Lithium Niobate ໃນ Insulator (LNOI): ຂັບລົດຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ Photonic

ແນະນຳ

ໄດ້ຮັບການດົນໃຈຈາກຄວາມສໍາເລັດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານເອເລັກໂຕຣນິກ (EICs), ພາກສະຫນາມຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ photonic (PICs) ໄດ້ຖືກພັດທະນານັບຕັ້ງແຕ່ການເລີ່ມຕົ້ນຂອງຕົນໃນປີ 1969. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ບໍ່ເຫມືອນກັບ EICs, ການພັດທະນາເວທີສາກົນທີ່ສາມາດສະຫນັບສະຫນູນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ photonic ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດຍັງຄົງເປັນສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນ. ບົດ​ຄວາມ​ນີ້​ຄົ້ນ​ຫາ​ເຕັກ​ໂນ​ໂລ​ຊີ Lithium Niobate ກ່ຽວ​ກັບ Insulator (LNOI​) ທີ່​ພົ້ນ​ເດັ່ນ​ຂື້ນ​, ເຊິ່ງ​ໄດ້​ຢ່າງ​ວ່ອງ​ໄວ​ກາຍ​ເປັນ​ການ​ແກ້​ໄຂ​ທີ່​ມີ​ຊື່​ສຽງ​ສໍາ​ລັບ PICs ລຸ້ນ​ຕໍ່​ໄປ​.


ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງເຕັກໂນໂລຊີ LNOI

Lithium niobate (LN) ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບມາດົນແລ້ວວ່າເປັນວັດສະດຸທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ photonic. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ພຽງແຕ່ມີການມາເຖິງຂອງ LNOI ຮູບເງົາບາງໆແລະເຕັກນິກການຜະລິດແບບພິເສດທີ່ມີທ່າແຮງອັນເຕັມທີ່ຂອງມັນໄດ້ຖືກປົດລັອກ. ນັກຄົ້ນຄວ້າໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນຜົນສໍາເລັດຂອງ waveguides ultra-low-loss ridges ແລະ ultra-high-Q microresonators ເທິງເວທີ LNOI [1], marks a lemp ທີ່ສໍາຄັນໃນ photonics ປະສົມປະສານ.


ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຂອງເຕັກໂນໂລຊີ LNOI

  • ການສູນເສຍ optical ຕ່ໍາສຸດ(ຕໍ່າສຸດ 0.01 dB/cm)
  • ໂຄງສ້າງ nanophotonic ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ
  • ສະຫນັບສະຫນູນຂະບວນການ optical nonlinear ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ
  • ການປັບປ່ຽນແບບປະສົມປະສານຂອງ electro-optic (EO).

ຂະບວນການ Optical ທີ່ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນຢູ່ LNOI

ໂຄງສ້າງ nanophotonic ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຜະລິດຢູ່ໃນແພລະຕະຟອມ LNOI ຊ່ວຍໃຫ້ຂະບວນການ optical nonlinear ທີ່ແທ້ຈິງມີປະສິດຕິພາບທີ່ໂດດເດັ່ນແລະພະລັງງານປັ໊ມຫນ້ອຍທີ່ສຸດ. ຂະ​ບວນ​ການ​ສະ​ແດງ​ໃຫ້​ເຫັນ​ປະ​ກອບ​ມີ​:

  • ການຜະລິດຮາໂມນິກທີສອງ (SHG)
  • ການຜະລິດຄວາມຖີ່ລວມ (SFG)
  • ຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງການຜະລິດຄວາມຖີ່ (DFG)
  • Parametric Down-Conversion (PDC)
  • ການປະສົມສີ່ຄື້ນ (FWM)

ໂຄງການຈັບຄູ່ໄລຍະຕ່າງໆໄດ້ຖືກປະຕິບັດເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, ສ້າງຕັ້ງ LNOI ເປັນແພລະຕະຟອມ optical nonlinear ທີ່ມີຄວາມຫລາກຫລາຍສູງ.


ອຸປະກອນປະສົມປະສານ Electro-Optically Tunable

ເທກໂນໂລຍີ LNOI ຍັງໄດ້ເປີດໃຊ້ການພັດທະນາຂອງອຸປະກອນ photonic tunable ທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວແລະຕົວຕັ້ງຕົວຕີທີ່ກວ້າງຂວາງ, ເຊັ່ນ:

  • Modulator optical ຄວາມໄວສູງ
  • PICs multifunctional ທີ່ສາມາດປັບຕັ້ງຄ່າໄດ້
  • combs ຄວາມຖີ່ທີ່ສາມາດປັບໄດ້
  • ນ້ຳພຸ Micro-optomechanical

ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ຄຸນສົມບັດ EO ພາຍໃນຂອງ lithium niobate ເພື່ອບັນລຸການຄວບຄຸມຄວາມໄວສູງຂອງສັນຍານແສງສະຫວ່າງທີ່ຊັດເຈນ.


ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກພາກປະຕິບັດຂອງ LNOI Photonics

PICs ທີ່ອີງໃສ່ LNOI ໄດ້ຖືກຮັບຮອງເອົາໃນຈໍານວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກພາກປະຕິບັດ, ລວມທັງ:

  • ຕົວປ່ຽນໄມໂຄເວຟຫາແສງ
  • ເຊັນເຊີ optical
  • on-chip spectrometers
  • combs ຄວາມຖີ່ optical
  • ລະບົບໂທລະຄົມມະນາຄົມຂັ້ນສູງ

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຫຼົ່ານີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນທ່າແຮງຂອງ LNOI ທີ່ຈະກົງກັບການປະຕິບັດຂອງອົງປະກອບ optic bulk, ໃນຂະນະທີ່ສະເຫນີການແກ້ໄຂທີ່ມີຂະຫນາດ, ປະສິດທິພາບພະລັງງານໂດຍຜ່ານການຜະລິດ photolithographic.


ສິ່ງທ້າທາຍໃນປະຈຸບັນແລະທິດທາງໃນອະນາຄົດ

ເຖິງວ່າຈະມີຄວາມຄືບຫນ້າທີ່ດີ, ເຕັກໂນໂລຊີ LNOI ປະເຊີນກັບອຸປະສັກດ້ານວິຊາການຫຼາຍ:

a) ການຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍ Optical ຕື່ມອີກ
ການ​ສູນ​ເສຍ waveguide ໃນ​ປະ​ຈຸ​ບັນ (0.01 dB/cm​) ແມ່ນ​ຍັງ​ເປັນ​ຄໍາ​ສັ່ງ​ຂອງ​ຂະ​ຫນາດ​ສູງ​ກ​່​ວາ​ກໍາ​ນົດ​ການ​ດູດ​ຊຶມ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​. ຄວາມກ້າວຫນ້າໃນເຕັກນິກການຕັດ ion-slicing ແລະ nanofabrication ແມ່ນຈໍາເປັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງຫນ້າດິນແລະຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການດູດຊຶມ.

b) ການປັບປຸງການຄວບຄຸມ Geometry Waveguide
ການເຮັດໃຫ້ sub-700 nm waveguides ແລະ sub-2 μm coupling ຊ່ອງຫວ່າງໂດຍບໍ່ມີການເສຍສະລະການຊ້ໍາກັນຫຼືການເພີ່ມການສູນເສຍການຂະຫຍາຍພັນແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສູງຂຶ້ນ.

c) ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບການເຊື່ອມ
ໃນຂະນະທີ່ເສັ້ນໃຍ tapered ແລະຕົວແປງຮູບແບບຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸປະສິດທິພາບການເຊື່ອມສູງ, ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສະທ້ອນຂອງການໂຕ້ຕອບຂອງວັດສະດຸທາງອາກາດ.

d) ການພັດທະນາອົງປະກອບ Polarization ການສູນເສຍຕ່ໍາ
ອຸປະກອນໂຟໂຕນິກທີ່ບໍ່ອ່ອນໄຫວດ້ານຂົ້ວໂລກໃນ LNOI ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນ, ຕ້ອງມີອົງປະກອບທີ່ກົງກັບການປະຕິບັດຂອງຂົ້ວພື້ນທີ່ຫວ່າງ.

e) ການປະສົມປະສານຂອງການຄວບຄຸມເອເລັກໂຕຣນິກ
ການລວມເອົາອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກຄວບຄຸມຂະຫນາດໃຫຍ່ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໂດຍບໍ່ມີການຫຼຸດລົງປະສິດທິພາບ optical ແມ່ນທິດທາງການຄົ້ນຄວ້າທີ່ສໍາຄັນ.

f) Advanced Phase Matching and Dispersion Engineering
ການສ້າງຮູບແບບໂດເມນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຢູ່ທີ່ຄວາມລະອຽດຍ່ອຍ micron ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບ optics nonlinear ແຕ່ຍັງຄົງເປັນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ຍັງອ່ອນຢູ່ໃນເວທີ LNOI.

g) ການຊົດເຊີຍສໍາລັບຄວາມບົກຜ່ອງ Fabrication
ເຕັກນິກເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງໄລຍະທີ່ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຂອງສະພາບແວດລ້ອມຫຼືຄວາມແຕກຕ່າງກັນ fabrication ແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຕົວຈິງໃນໂລກ.

h) Coupling ຫຼາຍຊິບປະສິດທິພາບ
ການແກ້ໄຂການເຊື່ອມສານປະສິດຕິພາບລະຫວ່າງຊິບ LNOI ຫຼາຍອັນແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນເພື່ອຂະຫຍາຍຂອບເຂດຈໍາກັດການລວມຕົວແບບດຽວ.


ການປະສົມປະສານ Monolithic ຂອງອົງປະກອບທີ່ຫ້າວຫັນແລະຕົວຕັ້ງຕົວຕີ

ສິ່ງທ້າທາຍຫຼັກສໍາລັບ LNOI PICs ແມ່ນການເຊື່ອມໂຍງແບບ monolithic ທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບທີ່ຫ້າວຫັນແລະຕົວຕັ້ງຕົວຕີເຊັ່ນ:

  • ເລເຊີ
  • ເຄື່ອງກວດຈັບ
  • ຕົວປ່ຽນ wavelength nonlinear
  • Modulators
  • Multiplexers/Demultiplexers

ຍຸດທະສາດໃນປະຈຸບັນປະກອບມີ:

a) ຝຸ່ນ Ion ຂອງ LNOI:
ການເລືອກ doping ຂອງ ion ທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວເຂົ້າໄປໃນພາກພື້ນທີ່ກໍານົດສາມາດນໍາໄປສູ່ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງໃນຊິບ.

b) ຄວາມຜູກພັນແລະການລວມຕົວແບບ heterogeneous:
ການຜູກມັດທາງສ່ວນຫນ້າຂອງ LNOI PICs passive passive ກັບຊັ້ນ LNOI doped ຫຼື lasers III-V ສະຫນອງເສັ້ນທາງທາງເລືອກ.

c) Hybrid Active/Passive LNOI Wafer Fabrication:
ວິທີການປະດິດສ້າງກ່ຽວຂ້ອງກັບການຜູກມັດ wafers LN doped ແລະ undoped ກ່ອນທີ່ຈະ slicing ion, ສົ່ງຜົນໃຫ້ LNOI wafers ມີທັງພາກພື້ນທີ່ຫ້າວຫັນແລະ passive.

ຮູບທີ 1ສະແດງໃຫ້ເຫັນແນວຄວາມຄິດຂອງ PICs active/passive ປະສົມປະສານແບບປະສົມ, ບ່ອນທີ່ຂະບວນການ lithographic ດຽວເຮັດໃຫ້ການສອດຄ່ອງ seamless ແລະປະສົມປະສານຂອງທັງສອງປະເພດຂອງອົງປະກອບ.

LNOI


ການປະສົມປະສານຂອງເຄື່ອງກວດຈັບພາບ

ການລວມຕົວເຄື່ອງກວດຈັບພາບເຂົ້າໄປໃນ PIC ທີ່ອີງໃສ່ LNOI ແມ່ນອີກບາດກ້າວໜຶ່ງທີ່ສຳຄັນຕໍ່ກັບລະບົບທີ່ເຮັດວຽກໄດ້ເຕັມຮູບແບບ. ສອງວິທີການຕົ້ນຕໍແມ່ນຢູ່ພາຍໃຕ້ການສືບສວນ:

ກ) ການລວມຕົວແບບດຽວກັນ:
semiconductor nanostructures ສາ​ມາດ​ໄດ້​ຮັບ​ການ​ປະ​ສົມ​ຊົ່ວ​ຄາວ​ກັບ LNOI waveguides. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ການປັບປຸງປະສິດທິພາບການຊອກຄົ້ນຫາແລະການຂະຫຍາຍແມ່ນຍັງຕ້ອງການ.

b) ການແປງຄື້ນທີ່ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນຊື່:
ຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນຊື່ຂອງ LN ອະນຸຍາດໃຫ້ມີການແປງຄວາມຖີ່ພາຍໃນ waveguides, ເຮັດໃຫ້ການນໍາໃຊ້ຂອງມາດຕະຖານ silicon photodetectors ໂດຍບໍ່ຄໍານຶງເຖິງຄວາມຍາວ wavelength ປະຕິບັດງານ.


ສະຫຼຸບ

ຄວາມກ້າວຫນ້າຢ່າງໄວວາຂອງເຕັກໂນໂລຢີ LNOI ເຮັດໃຫ້ອຸດສາຫະກໍາໃກ້ຊິດກັບແພລະຕະຟອມ PIC ທົ່ວໄປທີ່ສາມາດໃຫ້ບໍລິການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ໂດຍການແກ້ໄຂສິ່ງທ້າທາຍທີ່ມີຢູ່ແລ້ວແລະຊຸກຍູ້ການປະດິດສ້າງໃນການເຊື່ອມໂຍງແບບ monolithic ແລະເຄື່ອງກວດຈັບ, PICs ທີ່ອີງໃສ່ LNOI ມີທ່າແຮງທີ່ຈະປະຕິວັດໃນຂົງເຂດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ໂທລະຄົມ, ຂໍ້ມູນ quantum, ແລະການຮັບຮູ້.

LNOI ຖືສັນຍາທີ່ຈະປະຕິບັດວິໄສທັດອັນຍາວນານຂອງ PICs ທີ່ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້, ກົງກັບຜົນສໍາເລັດແລະຜົນກະທົບຂອງ EICs. ຄວາມພະຍາຍາມ R&D ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ - ເຊັ່ນວ່າມາຈາກເວທີ Nanjing Photonics Process ແລະ XiaoyaoTech Design Platform - ຈະເປັນຈຸດສໍາຄັນໃນການສ້າງອະນາຄົດຂອງ photonics ປະສົມປະສານແລະປົດລັອກຄວາມເປັນໄປໄດ້ໃຫມ່ໃນທົ່ວໂດເມນເຕັກໂນໂລຢີ.


ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-18-2025