ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຕັກໂນໂລຊີເຄິ່ງຕົວນຳ, ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ແມ່ນແຕ່ອຸດສາຫະກຳແສງອາທິດ, ຂໍ້ກຳນົດສຳລັບຄຸນນະພາບພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຮອງແຜ່ນເວເຟີ ຫຼື ແຜ່ນ epitaxial ກໍ່ເຂັ້ມງວດຫຼາຍເຊັ່ນກັນ. ດັ່ງນັ້ນ, ຂໍ້ກຳນົດດ້ານຄຸນນະພາບສຳລັບແຜ່ນເວເຟີແມ່ນຫຍັງ?ເວເຟີແກ້ວປະເສີດຕົວຢ່າງເຊັ່ນ, ຕົວຊີ້ວັດໃດແດ່ທີ່ສາມາດໃຊ້ເພື່ອປະເມີນຄຸນນະພາບພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ?
ຕົວຊີ້ວັດການປະເມີນຜົນຂອງເວເຟີແມ່ນຫຍັງ?
ສາມຕົວຊີ້ວັດ
ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີ sapphire, ຕົວຊີ້ວັດການປະເມີນຜົນຂອງມັນແມ່ນຄ່າຄວາມບ່ຽງເບນຄວາມໜາທັງໝົດ (TTV), ໂຄ້ງ (Bow) ແລະ ໂຄ້ງ (Warp). ຕົວກໍານົດການທັງສາມນີ້ສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຄວາມໜາຂອງແຜ່ນເວເຟີຊິລິໂຄນ, ແລະ ສາມາດວັດແທກລະດັບຄວາມຜັນຜວນຂອງແຜ່ນເວເຟີໄດ້. ຮອຍລວດລາຍສາມາດລວມເຂົ້າກັບຄວາມຮາບພຽງເພື່ອປະເມີນຄຸນນະພາບຂອງໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີ.
TTV, BOW, Warp ແມ່ນຫຍັງ?
TTV (ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາທັງໝົດ)
TTV ແມ່ນຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງຄວາມໜາສູງສຸດ ແລະ ຕໍ່າສຸດຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ພາລາມິເຕີນີ້ແມ່ນດັດຊະນີທີ່ສຳຄັນທີ່ໃຊ້ເພື່ອວັດແທກຄວາມໜາຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳ, ຄວາມໜາຂອງແຜ່ນເວເຟີຕ້ອງເປັນເອກະພາບຫຼາຍທົ່ວພື້ນຜິວທັງໝົດ. ການວັດແທກມັກຈະເຮັດຢູ່ຫ້າຈຸດໃນແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຄວາມແຕກຕ່າງຈະຖືກຄິດໄລ່. ສຸດທ້າຍ, ຄ່ານີ້ແມ່ນພື້ນຖານທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຕັດສິນຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີ.
ໂບ
ໂຄ້ງໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳໝາຍເຖິງການໂຄ້ງຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງຈຸດກາງຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ບໍ່ມີການຍຶດຕິດ ແລະ ລະນາບອ້າງອີງວ່າງລົງ. ຄຳສັບນີ້ອາດຈະມາຈາກຄຳອະທິບາຍຮູບຮ່າງຂອງວັດຖຸເມື່ອມັນຖືກໂຄ້ງ, ຄືກັບຮູບຮ່າງໂຄ້ງຂອງໂຄ້ງ. ຄ່າໂຄ້ງຖືກນິຍາມໂດຍການວັດແທກຄວາມບ່ຽງເບນລະຫວ່າງຈຸດກາງ ແລະ ຂອບຂອງແຜ່ນເວເຟີຊິລິກອນ. ຄ່ານີ້ມັກຈະສະແດງອອກເປັນໄມໂຄຣແມັດ (µm).
ບິດງໍ
ການໂຄ້ງ (Warp) ເປັນຄຸນສົມບັດທົ່ວໂລກຂອງເວເຟີທີ່ວັດແທກຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງໄລຍະຫ່າງສູງສຸດ ແລະ ໄລຍະຫ່າງຕໍ່າສຸດລະຫວ່າງກາງຂອງເວເຟີທີ່ບໍ່ມີການຍຶດຕິດຢ່າງອິດສະຫຼະ ແລະ ລະນາບອ້າງອີງ. ສະແດງເຖິງໄລຍະຫ່າງຈາກໜ້າຜິວຂອງເວເຟີຊິລິໂຄນໄປຫາລະນາບ.
ຄວາມແຕກຕ່າງກັນລະຫວ່າງ TTV, Bow, Warp ແມ່ນຫຍັງ?
TTV ສຸມໃສ່ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາ ແລະ ບໍ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການບິດເບືອນ ຫຼື ການບິດເບືອນຂອງແຜ່ນເວເຟີ.
ໂຄ້ງຈະສຸມໃສ່ການໂຄ້ງໂດຍລວມ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນພິຈາລະນາເຖິງການໂຄ້ງຂອງຈຸດກາງ ແລະ ຂອບ.
ການບິດງໍມີຄວາມຄົບຖ້ວນກວ່າ, ລວມທັງການງໍ ແລະ ການບິດຂອງໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີທັງໝົດ.
ເຖິງແມ່ນວ່າຕົວກໍານົດການທັງສາມນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບຮູບຮ່າງ ແລະ ຄຸນສົມບັດທາງເລຂາຄະນິດຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ, ແຕ່ພວກມັນຖືກວັດແທກ ແລະ ອະທິບາຍແຕກຕ່າງກັນ, ແລະ ຜົນກະທົບຂອງມັນຕໍ່ຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນໍາ ແລະ ການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີກໍ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ຕົວກໍານົດການສາມຕົວນ້ອຍເທົ່າໃດ, ດີກວ່າເທົ່ານັ້ນ, ແລະຕົວກໍານົດການໃຫຍ່ເທົ່າໃດ, ຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນໍາກໍ່ຈະຫຼາຍຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ. ດັ່ງນັ້ນ, ໃນຖານະຜູ້ປະຕິບັດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ພວກເຮົາຕ້ອງຮັບຮູ້ເຖິງຄວາມສໍາຄັນຂອງຕົວກໍານົດໂປຣໄຟລ໌ເວເຟີສໍາລັບຂະບວນການທັງໝົດ, ເຮັດຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນໍາ, ຕ້ອງເອົາໃຈໃສ່ກັບລາຍລະອຽດ.
(ການກວດສອບ)
ເວລາໂພສ: ມິຖຸນາ-24-2024