​ຫົວຂໍ້: FOUP ແມ່ນຫຍັງໃນການຜະລິດຊິບ?

ສາລະບານ

1.​ ພາບລວມ ແລະ ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງ FOUP

2.​​ໂຄງສ້າງ ແລະ ລັກສະນະການອອກແບບຂອງ FOUP​

3. ການຈັດປະເພດ ແລະ ແນວທາງການນຳໃຊ້ FOUP

4. ການດຳເນີນງານ ແລະ ຄວາມສຳຄັນຂອງ FOUP ໃນການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ

5.​ສິ່ງທ້າທາຍທາງດ້ານເຕັກນິກ ແລະ ແນວໂນ້ມການພັດທະນາໃນອະນາຄົດ​

6. ວິທີແກ້ໄຂ ແລະ ການສະໜັບສະໜູນການບໍລິການທີ່ກຳນົດເອງຂອງ XKH

ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, FOUP (Front Opening Unified Pod) ແມ່ນພາຊະນະທີ່ສຳຄັນທີ່ໃຊ້ສຳລັບປົກປ້ອງ, ຂົນສົ່ງ ແລະ ເກັບຮັກສາເວເຟີ. ພາຍໃນຂອງມັນສາມາດບັນຈຸເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ ໄດ້ 25 ຊິ້ນ, ແລະ ອົງປະກອບຫຼັກຂອງມັນປະກອບມີພາຊະນະເປີດດ້ານໜ້າ ແລະ ກອບປະຕູສະເພາະສຳລັບການເປີດ ແລະ ປິດ. FOUP ແມ່ນພາຊະນະຫຼັກໃນລະບົບການຂົນສົ່ງອັດຕະໂນມັດພາຍໃນໂຮງງານຜະລິດເວເຟີຂະໜາດ 12 ນິ້ວ. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວມັນຈະຖືກຂົນສົ່ງໃນສະພາບປິດ ແລະ ເປີດພຽງແຕ່ເມື່ອຖືກຍູ້ໄປຫາພອດໂຫຼດອຸປະກອນ, ຊ່ວຍໃຫ້ເວເຟີສາມາດໂອນເຂົ້າໄປໃນພອດໂຫຼດ/ຂົນອອກຂອງອຸປະກອນໄດ້.

ການອອກແບບຂອງ FOUP ແມ່ນໄດ້ຮັບການປັບໃຫ້ເໝາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງສະພາບແວດລ້ອມຈຸລະພາກ. ມັນມີຊ່ອງຢູ່ດ້ານຫຼັງສຳລັບການໃສ່ແຜ່ນເວເຟີ, ແລະຝາປິດຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອໃຫ້ກົງກັບທີ່ໜີບຂອງເຄື່ອງເປີດ. ຫຸ່ນຍົນຈັດການແຜ່ນເວເຟີເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມອາກາດສະອາດຊັ້ນ 1, ຮັບປະກັນວ່າແຜ່ນເວເຟີຈະບໍ່ຖືກປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງການສົ່ງຕໍ່. ນອກຈາກນັ້ນ, FOUP ຍັງຖືກຍ້າຍໄປມາລະຫວ່າງເຄື່ອງມືຂະບວນການຜ່ານລະບົບການຈັດການວັດສະດຸອັດຕະໂນມັດ (AMHS). ໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນເວເຟີທີ່ທັນສະໄໝສ່ວນໃຫຍ່ໃຊ້ລະບົບລາງລົດໄຟເໜືອສຳລັບການຂົນສົ່ງ, ໃນຂະນະທີ່ໂຮງງານຜະລິດເກົ່າບາງແຫ່ງອາດຈະໃຊ້ຍານພາຫະນະຂັບເຄື່ອນອັດຕະໂນມັດທີ່ອີງໃສ່ພື້ນດິນ (AGVs).

FOUP ບໍ່ພຽງແຕ່ຊ່ວຍໃຫ້ການໂອນເວເຟີອັດຕະໂນມັດເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງເຮັດໜ້າທີ່ເກັບຮັກສາອີກດ້ວຍ. ເນື່ອງຈາກຂັ້ນຕອນການຜະລິດຫຼາຍຢ່າງ, ເວເຟີອາດໃຊ້ເວລາຫຼາຍເດືອນເພື່ອໃຫ້ສຳເລັດຂະບວນການທັງໝົດ. ບວກກັບປະລິມານການຜະລິດປະຈຳເດືອນທີ່ສູງ, ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າເວເຟີຫຼາຍສິບພັນອັນພາຍໃນໂຮງງານຜະລິດແມ່ນຢູ່ໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງ ຫຼື ເກັບຮັກສາຊົ່ວຄາວຢູ່ສະເໝີໃນເວລາໃດກໍ່ຕາມ. ໃນລະຫວ່າງການເກັບຮັກສາ, FOUP ຈະຖືກກຳຈັດດ້ວຍໄນໂຕຣເຈນເປັນໄລຍະເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ສິ່ງປົນເປື້ອນສຳຜັດກັບເວເຟີ, ຮັບປະກັນຂະບວນການຜະລິດທີ່ສະອາດ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖື.

1. ໜ້າທີ່ ແລະ ຄວາມສຳຄັນຂອງ FOUP

ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງ FOUP ແມ່ນເພື່ອປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີຈາກການກະທົບ ແລະ ການປົນເປື້ອນຈາກພາຍນອກ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນການຫຼີກລ່ຽງຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດໃນລະຫວ່າງການໂອນ. ມັນປ້ອງກັນຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໂດຍຜ່ານວິທີການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການກຳຈັດອາຍແກັສ ແລະ ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດທ້ອງຖິ່ນ (LAC), ຮັບປະກັນວ່າແຜ່ນເວເຟີຍັງຄົງຢູ່ໃນສະພາບທີ່ປອດໄພໃນຂະນະທີ່ລໍຖ້າຂັ້ນຕອນການຜະລິດຕໍ່ໄປ. ລະບົບທີ່ຜະນຶກ ແລະ ຄວບຄຸມຂອງມັນອະນຸຍາດໃຫ້ພຽງແຕ່ສານປະກອບ ແລະ ອົງປະກອບທີ່ຈຳເປັນເທົ່ານັ້ນທີ່ຈະເຂົ້າໄປ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບທາງລົບຂອງ VOCs, ອົກຊີເຈນ, ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕໍ່ແຜ່ນເວເຟີໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ເນື່ອງຈາກ FOUP ທີ່ບັນຈຸດ້ວຍເວເຟີ 25 ແຜ່ນສາມາດມີນໍ້າໜັກໄດ້ເຖິງ 9 ກິໂລກຣາມ, ການຂົນສົ່ງຂອງມັນຕ້ອງອີງໃສ່ລະບົບການຈັດການວັດສະດຸອັດຕະໂນມັດ (AMHS). ເພື່ອອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນສິ່ງນີ້, FOUP ໄດ້ຖືກອອກແບບດ້ວຍການລວມກັນຂອງແຜ່ນເຊື່ອມຕໍ່, ໝຸດ, ແລະຮູຕ່າງໆ, ແລະ ມີປ້າຍເອເລັກໂຕຣນິກ RFID ເພື່ອການລະບຸ ແລະ ການຈັດປະເພດທີ່ງ່າຍດາຍ. ການຈັດການອັດຕະໂນມັດນີ້ບໍ່ຕ້ອງການການດຳເນີນງານດ້ວຍມືເກືອບທັງໝົດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາຄວາມຜິດພາດ ແລະ ເພີ່ມຄວາມປອດໄພ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການຜະລິດໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

2. ໂຄງສ້າງ ແລະ ການຈັດປະເພດຂອງ FOUP

ຂະໜາດປົກກະຕິຂອງ FOUP ແມ່ນປະມານ 420 ມມ ໃນຄວາມກວ້າງ, 335 ມມ ໃນຄວາມເລິກ, ແລະ 335 ມມ ໃນຄວາມສູງ. ອົງປະກອບໂຄງສ້າງຫຼັກຂອງມັນປະກອບມີ: OHT ດ້ານເທິງ (ຫົວເຫັດ) ສຳລັບການຂົນສົ່ງເຄື່ອງຍົກເທິງຫົວ; ປະຕູດ້ານໜ້າສຳລັບການເຂົ້າເຖິງແຜ່ນແພອຸປະກອນ; ມືຈັບຂ້າງ, ມັກຈະຖືກໃສ່ລະຫັດສີເພື່ອຈຳແນກພື້ນທີ່ຂະບວນການທີ່ມີລະດັບການປົນເປື້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ; ພື້ນທີ່ບັດສຳລັບວາງບັດຂໍ້ຄວາມ; ແລະປ້າຍ RFID ດ້ານລຸ່ມທີ່ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວລະບຸທີ່ເປັນເອກະລັກສຳລັບ FOUP, ຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງມື ແລະ ເຄື່ອງຍົກເທິງຫົວສາມາດຮັບຮູ້ມັນໄດ້. ພື້ນຖານຍັງມີຮູລະບຸ ແລະ ຕຳແໜ່ງສີ່ຮູສຳລັບການຈັບຄູ່ກັບເຄື່ອງມື ແລະ ການຈຳແນກພື້ນທີ່ຂະບວນການ.

ອີງຕາມການນຳໃຊ້, FOUP ແບ່ງອອກເປັນສາມປະເພດຄື: PRD (ສຳລັບການຜະລິດ), ENG (ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີວິສະວະກຳ), ແລະ MON (ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຈໍພາບ). FOUP ຂອງ PRD ສາມາດໃຊ້ສຳລັບການຜະລິດຜະລິດຕະພັນ, ປະເພດ ENG ແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ຫຼື ການທົດລອງ, ແລະ ປະເພດ MON ແມ່ນອຸທິດໃຫ້ແກ່ການຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການສຳລັບຂັ້ນຕອນຕ່າງໆເຊັ່ນ CMP ແລະ DIFF. ມັນເປັນສິ່ງສຳຄັນທີ່ຄວນສັງເກດວ່າ FOUP ຂອງ PRD ສາມາດໃຊ້ໄດ້ທັງຈຸດປະສົງ ENG ແລະ MON, ແລະ ປະເພດ ENG ສາມາດໃຊ້ສຳລັບ MON, ແຕ່ການດຳເນີນງານແບບປີ້ນກັບກັນມີຄວາມສ່ຽງດ້ານຄຸນນະພາບ.

ການຈັດປະເພດຕາມລະດັບການປົນເປື້ອນ, FOUPs ສາມາດແບ່ງອອກເປັນ FE FOUP (ຂະບວນການດ້ານໜ້າ, ບໍ່ມີໂລຫະ), BE FOUP (ຂະບວນການດ້ານຫຼັງ, ມີໂລຫະ), ແລະ ຂະບວນການທີ່ຊ່ຽວຊານສຳລັບຂະບວນການໂລຫະສະເພາະເຊັ່ນ NI FOUP, CU FOUP, ແລະ CO FOUP. FOUPs ສຳລັບຂະບວນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນມັກຈະແຍກແຍະໂດຍສີຂອງມືຈັບຂ້າງ ຫຼື ແຜງປະຕູ. FOUPs ຈາກຂະບວນການດ້ານໜ້າສາມາດໃຊ້ໃນຂະບວນການດ້ານຫຼັງໄດ້, ແຕ່ FOUPs ດ້ານຫຼັງຕ້ອງບໍ່ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການດ້ານໜ້າ, ເພາະວ່າສິ່ງນີ້ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.

ໃນຖານະທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຫຼັກໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, FOUP, ຜ່ານລະບົບອັດຕະໂນມັດທີ່ສູງ ແລະ ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພ ແລະ ຄວາມສະອາດຂອງແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ, ເຮັດໃຫ້ມັນກາຍເປັນພື້ນຖານໂຄງລ່າງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນເວເຟີທີ່ທັນສະໄໝ.

ສະຫຼຸບ

XKH ມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງວິທີແກ້ໄຂ Front-Opening Unified Pod (FOUP) ທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ສູງໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າ, ໂດຍຍຶດໝັ້ນຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ຄວາມຕ້ອງການຂະບວນການສະເພາະ ແລະ ຂໍ້ກຳນົດການໂຕ້ຕອບຂອງອຸປະກອນ. ໂດຍນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ຂະບວນການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳ, ພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນ FOUP ທຸກຊະນິດມີຄວາມແໜ້ນໜາ, ຄວາມສະອາດ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ. ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານອຸດສາຫະກຳຢ່າງເລິກເຊິ່ງ, ສະເໜີການສະໜັບສະໜູນວົງຈອນຊີວິດທີ່ສົມບູນແບບ - ຕັ້ງແຕ່ການປຶກສາຫາລືການຄັດເລືອກ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງໂຄງສ້າງຈົນເຖິງການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາ - ຮັບປະກັນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ລຽບງ່າຍ ແລະ ການຮ່ວມມືທີ່ມີປະສິດທິພາບລະຫວ່າງ FOUP ແລະ ລະບົບການຈັດການວັດສະດຸອັດຕະໂນມັດ (AMHS) ຂອງທ່ານ ເຊັ່ນດຽວກັນກັບອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ. ພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມສຳຄັນກັບຄວາມປອດໄພຂອງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ການເພີ່ມຜົນຜະລິດການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນຈຸດປະສົງຫຼັກຂອງພວກເຮົາ. ຜ່ານຜະລິດຕະພັນທີ່ມີນະວັດຕະກຳ ແລະ ການບໍລິການດ້ານວິຊາການທີ່ຄົບຖ້ວນ, ພວກເຮົາໃຫ້ການຮັບປະກັນທີ່ເຂັ້ມແຂງສຳລັບຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂອງທ່ານ, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ ແລະ ຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນ.