສູງຫຼາຍ, ໂດຍມີຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍໂດຍທົ່ວໄປເກີນ 400 MPa ແລະ ຄວາມແຂງຂອງ Vickers ສູງເຖິງ >2000 HV. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກມັນທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທາງກົນຈັກ, ການຂັດ, ແລະ ການຜິດຮູບສູງ, ຮັບປະກັນອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ພາຍໃຕ້ການໂຫຼດສູງ ຫຼື ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ.

2. ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ

SiC ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ (ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນ 120–200 W/m·K), ຊ່ວຍໃຫ້ມັນສາມາດແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງທົ່ວເຖິງທົ່ວໜ້າດິນ. ຄຸນສົມບັດນີ້ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໃນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການແກະສະຫຼັກແຜ່ນເວເຟີ, ການວາງຊັ້ນ, ຫຼື ການເຜົາ, ບ່ອນທີ່ຄວາມສະເໝີພາບຂອງອຸນຫະພູມມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຜົນຜະລິດ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

3. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ

ດ້ວຍຈຸດລະລາຍສູງ (2700°C) ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ (4.0 × 10⁻⁶/K), ແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ ແລະ ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຫ້ອງສູນຍາກາດ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມຂອງພລາສມາ.

ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານເຕັກນິກ
ດັດຊະນີ	ໜ່ວຍ	ມູນຄ່າ
ຊື່ວັດສະດຸ		ຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ທີ່ເຜົາໄໝ້ດ້ວຍປະຕິກິລິຍາ	ຊິລິກອນຄາໄບຣດ໌ຊິນເຕີທີ່ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນ	ຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ທີ່ຖືກນຳມາໃຊ້ໃໝ່
ການປະພັນ		RBSiC	SSiC	R-SiC
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ	ກຣາມ/ຊມ3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
ຄວາມແຮງບີບອັດ	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
ຄວາມແຂງ	ຄນູບ	2700	2800	/
ທຳລາຍຄວາມຢືດຢຸ່ນ	MPa m1/2	4.5	4	/
ການນຳຄວາມຮ້ອນ	W/mk	95	120	23
ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ	10^-6.1/°C	5	4	4.7
ຄວາມຮ້ອນສະເພາະ	ຈູລ/ກຣາມ 0k	0.8	0.67	/
ອຸນຫະພູມສູງສຸດໃນອາກາດ	℃	1200	1500	1600
ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ	ເກຣດສະເລ່ຍ	360	410	240

ຖາມ-ຕອບກ່ຽວກັບແຜ່ນເຊລາມິກ SiC

ຖາມ: ຄຸນສົມບັດຂອງແຜ່ນຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນຫຍັງ?

ກ: ແຜ່ນຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີໃນດ້ານຄວາມແຂງແຮງ, ຄວາມແຂງກະດ້າງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງ. ພວກມັນສະເໜີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ. SiC ຍັງເປັນສານທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ, ທົນທານຕໍ່ກົດ, ດ່າງ, ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມຂອງພລາສມາ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການປຸງແຕ່ງແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ LED. ພື້ນຜິວທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ລຽບນຽນຂອງມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ, ຮັກສາຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ. ແຜ່ນ SiC ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນຕົວນຳແຜ່ນເວເຟີ, ຕົວຮັບ, ແລະ ສ່ວນປະກອບຮອງຮັບໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານແສງອາທິດ, ແລະ ການບິນອະວະກາດ.