TTV, BOW, WARP, ແລະ TIR ຫມາຍຄວາມວ່າແນວໃດໃນ Wafers?

ໃນເວລາທີ່ກວດເບິ່ງ wafers ຊິລິຄອນ semiconductor ຫຼື substrates ທີ່ເຮັດຈາກວັດສະດຸອື່ນໆ, ພວກເຮົາມັກຈະພົບກັບຕົວຊີ້ວັດດ້ານວິຊາການເຊັ່ນ: TTV, BOW, WARP, ແລະອາດຈະເປັນ TIR, STIR, LTV, ແລະອື່ນໆ. ຕົວກໍານົດການເຫຼົ່ານີ້ເປັນຕົວແທນແນວໃດ?

TTV — ການ​ປ່ຽນ​ແປງ​ຄວາມ​ຫນາ​ທັງ​ຫມົດ​
BOW — bow
WARP — Warp
TIR - ການອ່ານທີ່ຊີ້ບອກທັງໝົດ
ກະຕຸ້ນ — ເວັບໄຊທັງໝົດທີ່ຊີ້ບອກໃຫ້ອ່ານ
LTV — ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາທ້ອງຖິ່ນ

1. ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາທັງໝົດ — TTV

ຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງຄວາມຫນາສູງສຸດແລະຄວາມຫນາຕໍາ່ສຸດທີ່ຂອງ wafer ທຽບກັບຍົນອ້າງອີງໃນເວລາທີ່ wafer ຖືກຍຶດແລະຕິດຕໍ່ຢ່າງໃກ້ຊິດ. ມັນສະແດງອອກໂດຍທົ່ວໄປໃນ micrometers (μm), ມັກຈະສະແດງເປັນ: ≤15 μm.

2. bow — bow

ການບ່ຽງເບນລະຫວ່າງໄລຍະຫ່າງຕໍາ່ສຸດ ແລະສູງສຸດຈາກຈຸດສູນກາງຂອງພື້ນຜິວ wafer ກັບຍົນອ້າງອີງເມື່ອ wafer ຢູ່ໃນສະພາບທີ່ບໍ່ເສຍຄ່າ (unclamped). ນີ້ປະກອບມີທັງສອງກໍລະນີ concave ( bow ລົບ) ແລະ convex ( bow ໃນທາງບວກ). ມັນສະແດງອອກໂດຍປົກກະຕິໃນ micrometers (μm), ມັກຈະສະແດງເປັນ: ≤40 μm.

3. Warp — WARP

ການບ່ຽງເບນລະຫວ່າງໄລຍະຫ່າງຕໍາ່ສຸດແລະສູງສຸດຈາກພື້ນຜິວຂອງ wafer ກັບຍົນອ້າງອີງ (ປົກກະຕິແລ້ວດ້ານຫລັງຂອງ wafer) ໃນເວລາທີ່ wafer ຢູ່ໃນສະພາບທີ່ບໍ່ເສຍຄ່າ (unclamped). ນີ້ປະກອບມີທັງກໍລະນີ concave (ລົບ warp) ແລະ convex (warp ໃນທາງບວກ). ມັນສະແດງອອກໂດຍທົ່ວໄປໃນ micrometers (μm), ມັກຈະສະແດງເປັນ: ≤30 μm.

4. ການອ່ານທີ່ຊີ້ບອກທັງໝົດ — TIR

ເມື່ອ wafer ຖືກຍຶດແລະຕິດຕໍ່ຢ່າງໃກ້ຊິດ, ການນໍາໃຊ້ຍົນອ້າງອິງທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຜົນລວມຂອງການຂັດຂວາງຂອງຈຸດທັງຫມົດພາຍໃນພື້ນທີ່ທີ່ມີຄຸນນະພາບຫຼືພື້ນທີ່ທ້ອງຖິ່ນທີ່ລະບຸໄວ້ໃນຫນ້າດິນ wafer, TIR ແມ່ນການບິດເບືອນລະຫວ່າງໄລຍະຫ່າງສູງສຸດແລະຕໍາ່ສຸດທີ່ຈາກຫນ້າດິນ wafer ກັບຍົນອ້າງອີງນີ້.

ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍຄວາມຊໍານານເລິກໃນສະເພາະວັດສະດຸ semiconductor ເຊັ່ນ TTV, BOW, WARP, ແລະ TIR, XKH ໃຫ້ບໍລິການການປຸງແຕ່ງ wafer ແບບກໍານົດເອງທີ່ສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາທີ່ເຂັ້ມງວດ. ພວກເຮົາສະຫນອງແລະສະຫນັບສະຫນູນລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງວັດສະດຸປະສິດທິພາບສູງລວມທັງ sapphire, silicon carbide (SiC), silicon wafers, SOI, ແລະ quartz, ຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງເປັນພິເສດ, ຄວາມສອດຄ່ອງຄວາມຫນາ, ແລະຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກກ້າວຫນ້າທາງດ້ານໃນ optoelectronics, ອຸປະກອນພະລັງງານ, ແລະ MEMS. ໄວ້ໃຈພວກເຮົາເພື່ອສະຫນອງການແກ້ໄຂວັດສະດຸທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະເຄື່ອງກົນຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການອອກແບບທີ່ສຸດຂອງທ່ານ.