ຄວາມເຂົ້າໃຈຢ່າງເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບລະບົບ SPC ໃນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີ

1. ພາບລວມຂອງລະບົບ SPC

SPC ເປັນວິທີການທີ່ໃຊ້ເຕັກນິກທາງສະຖິຕິເພື່ອຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ຄວບຄຸມຂະບວນການຜະລິດ. ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງມັນແມ່ນເພື່ອກວດຫາຄວາມຜິດປົກກະຕິໃນຂະບວນການຜະລິດໂດຍການເກັບກຳ ແລະ ວິເຄາະຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງ, ຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນສາມາດປັບປຸງ ແລະ ຕັດສິນໃຈໄດ້ທັນເວລາ. ເປົ້າໝາຍຂອງ SPC ແມ່ນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງໃນຂະບວນການຜະລິດ, ຮັບປະກັນວ່າຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນຍັງຄົງທີ່ ແລະ ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການ.

SPC ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກເພື່ອ:

ຕິດຕາມພາລາມິເຕີອຸປະກອນທີ່ສຳຄັນ (ເຊັ່ນ: ອັດຕາການກັດ, ພະລັງງານ RF, ຄວາມດັນຂອງຫ້ອງ, ອຸນຫະພູມ, ແລະອື່ນໆ)

ວິເຄາະຕົວຊີ້ວັດຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນທີ່ສຳຄັນ (ເຊັ່ນ: ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນ, ຄວາມເລິກຂອງການແກະສະຫຼັກ, ຄວາມຫຍາບຂອງຂອບ, ແລະອື່ນໆ)

ໂດຍການຕິດຕາມຕົວກໍານົດເຫຼົ່ານີ້, ວິສະວະກອນສາມາດກວດພົບແນວໂນ້ມທີ່ຊີ້ບອກເຖິງການເສື່ອມໂຊມຂອງປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ ຫຼື ຄວາມແຕກຕ່າງໃນຂະບວນການຜະລິດ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການເສຍ.

2. ອົງປະກອບພື້ນຖານຂອງລະບົບ SPC

ລະບົບ SPC ປະກອບດ້ວຍໂມດູນຫຼັກຫຼາຍອັນຄື:

ໂມດູນເກັບກຳຂໍ້ມູນ: ເກັບກຳຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງຈາກອຸປະກອນ ແລະ ຂະບວນການ (ເຊັ່ນ: ຜ່ານລະບົບ FDC, EES) ແລະ ບັນທຶກພາລາມິເຕີທີ່ສຳຄັນ ແລະ ຜົນໄດ້ຮັບການຜະລິດ.

ໂມດູນຕາຕະລາງຄວບຄຸມ: ໃຊ້ຕາຕະລາງຄວບຄຸມທາງສະຖິຕິ (ເຊັ່ນ: ຕາຕະລາງ X-Bar, ຕາຕະລາງ R, ຕາຕະລາງ Cp/Cpk) ເພື່ອສະແດງພາບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ ແລະ ຊ່ວຍກຳນົດວ່າຂະບວນການນັ້ນຢູ່ໃນການຄວບຄຸມຫຼືບໍ່.

ລະບົບເຕືອນໄພ: ກະຕຸ້ນສັນຍານເຕືອນໄພເມື່ອພາລາມິເຕີທີ່ສຳຄັນເກີນຂອບເຂດການຄວບຄຸມ ຫຼື ສະແດງການປ່ຽນແປງແນວໂນ້ມ, ກະຕຸ້ນໃຫ້ວິສະວະກອນດຳເນີນການ.

ໂມດູນການວິເຄາະ ແລະ ລາຍງານ: ວິເຄາະສາເຫດຕົ້ນຕໍຂອງຄວາມຜິດປົກກະຕິໂດຍອີງໃສ່ຕາຕະລາງ SPC ແລະ ສ້າງລາຍງານປະສິດທິພາບສຳລັບຂະບວນການ ແລະ ອຸປະກອນເປັນປະຈຳ.

3. ຄຳອະທິບາຍລະອຽດກ່ຽວກັບຕາຕະລາງຄວບຄຸມໃນ SPC

ຕາຕະລາງຄວບຄຸມແມ່ນໜຶ່ງໃນເຄື່ອງມືທີ່ນິຍົມໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນ SPC, ຊ່ວຍໃນການຈຳແນກລະຫວ່າງ "ການປ່ຽນແປງປົກກະຕິ" (ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການທຳມະຊາດ) ແລະ "ການປ່ຽນແປງທີ່ຜິດປົກກະຕິ" (ເກີດຈາກຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ ຫຼື ຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງຂະບວນການ). ຕາຕະລາງຄວບຄຸມທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ຕາຕະລາງ X-Bar ແລະ R: ໃຊ້ເພື່ອຕິດຕາມກວດກາຄ່າສະເລ່ຍ ແລະ ຂອບເຂດພາຍໃນກຸ່ມການຜະລິດເພື່ອສັງເກດວ່າຂະບວນການມີຄວາມໝັ້ນຄົງຫຼືບໍ່.

ດັດຊະນີ Cp ແລະ Cpk: ໃຊ້ເພື່ອວັດແທກຄວາມສາມາດຂອງຂະບວນການ, ເຊັ່ນວ່າຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະໄດ້ຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີຫຼືບໍ່. Cp ວັດແທກຄວາມສາມາດທີ່ມີທ່າແຮງ, ໃນຂະນະທີ່ Cpk ພິຈາລະນາຄວາມບ່ຽງເບນຂອງສູນກາງຂະບວນການຈາກຂີດຈຳກັດສະເພາະ.

ຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ທ່ານອາດຈະຕິດຕາມກວດກາຕົວກໍານົດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ອັດຕາການແກະສະຫຼັກ ແລະ ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ. ຖ້າອັດຕາການແກະສະຫຼັກຂອງອຸປະກອນໃດໜຶ່ງເກີນຂອບເຂດການຄວບຄຸມ, ທ່ານສາມາດໃຊ້ຕາຕະລາງຄວບຄຸມເພື່ອກໍານົດວ່ານີ້ແມ່ນການປ່ຽນແປງຕາມທໍາມະຊາດ ຫຼື ເປັນຕົວຊີ້ບອກເຖິງການເຮັດວຽກຜິດປົກກະຕິຂອງອຸປະກອນ.

4. ການນຳໃຊ້ SPC ໃນອຸປະກອນແກະສະຫຼັກ

ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ການຄວບຄຸມຕົວກໍານົດການອຸປະກອນແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ, ແລະ SPC ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການໃນວິທີຕໍ່ໄປນີ້:

ການຕິດຕາມກວດກາສະພາບອຸປະກອນ: ລະບົບຕ່າງໆເຊັ່ນ FDC ເກັບກຳຂໍ້ມູນໃນເວລາຈິງກ່ຽວກັບພາລາມິເຕີຫຼັກຂອງອຸປະກອນແກະສະຫຼັກ (ເຊັ່ນ: ພະລັງງານ RF, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ) ແລະ ລວມຂໍ້ມູນນີ້ກັບຕາຕະລາງຄວບຄຸມ SPC ເພື່ອກວດຫາບັນຫາອຸປະກອນທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນ. ຕົວຢ່າງ, ຖ້າທ່ານເຫັນວ່າພະລັງງານ RF ໃນຕາຕະລາງຄວບຄຸມຄ່ອຍໆຫ່າງອອກຈາກຄ່າທີ່ຕັ້ງໄວ້, ທ່ານສາມາດປະຕິບັດການປັບປຸງ ຫຼື ບຳລຸງຮັກສາແຕ່ຫົວທີເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ການຕິດຕາມກວດກາຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ: ທ່ານຍັງສາມາດປ້ອນພາລາມິເຕີຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນທີ່ສຳຄັນ (ເຊັ່ນ: ຄວາມເລິກຂອງການແກະສະຫຼັກ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນ) ເຂົ້າໃນລະບົບ SPC ເພື່ອຕິດຕາມກວດກາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມັນ. ຖ້າຕົວຊີ້ວັດຜະລິດຕະພັນທີ່ສຳຄັນບາງຢ່າງຄ່ອຍໆເບັ່ງເບັ່ງອອກຈາກຄ່າເປົ້າໝາຍ, ລະບົບ SPC ຈະອອກສັນຍານເຕືອນ, ຊີ້ບອກວ່າຕ້ອງມີການປັບປ່ຽນຂະບວນການ.

ການບຳລຸງຮັກສາແບບປ້ອງກັນ (PM): SPC ສາມາດຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງວົງຈອນການບຳລຸງຮັກສາແບບປ້ອງກັນສຳລັບອຸປະກອນ. ໂດຍການວິເຄາະຂໍ້ມູນໄລຍະຍາວກ່ຽວກັບປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ ແລະ ຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການ, ທ່ານສາມາດກຳນົດເວລາທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບການບຳລຸງຮັກສາອຸປະກອນ. ຕົວຢ່າງ, ໂດຍການຕິດຕາມພະລັງງານ RF ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງ ESC, ທ່ານສາມາດກຳນົດເວລາທີ່ຕ້ອງການການທຳຄວາມສະອາດ ຫຼື ການປ່ຽນແທນອົງປະກອບ, ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ ແລະ ເວລາຢຸດການຜະລິດ.

5. ຄຳແນະນຳໃນການນຳໃຊ້ປະຈຳວັນສຳລັບລະບົບ SPC

ເມື່ອນຳໃຊ້ລະບົບ SPC ໃນການດຳເນີນງານປະຈຳວັນ, ສາມາດປະຕິບັດຕາມຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປນີ້ໄດ້:

ກຳນົດຕົວກຳນົດການຄວບຄຸມຫຼັກ (KPI): ກຳນົດຕົວກຳນົດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດໃນຂະບວນການຜະລິດ ແລະ ລວມເຂົ້າໃນການຕິດຕາມກວດກາ SPC. ຕົວກຳນົດເຫຼົ່ານີ້ຄວນກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ.

ກຳນົດຂອບເຂດການຄວບຄຸມ ແລະ ຂອບເຂດສັນຍານເຕືອນ: ອີງຕາມຂໍ້ມູນປະຫວັດສາດ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ, ກຳນົດຂອບເຂດການຄວບຄຸມ ແລະ ຂອບເຂດສັນຍານເຕືອນທີ່ສົມເຫດສົມຜົນສຳລັບແຕ່ລະພາລາມິເຕີ. ຂອບເຂດການຄວບຄຸມມັກຈະຖືກຕັ້ງໄວ້ທີ່ ±3σ (ຄ່າຜັນປ່ຽນມາດຕະຖານ), ໃນຂະນະທີ່ຂອບເຂດສັນຍານເຕືອນແມ່ນອີງໃສ່ເງື່ອນໄຂສະເພາະຂອງຂະບວນການ ແລະ ອຸປະກອນ.

ການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ການວິເຄາະຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ: ທົບທວນຄືນຕາຕະລາງຄວບຄຸມ SPC ເປັນປະຈຳເພື່ອວິເຄາະແນວໂນ້ມ ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງຂໍ້ມູນ. ຖ້າບາງພາລາມິເຕີເກີນຂອບເຂດການຄວບຄຸມ, ຕ້ອງມີການປະຕິບັດທັນທີ, ເຊັ່ນ: ການປັບພາລາມິເຕີອຸປະກອນ ຫຼື ການປະຕິບັດການບຳລຸງຮັກສາອຸປະກອນ.

ການຈັດການຄວາມຜິດປົກກະຕິ ແລະ ການວິເຄາະສາເຫດຕົ້ນຕໍ: ເມື່ອມີຄວາມຜິດປົກກະຕິເກີດຂຶ້ນ, ລະບົບ SPC ຈະບັນທຶກຂໍ້ມູນລະອຽດກ່ຽວກັບເຫດການດັ່ງກ່າວ. ທ່ານຈຳເປັນຕ້ອງແກ້ໄຂບັນຫາ ແລະ ວິເຄາະສາເຫດຕົ້ນຕໍຂອງຄວາມຜິດປົກກະຕິໂດຍອີງໃສ່ຂໍ້ມູນນີ້. ມັນມັກຈະເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະລວມຂໍ້ມູນຈາກລະບົບ FDC, ລະບົບ EES, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອວິເຄາະວ່າບັນຫາດັ່ງກ່າວແມ່ນເກີດຈາກຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ, ການບ່ຽງເບນຂອງຂະບວນການ, ຫຼື ປັດໄຈສິ່ງແວດລ້ອມພາຍນອກ.

ການປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ: ໂດຍການນຳໃຊ້ຂໍ້ມູນປະຫວັດສາດທີ່ບັນທຶກໄວ້ໂດຍລະບົບ SPC, ກຳນົດຈຸດອ່ອນໃນຂະບວນການ ແລະ ສະເໜີແຜນການປັບປຸງ. ຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ວິເຄາະຜົນກະທົບຂອງອາຍຸການໃຊ້ງານ ແລະ ວິທີການທຳຄວາມສະອາດຂອງ ESC ຕໍ່ວົງຈອນການບຳລຸງຮັກສາອຸປະກອນ ແລະ ປັບປຸງຕົວກຳນົດການດຳເນີນງານຂອງອຸປະກອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

6. ກໍລະນີການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ

ຕົວຢ່າງປະຕິບັດ, ສົມມຸດວ່າທ່ານຮັບຜິດຊອບອຸປະກອນແກະສະຫຼັກ E-MAX, ແລະແຄໂທດຂອງຫ້ອງກຳລັງປະສົບກັບການສວມໃສ່ກ່ອນໄວອັນຄວນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຄ່າ D0 (ຂໍ້ບົກພ່ອງ BARC). ໂດຍການຕິດຕາມພະລັງງານ RF ແລະອັດຕາການແກະສະຫຼັກຜ່ານລະບົບ SPC, ທ່ານສັງເກດເຫັນແນວໂນ້ມທີ່ພາລາມິເຕີເຫຼົ່ານີ້ຄ່ອຍໆເບັ່ງເບັ່ງອອກຈາກຄ່າທີ່ຕັ້ງໄວ້. ຫຼັງຈາກສັນຍານເຕືອນ SPC ຖືກກະຕຸ້ນ, ທ່ານຈະລວມຂໍ້ມູນຈາກລະບົບ FDC ແລະກຳນົດວ່າບັນຫາດັ່ງກ່າວເກີດຈາກການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງພາຍໃນຫ້ອງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ທ່ານຈະປະຕິບັດວິທີການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ຍຸດທະສາດການບຳລຸງຮັກສາແບບໃໝ່, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ຫຼຸດຄ່າ D0 ຈາກ 4.3 ເປັນ 2.4, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ.

7. ໃນ XINKEHUI ທ່ານສາມາດໄດ້ຮັບ.

ທີ່ XINKEHUI, ທ່ານສາມາດບັນລຸເວເຟີທີ່ສົມບູນແບບ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນເວເຟີຊິລິໂຄນ ຫຼື ເວເຟີ SiC. ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການສະໜອງເວເຟີທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສຸດສຳລັບອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ, ໂດຍສຸມໃສ່ຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ປະສິດທິພາບ.