substrate silicon carbide ແບ່ງອອກເປັນປະເພດເຄິ່ງ insulating ແລະປະເພດ conductive. ໃນປັດຈຸບັນ, ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງຜະລິດຕະພັນຊັ້ນລຸ່ມຂອງຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ມີ insulated ແມ່ນ 4 ນິ້ວ. ໃນຕະຫຼາດຊິລິໂຄນ carbide conductive, ຜະລິດຕະພັນ substrate ຕົ້ນຕໍໃນປະຈຸບັນແມ່ນ 6 ນິ້ວ.
ເນື່ອງຈາກຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ downstream ໃນພາກສະຫນາມ RF, ເຄິ່ງ insulated SiC substrates ແລະວັດສະດຸ epitaxial ແມ່ນຂຶ້ນກັບການຄວບຄຸມການສົ່ງອອກໂດຍກະຊວງການຄ້າສະຫະລັດ. SiC ເຄິ່ງ insulated ເປັນ substrate ເປັນອຸປະກອນທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບ GaN heteroepitaxy ແລະມີຄວາມສົດໃສດ້ານການນໍາໃຊ້ທີ່ສໍາຄັນໃນພາກສະຫນາມ microwave. ເມື່ອປຽບທຽບກັບ Crystal mismatch ຂອງ sapphire 14% ແລະ Si 16.9%, crystal mismatch ຂອງ SiC ແລະ GaN ວັດສະດຸແມ່ນມີພຽງແຕ່ 3.4%. ຄຽງຄູ່ກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງສຸດຂອງ SiC, ປະສິດທິພາບພະລັງງານສູງ LED ແລະ GaN ຄວາມຖີ່ສູງແລະອຸປະກອນໄມໂຄເວຟພະລັງງານສູງທີ່ກະກຽມໂດຍມັນມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ໃນ radar, ອຸປະກອນ microwave ພະລັງງານສູງແລະລະບົບການສື່ສານ 5G.
ການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາຂອງ substrate SiC ເຄິ່ງ insulated ໄດ້ສະເຫມີເປັນຈຸດສຸມຂອງການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາຂອງ substrate ໄປເຊຍກັນ SiC ດຽວ. ມີສອງຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຕົ້ນຕໍໃນການຂະຫຍາຍຕົວວັດສະດຸ SiC ເຄິ່ງ insulated:
1) ຫຼຸດຜ່ອນ N donor impurities ນໍາສະເຫນີໂດຍ graphite crucible, insulation adsorption ຄວາມຮ້ອນແລະ doping ໃນຝຸ່ນ;
2) ໃນຂະນະທີ່ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງໄປເຊຍກັນ, ສູນກາງລະດັບເລິກໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເພື່ອຊົດເຊີຍ impurities ລະດັບຕື້ນທີ່ຕົກຄ້າງກັບກິດຈະກໍາໄຟຟ້າ.
ໃນປັດຈຸບັນ, ຜູ້ຜະລິດທີ່ມີກໍາລັງການຜະລິດເຄິ່ງ insulated SiC ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນບໍລິສັດ SICC, Semisic Crystal Co, Tanke Blue, ບໍລິສັດ Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
ໄປເຊຍກັນ SiC conductive ແມ່ນບັນລຸໄດ້ໂດຍການສີດໄນໂຕຣເຈນເຂົ້າໄປໃນບັນຍາກາດການຂະຫຍາຍຕົວ. substrate silicon carbide ຕົ້ນຕໍຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດອຸປະກອນພະລັງງານ, ອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide ທີ່ມີແຮງດັນສູງ, ປະຈຸບັນສູງ, ອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຖີ່ສູງ, ການສູນເສຍຕ່ໍາແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກອື່ນໆ, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈະປັບປຸງການນໍາໃຊ້ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວຂອງອຸປະກອນພະລັງງານ silicon. ປະສິດທິພາບການປ່ຽນໃຈເຫລື້ອມໃສ, ມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນແລະໄກໃນພາກສະຫນາມຂອງການແປງພະລັງງານປະສິດທິພາບ. ພື້ນທີ່ນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍແມ່ນຍານພາຫະນະໄຟຟ້າ / ເສົາໄຟຟ້າ, ພະລັງງານໃຫມ່ photovoltaic, ການຂົນສົ່ງທາງລົດໄຟ, ຕາຂ່າຍໄຟຟ້າ smart ແລະອື່ນໆ. ເນື່ອງຈາກວ່າສາຍນ້ໍາຂອງຜະລິດຕະພັນ conductive ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອຸປະກອນພະລັງງານໃນຍານພາຫະນະໄຟຟ້າ, photovoltaic ແລະຂົງເຂດອື່ນໆ, ຄວາມສົດໃສດ້ານຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແມ່ນກວ້າງຂວາງ, ແລະຜູ້ຜະລິດມີຈໍານວນຫລາຍຂຶ້ນ.
Silicon carbide crystal ປະເພດ: ໂຄງສ້າງປົກກະຕິຂອງ 4H crystalline silicon carbide ທີ່ດີທີ່ສຸດສາມາດແບ່ງອອກເປັນສອງປະເພດ, ຫນຶ່ງແມ່ນ cubic silicon carbide ໄປເຊຍກັນຂອງໂຄງສ້າງ sphalerite, ຮູ້ຈັກເປັນ 3C-SiC ຫຼື β-SiC, ແລະອື່ນໆແມ່ນ hexagonal. ຫຼືໂຄງສ້າງເພັດຂອງໂຄງສ້າງໄລຍະເວລາຂະຫນາດໃຫຍ່, ເຊິ່ງປົກກະຕິຂອງ 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, ແລະອື່ນໆ, ເອີ້ນວ່າ α-SiC. 3C-SiC ມີປະໂຫຍດຂອງການຕໍ່ຕ້ານສູງໃນອຸປະກອນການຜະລິດ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງກັນສູງລະຫວ່າງ Si ແລະ SiC lattice ຄົງທີ່ແລະຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມບົກຜ່ອງຈໍານວນຫລາຍໃນຊັ້ນ epitaxial 3C-SiC. 4H-SiC ມີທ່າແຮງອັນໃຫຍ່ຫຼວງໃນການຜະລິດ MOSFETs, ເພາະວ່າການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໄປເຊຍກັນແລະຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial ແມ່ນດີເລີດ, ແລະໃນແງ່ຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງເອເລັກໂຕຣນິກ, 4H-SiC ແມ່ນສູງກວ່າ 3C-SiC ແລະ 6H-SiC, ສະຫນອງຄຸນລັກສະນະໄມໂຄເວຟທີ່ດີກວ່າສໍາລັບ 4H. -SiC MOSFETs.
ຖ້າມີການລະເມີດ, ຕິດຕໍ່ລຶບ
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-16-2024